華力微電子12英寸全自動(dòng)芯片生產(chǎn)線(xiàn)開(kāi)始試流片
集成電路是信息產(chǎn)業(yè)的核心,也是當前國際高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)競爭的焦點(diǎn)之一。29日,由國資控股的12英寸集成電路生產(chǎn)線(xiàn)項目——華力微電子12英寸全自動(dòng)芯片生產(chǎn)線(xiàn)55納米工藝產(chǎn)品開(kāi)始試流片,標志著(zhù)這一國家電子信息產(chǎn)業(yè)的重大工程進(jìn)入了新階段。
本文引用地址:http://dyxdggzs.com/article/119177.htm華力微電子12英寸芯片生產(chǎn)線(xiàn)項目是在上海華虹集團8英寸集成電路芯片生產(chǎn)線(xiàn)基礎上的升級項目,于2010年年初正式啟動(dòng)。項目投資總額135億元人民幣,將建設成第一條國資控股、主要面向國內市場(chǎng)的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線(xiàn),具備90-65-45納米技術(shù)等級,月產(chǎn)3.5萬(wàn)片晶圓,驗收后將向更高工藝等級邁進(jìn)。
據介紹,華力微電子12英寸芯片生產(chǎn)線(xiàn)項目于2010年1月19日啟動(dòng),于當年11月20日實(shí)現了首臺核心工藝設備光刻機的搬入,并在最短的時(shí)間內完成了首期月產(chǎn)能1萬(wàn)片的設備安裝調試。本條生產(chǎn)線(xiàn)配備了硅片全自動(dòng)搬運系統,這使得華力微電子成為國內首家實(shí)現全自動(dòng)生產(chǎn)的12英寸代工企業(yè)。
這條規模大、技術(shù)新的12英寸集成電路生產(chǎn)線(xiàn)在滬“上馬”,也意味著(zhù)上海國資控股的集成電路企業(yè)將形成國際主流的芯片制造業(yè)務(wù)格局,從而具備不同技術(shù)等級的產(chǎn)品加工能力,可以制造大量國內急需的高端集成電路重要產(chǎn)品,具備承擔和支持國家科技重大專(zhuān)項的相應能力。
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