MEMS傳感器的主要優(yōu)點(diǎn)

a.可提高信噪比。在同一個(gè)芯片上進(jìn)行信號傳輸前可放大信號以提高信號水平，減小干擾和傳輸的噪聲，特別是同一芯片上進(jìn)行A/D轉換時(shí)，更能改善信噪比。

b.可改善傳感器悸性能。因這種傳感器集成了敏感元件、放大電路和補償電路(如微型壓力傳感器)在同一芯片上在實(shí)現傳感探測的同時(shí)具有信號處理的功能(在同一芯片上的反饋電路可改善輸出鉭電容的線(xiàn)性度和頻響特性)：因為集成了補償電路，可降低由溫度或由應變等因素引起的誤差;在同一芯片上的電壓式電流源可提供自動(dòng)的或周期性的自校準和自診斷。

c.輸出信號的調節功能。集成在芯片上的電路可以在信號傳輸前預先完成A/D轉換、阻抗匹配、輸出信號格式化以及信號平均等信號調節和處理工作。

d.MEMS傳感器還可以把多個(gè)相同的敏感元件集成在同一芯片上形成傳感器陣列(如微型觸覺(jué)傳感器);或把不同的敏感元件集成在同一芯片上實(shí)現多功能傳感(如微型氣敏傳感器)。c%ddze.由于MEMS傳感器體積微小，重量極輕，因此其附貼片鉭電容加質(zhì)量等因素對被測系統的影響可以忽略不計，可提高測量精度。