國產(chǎn)明場(chǎng)檢測設備再上新臺階，天準科技加速布局

近日，天準科技（股票代碼：688003.SH）參股的蘇州矽行半導體技術(shù)有限公司（下文簡(jiǎn)稱(chēng)“矽行半導體”）重磅宣布，其首臺面向12英寸晶圓65~90nm技術(shù)節點(diǎn)的寬波段明場(chǎng)缺陷檢測設備TB1000正式交付客戶(hù)。

伴隨著(zhù)這款產(chǎn)品的交付，矽行半導體創(chuàng )造了一個(gè)里程碑，這也是中國半導體前道缺陷檢測裝備產(chǎn)業(yè)的一次重大突破。

國產(chǎn)明場(chǎng)缺陷檢測設備的新篇章

在半導體制造流程中，前道瑕疵檢測是當之無(wú)愧的關(guān)鍵工序之一，尤其是明場(chǎng)缺陷檢測，能夠檢測更廣泛的缺陷類(lèi)型，是其中最為關(guān)鍵的一環(huán)，是提高產(chǎn)品良率、降低生產(chǎn)成本、推進(jìn)工藝迭代的保障。同時(shí)，明場(chǎng)缺陷檢測設備也是技術(shù)難度最高的前道檢測設備，一直以來(lái)被國外龍頭企業(yè)壟斷，而矽行半導體就是為了打破這個(gè)局面而生的。

矽行半導體的技術(shù)骨干全部來(lái)自國內外知名大學(xué)，博碩比例超過(guò)80%，擁有多年半導體行業(yè)經(jīng)驗，旨在打造國內乃至全球領(lǐng)先的半導體檢測裝備龍頭企業(yè)。此次推出明場(chǎng)缺陷檢測設備是矽行半導體實(shí)現的重要突破，也代表著(zhù)中國在半導體光學(xué)檢測設備領(lǐng)域邁出了更加堅實(shí)的一步。

TB1000實(shí)現了精密光機電關(guān)鍵核心部件的自主可控，同時(shí)采用了先進(jìn)的信號處理算法，有效提高信噪比，顯著(zhù)提升了設備在關(guān)鍵制程的缺陷檢測靈敏度。

對于天準科技而言，TB1000的面世，進(jìn)一步完善了公司在半導體領(lǐng)域的產(chǎn)品版圖。

天準科技的多路突圍

天準科技致力打造卓越視覺(jué)裝備平臺企業(yè)，近年來(lái)不斷加大半導體設備領(lǐng)域布局，是公司持續構建強大戰略產(chǎn)品矩陣的重要舉措。在2020年，公司啟動(dòng)收購德國MueTec公司，以提供包括Overlay量測、CD量測、宏觀(guān)缺陷檢測等多款面向前道晶圓和掩膜的高精度光學(xué)量測與檢測設備。

天準科技和MueTec通過(guò)聯(lián)合研發(fā)，積極推進(jìn)其產(chǎn)品線(xiàn)技術(shù)升級，2022年成功推出面向更高端技術(shù)節點(diǎn)的Overlay產(chǎn)品并已交付客戶(hù)。同時(shí)加強MueTec現有產(chǎn)品的市場(chǎng)推廣，其高速全自動(dòng)宏觀(guān)缺陷檢測產(chǎn)品Argos系列已獲得知名客戶(hù)的批量訂單。

除收購MueTec以外，天準科技還推動(dòng)成立了矽行半導體，布局挑戰更大的半導體微觀(guān)缺陷檢測設備領(lǐng)域。

通過(guò)海外并購、戰略投資和自主研發(fā)等多種途徑，天準科技加快了在半導體前道量測及檢測領(lǐng)域的布局，打造了包括晶圓微觀(guān)缺陷檢測、Overlay量測、CD量測、掩膜量測與檢測和晶圓宏觀(guān)缺陷檢測等系列產(chǎn)品組合。

助力半導體設備國產(chǎn)化

盡管相較國際半導體設備龍頭企業(yè)，國內半導體前道量測與檢測設備公司在進(jìn)入市場(chǎng)時(shí)間、經(jīng)營(yíng)規模、產(chǎn)品種類(lèi)、技術(shù)發(fā)展等方面相對落后，但近年來(lái)國內半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，屢創(chuàng )佳績(jì)的天準科技更是其中的典型代表。

未來(lái)，天準科技將充分發(fā)揮多年來(lái)在技術(shù)、人才和產(chǎn)品戰略等方面的儲備和先發(fā)優(yōu)勢，以實(shí)現技術(shù)全面突圍，助力半導體設備國產(chǎn)化，建設國際一流半導體量測與檢測設備公司。