技術(shù)維護保養：泵的認識和常見(jiàn)的故障問(wèn)題

渦輪分子泵是利用高速旋轉的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。
渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快，能抗各種射線(xiàn)的照射，耐大氣沖擊，無(wú)氣體存儲和解吸效應，無(wú)油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

渦輪分子泵的工作原理，結構型式及其優(yōu)缺點(diǎn)。

為了利用渦輪分子泵，獲得清潔真空，國外多利用干式機械泵作其前級泵，構成無(wú)油的真空系統。然而，目前國內渦輪分子泵多以油封機械泵為其前級泵，構成了有油真空系統，如果操作不當，很難避免油蒸汽返流，對真空系統的污染。利用有油系統獲得清潔真空，國內外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經(jīng)驗。

應用：當今，現代化的半導體行業(yè)中，越來(lái)越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來(lái)抽真空。此外，在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴散泵系統，以防止油蒸汽的污染。因此，最近十幾年來(lái)，渦輪分子泵，在國內、外都得到了顯著(zhù)的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒(méi)有大量普及和應用的情況下，有時(shí)還不得不用油封機械泵來(lái)作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

分子泵常見(jiàn)的故障問(wèn)題：

1、分子泵為何會(huì )發(fā)生半邊熱，半邊冷的現象？

2、分子泵使用中發(fā)現油發(fā)黑，請問(wèn)油為什么發(fā)黑？或者多長(cháng)時(shí)間油才會(huì )變黑？

3、分子泵在運轉過(guò)程中，出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復到正常，反反復復，更換電源后現象仍如此，請問(wèn)該現象如何解釋?zhuān)?/p>

4、分子泵軸承為什么會(huì )燒毀

5、有防護網(wǎng)保護，為什么還會(huì )有大塊碎玻璃掉入泵內？

6、真空度很好的情況下，分子泵油為何會(huì )返到前級管道？

7、正常使用下，為什么分子泵油池會(huì )出現裂紋或者變形？

8、分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘等物體，如M5的頂絲等，請問(wèn)是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？

9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗，使用才安全？

10、變頻器電源在什么情況下會(huì )造成程序丟失或者錯亂？

11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格標準，是多少？

12、分子泵是否對冷卻有明確要求？如風(fēng)冷需要外界溫度是多少？如水冷則對水有何具體要求？如未達到要求會(huì )出現何后果？

13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問(wèn)題，應如何做才是最佳方式？

14、變頻器電源，轉速上升過(guò)程中就自動(dòng)關(guān)機，即顯示“Poff”？

15、分子泵葉片破碎的原因？

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