壓電式微壓傳感器靈敏度的測量方案
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為檢測測量系統的重復性,實(shí)驗對1#傳感器進(jìn)行了重復測量,圖3示出2次測量的靈敏度變化曲線(xiàn)。
本文引用地址：http://dyxdggzs.com/article/162818.htm
圖3 1#傳感器兩次靈敏度測量曲線(xiàn)
3 結論
(1)采用均勻聲腔硅油介質(zhì)中傳播的聲波作為壓力源,用比較法比較標準傳感器和被測傳感器的輸出,可有效地測量壓電式微壓傳感器的靈敏度及頻率響應特性。3只傳感器的測量靈敏度分別為3.05,2.98,2.98mV/Pa,靈敏度波動(dòng)小于0.5mV/Pa,頻率響應范圍為20～2000Hz。
(2)從圖4可看出:油腔波動(dòng)聲壓測量系統同一樣品的2次測量數據(靈敏度及頻率響應范圍)重復性較好,偏差小于0.24mV/Pa。由于測量介質(zhì)為硅油,每個(gè)樣品需置于硅油中測試,測完后需進(jìn)行清洗,使用不便。下一步應完善測試系統,設計防油透聲層保護被測傳感器免于接觸硅油,以簡(jiǎn)化操作。
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