Rudolph Technologies獲MEMS檢測設備訂單

　　工藝表征設備和軟件供應商Rudolph Technologies宣布，其N(xiāo)SX Series Macro Inspection System獲得了來(lái)自德國ISIT的訂單，用于先進(jìn)MEMS工藝的開(kāi)發(fā)。該設備將于今年夏天安裝于ISIT的先進(jìn)200mm MEMS試水線(xiàn)上。