MEMS壓力傳感器綜合性能分析

MEMS壓力傳感器是基于 MEMS（微機電）技術(shù)，建立在微米/納米基礎上，在單晶硅片上刻融制作惠斯登電橋組成的硅應變計，這樣制造的壓力傳感器具有輸出靈敏度高，性能穩定，批量可靠性、重復性好等優(yōu)點(diǎn)。下面從傳感器的制作工藝、結構兩方面分析一下MEMS壓力傳感器綜合性能。

先進(jìn)的制作工藝

經(jīng)500℃以上高溫熔化玻璃，將硅應變片燒結在17－4PH不銹鋼傳感彈性體上，彈性體受壓變形后產(chǎn)生電信號，由帶微處理器的數字補償放大電路進(jìn)行放大，經(jīng)數字軟件進(jìn)行全智能溫度補償，輸出標準信號。在標準凈化生產(chǎn)過(guò)程中，參數嚴格受控，避免了溫度、濕度及機械疲勞的影響，具有頻響高、工作溫度寬等特點(diǎn)，保證了傳感器在工業(yè)惡劣環(huán)境中使用的長(cháng)期穩定性。

智能數字溫度補償電路將溫度變化劃分為若干小區間，每一個(gè)小區間的零位和補償值都被分別寫(xiě)入補償電路中，在使用中，這些值被寫(xiě)入受溫度影響的模擬量輸出路徑中，每一個(gè)溫度點(diǎn)都是該變送器的“校準溫度”。

傳感器數字電路針對射頻、電磁干擾、浪涌電壓的工況進(jìn)行精心設計，具有抗干擾能力強，供電范圍寬、極性保護等特點(diǎn)。

可靠的結構

壓力腔體采用進(jìn)口17－4PH不銹鋼整體加工，無(wú)O型圈、無(wú)焊縫，無(wú)泄漏隱患。傳感器過(guò)載能力為200%FS，破壞壓力為500%FS，適應高壓力過(guò)載。針對液壓系統可能產(chǎn)生的瞬間壓力突變，傳感器內置阻尼保護裝置，能有效抵御瞬間壓力沖擊。

因此，MEMS壓力傳感器具有輸出靈敏度高、性能穩定、體積小巧、環(huán)境適應性強、重復性好等綜合性能，這也是它廣泛應用于各領(lǐng)域的基本原因。