半導體行業(yè)廢氣排放在線(xiàn)監測系統中PID光離子氣體傳感器的應用

隨著(zhù)信息時(shí)代的推進(jìn)，半導體行業(yè)正在迅猛發(fā)展，為社會(huì )帶來(lái)了顯著(zhù)的經(jīng)濟效益和就業(yè)機會(huì )。然而，這一行業(yè)的快速發(fā)展也伴隨著(zhù)對大氣的污染問(wèn)題。由于半導體行業(yè)對操作室的清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類(lèi)廢氣，這使得半導體行業(yè)廢氣具有排放量大、排放濃度小的特點(diǎn)。

這些廢氣主要包括有機廢氣和酸堿廢氣兩類(lèi)。其中，有機廢氣包括非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿廢氣則包括氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。這些廢氣的來(lái)源主要是在芯片或線(xiàn)路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過(guò)程中產(chǎn)生的。

這些廢氣不僅對環(huán)境造成污染，而且對人們的健康也構成威脅。在半導體制造過(guò)程中，元器件組裝焊接、電路板等器件清洗等表面處理過(guò)程中使用的化學(xué)藥劑，如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物，會(huì )揮發(fā)成為污染氣體，如果這些氣體超標排放，可能會(huì )導致人群慢性或急性中毒。

為應對這一問(wèn)題，我們需要對廢氣進(jìn)行實(shí)時(shí)精準的檢測。一種解決方案是采用集成廢氣檢測系統，它可以實(shí)時(shí)采集和檢測廢氣的濃度等參數，一旦發(fā)現超標排放，可以快速預警。此外，結合網(wǎng)格化管理，可以實(shí)現企業(yè)廢氣檢測與監管的高效聯(lián)動(dòng)。這種系統廣泛應用于半導體制造、涂裝流水線(xiàn)、生物制藥、化工企業(yè)廢氣處理等領(lǐng)域。其監測項目主要包括非甲烷總烴監測、砷烷監測、酸霧、硫化物、NOX、顆粒物監測、氨氣監測等。

在檢測原理方面，主要有PID光離子檢測方法和電化學(xué)檢測方法兩種。PID光離子氣體傳感器采用光離子電離氣體原理進(jìn)行氣體檢測，適用于混合氣體中揮發(fā)性有機物總含量的測定。而電化學(xué)傳感器則是通過(guò)與被測氣體發(fā)生反應并產(chǎn)生與氣體濃度成正比的電信號來(lái)進(jìn)行工作。

在設備選型方面，對于工藝排口的有機廢氣排口(包括VOC治理排口)，推薦使用PID在線(xiàn)監測設備；對于無(wú)機廢氣排口，建議使用煙氣在線(xiàn)監測設備；而對于非工藝排口，如呼吸閥、實(shí)驗室排放口、儲罐呼吸孔等，則可選用電化學(xué)傳感器監測設備。

工采網(wǎng)代理的英國Alphasense光離子傳感器PID和電化學(xué)氣體傳感器是針對半導體制造業(yè)有毒廢氣監測應用的專(zhuān)業(yè)級傳感器產(chǎn)品，傳感器具有靈敏度高，選擇性好，穩定性好，濃度輸出線(xiàn)性好等優(yōu)點(diǎn)，可長(cháng)時(shí)間穩定持續監測，可大大降低半導體制造業(yè)毒氣監測成本，實(shí)現大范圍安裝應用，為半導體制造業(yè)毒氣監測提供了切實(shí)可行的安全生產(chǎn)監測解決方案。

Alphasense光離子傳感器PID是針對揮發(fā)性有機化合物的檢測和測量而設計的一款小型氣體傳感器，它適用于制造業(yè)、加工業(yè)這類(lèi)典型的揮發(fā)性有機化合物高危場(chǎng)所以及環(huán)保監測。

傳感器采用PID檢測技術(shù)對氣體環(huán)境中的VOCs濃度進(jìn)行檢測，檢測結果更準確。傳感器量程選擇多，高靈敏度，使用壽命更長(cháng)，且體積小巧，便于與各類(lèi)氣體測量模組與擴展板集成，在氣體檢測儀制作設計方面有較大的使用空間。

在執行標準方面，應遵循一系列國家和行業(yè)標準。這些標準涵蓋了爆炸性氣體環(huán)境電氣設備的要求、危險場(chǎng)所電氣安裝規范、有毒氣體檢測報警設計標準、作業(yè)場(chǎng)所環(huán)境氣體檢測報警儀通用技術(shù)要求等多個(gè)方面。此外，還應遵循大氣污染物綜合排放標準和固定污染源排放煙氣連續監測系統技術(shù)要求及檢測方法等規定。

總的來(lái)說(shuō)，半導體行業(yè)的廢氣處理是一個(gè)復雜而重要的議題。通過(guò)采用先進(jìn)的檢測技術(shù)和設備，以及嚴格遵守相關(guān)標準和規定，我們可以有效減少廢氣對環(huán)境和健康的負面影響，推動(dòng)半導體行業(yè)的可持續發(fā)展。