擴散硅壓力傳感器選型須知

利用壓阻效應原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴散，沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向，制成應變電阻，構成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏與力電轉換檢測于一體的擴散硅傳感器。

選型須知

1、 傳感器、變送器的選擇

用戶(hù)根據自己所測壓力的性質(zhì)，首先應確定選擇表壓(相對于當地大氣壓)、差壓、絕對壓力或負壓品種。如果測量液位，還要確定液位上方是自由大氣壓還是密封容器壓力。如果測量密封承壓容器內的液位就應該選用差壓產(chǎn)品。

2、 產(chǎn)品量程的確定

從產(chǎn)品絕對安全考慮，一般選擇使工作壓力值在標準量程值的60%-80%為宜，整個(gè)測量系統中可能出現的異常情況所導致的過(guò)載壓力不得超過(guò)產(chǎn)品允許的最大過(guò)載。測量動(dòng)態(tài)管路液體壓力時(shí)，還應考慮水垂效應，適當增大產(chǎn)品載量。

3、 產(chǎn)品精度選擇

產(chǎn)品等級按多項參數分檔，檔級越高，價(jià)格越貴。用戶(hù)可依據所檢測工況要求各項和某單項參數精度指標，以便用較低的價(jià)格實(shí)現較高的精度要求。產(chǎn)品給出的三項精度指標是采用國際最小二乘法或端基平移法計算的。選用傳感器時(shí)，精度等級確定應根據測量系統分配發(fā)給傳感器的最大誤差選項取。有時(shí)還應考慮零位時(shí)漂、零位和滿(mǎn)度溫度系數帶入的附加誤差。

4、 選擇產(chǎn)品的使用溫度范圍

有些系列的變送器在組裝了電路后又進(jìn)行了綜合溫度補償。補償范圍在單項產(chǎn)品介紹中已標出。對于使用溫度范圍寬而又要求總精度高的用戶(hù)，還可在二次儀表數據處理中采用軟件執行溫度誤差修正。超過(guò)補償區使用，溫度系數指標可能會(huì )超標，但仍可使用。長(cháng)期在溫度極限區工作，產(chǎn)品壽命將大大縮短。

5、 差壓傳感器、變送器的選擇

通用差壓傳感器、變送器通常使用在高壓端壓力高于低壓端壓力的正差壓情況下，雖然擴散硅傳感器都可同樣用于負差壓，一般兩引壓端基本對稱(chēng)，但負壓端一般不另標定，如用戶(hù)要求兩引壓端高對稱(chēng)性，需特別告知。低壓端在系統中有可能出現的超負量程使用。

6、頻響特性

擴散硅傳感器固有頻率相對于其它產(chǎn)品較高，除此之外更多的情況是傳感器結構的引壓腔結構參數影響和傳感器結構基體剛體的尺寸影響，后者不可能不限長(cháng)，故主要還是引壓腔影響。

7、與被測介質(zhì)的匹配

傳感器、變送器接囗和電子殼體由多種不同的結構材料生產(chǎn)。具有不同的介質(zhì)兼容性，為了獲得最優(yōu)的使用效果，不致因介質(zhì)不匹配而使產(chǎn)品損壞，用戶(hù)在選型定貨時(shí)應明白介質(zhì)的準確名稱(chēng)、濃度、溫度。

產(chǎn)品安裝使用注意事項

螺紋連接的產(chǎn)品在安裝和拆卸時(shí)，必須用扳手緊六方操作，安裝時(shí)不能擰的過(guò)緊，嚴禁夾持其它部位安裝、拆卸，避免損壞相關(guān)聯(lián)結部件。引壓孔端不得有尖硬物伸入，以免損毀敏感膜或隔離膜，嚴禁敲打、撞擊、摔跌。

擴散硅傳感器零位輸出不能直接采用單臂聯(lián)電阻法進(jìn)行消除，可采用軟件歸零法、差動(dòng)輸入修整法、T型電阻網(wǎng)絡(luò )修正等。