2021中國MEMS10強企業(yè)，附23條MEMS生產(chǎn)線(xiàn)匯總！

10月27日，2021年中國MEMS制造大會(huì )（China MEMS）在蘇州舉行，這是目前中國MEMS行業(yè)最具影響力的大會(huì )，由中國唯一的MEMS行業(yè)組織——中國半導體行業(yè)協(xié)會(huì )MEMS分會(huì )聯(lián)合微納制造中試平臺、中科院納米所等舉行，今年已經(jīng)是第三屆。

會(huì )上，舉行了“2020年中國半導體MEMS十強企業(yè)”頒獎儀式，宣布了上一年度國內優(yōu)秀的MEMS企業(yè)十強名單，該名單是目前國內最權威的MEMS企業(yè)名錄，代表現在中國MEMS領(lǐng)域實(shí)力最強的10家頭部企業(yè)。

1 歌爾微電子股份有限公司

歌爾微電子成立于2001年6月，2008年5月在深交所上市，主要聚焦MEMS麥克風(fēng)及模組、智能傳感器及模組、SiP封裝等相關(guān)業(yè)務(wù)，專(zhuān)注于MEMS相關(guān)產(chǎn)品的自主研發(fā)設計與制造，其產(chǎn)品已廣泛應用于智能手機、無(wú)線(xiàn)耳機、智能穿戴、智能家居、無(wú)人機及汽車(chē)電子等領(lǐng)域。

《中國傳感器發(fā)展藍皮書(shū)》首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，中國微型麥克風(fēng)代表性企業(yè)，在微型麥克風(fēng)領(lǐng)域，市場(chǎng)占有率居世界同行業(yè)之首。據Yole Development 《202年MEMS產(chǎn)業(yè)現狀報告》顯示，歌爾在2020年全球MEMS廠(chǎng)商營(yíng)收排名中升至第六位，繼去年首次躋身前十后，僅用一年時(shí)間排名升至第六，也是前十名中唯一一家中國企業(yè)，報告還指出，在MEMS麥克風(fēng)方面，歌爾15年來(lái)首次超過(guò)樓氏電子成為行業(yè)第一。
上市企業(yè)，上半年市值約1351億元，2021上半年營(yíng)收302.88億元，同比增長(cháng)94.49%；上半年凈利潤17.31億元，同比增長(cháng)121.71%
官網(wǎng)：https://www.goertek.com/

2 瑞聲聲學(xué)科技（深圳）有限公司

瑞聲科技控股有限公司為智能設備提供領(lǐng)先的微型專(zhuān)有技術(shù)解決方案，在聲學(xué)、光學(xué)、觸覺(jué)反饋、精密制造、微機電、無(wú)線(xiàn)射頻和天線(xiàn)領(lǐng)域擁有材料研發(fā)、仿真、算法、設計、自動(dòng)化以及工藝開(kāi)發(fā)等尖端技術(shù)。
集團在設計和大批量高精密制造方面有近三十年經(jīng)驗，《中國傳感器發(fā)展藍皮書(shū)》首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，中國電聲元器件代表性企業(yè)，全球著(zhù)名的電聲元器件制造商之一，2005年在香港上市。在微型聲學(xué)、觸覺(jué)、MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域，分別被工信部認定為我國制造業(yè)單項冠軍示范企業(yè)。現已成為全球領(lǐng)先的同行、IT及消費電子市場(chǎng)微型元器件整體方案供貨商。
港股上市企業(yè)，上半年市值約316.94億元，2021上半年營(yíng)收86億港元，同比增長(cháng)9.90%；上半年凈利潤9.21萬(wàn)港元，同比增長(cháng)187.40%
官網(wǎng)：https://www.aactechnologies.com/

3 華潤微集成電路有限公司

華潤微電子是2002年華潤集團收購華晶集團改組而成，是領(lǐng)先的半導體和智能傳感器供應商，總部位于無(wú)錫，擁有3條6英寸線(xiàn)，其中MEMS產(chǎn)線(xiàn)是國內規模最大的與CMOS生產(chǎn)線(xiàn)兼容的MEMS傳感器量產(chǎn)生產(chǎn)線(xiàn)，具有國內領(lǐng)先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術(shù)，用于制造壓力、硅麥克風(fēng)、光電、溫濕度等MEMS傳感器。
華潤微電子8吋MEMS的3000片/月產(chǎn)能擴充已經(jīng)完成，并投入使用。光電及MEMS麥克風(fēng)工藝平臺從6英寸升級到8英寸，實(shí)現批量生產(chǎn)，產(chǎn)品性能及良率水平優(yōu)秀；整體提升了其MEMS工藝技術(shù)水平和競爭能力。

上市企業(yè)，上半年市值約908.9億元，2021上半年營(yíng)收44.55億元，同比增長(cháng)45.44%；上半年凈利潤10.68億元，同比增長(cháng)164.86%
官網(wǎng)：https://www.crmicro.com/

4 蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司

蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司成立于2007年9月，是一家專(zhuān)業(yè)從事微電子機械系統傳感器研發(fā)設計的高新技術(shù)企業(yè)，公司總部在蘇州工業(yè)園區，并在蘇州工業(yè)園區、昆山設有傳感器產(chǎn)品制造工廠(chǎng)。

目前，憑借自主知識產(chǎn)權的芯片設計，并與國際知名Fab廠(chǎng)和封裝廠(chǎng)合作，完成了公司產(chǎn)品的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，并帶動(dòng)了MEMS上下游產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展。公司三大產(chǎn)品線(xiàn)分別為MEMS麥克風(fēng)、MEMS壓力傳感器和MEMS慣性傳感器，應用場(chǎng)景涵蓋了消費電子、醫療、工業(yè)控制以及汽車(chē)電子等領(lǐng)域。

《中國傳感器發(fā)展藍皮書(shū)》首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，EET電子工程專(zhuān)輯（中國）2021年中國傳感器公司TOP10之一。敏芯作為中國最早成立的MEMS研發(fā)公司之一，現已擁有完整的芯片設計、晶圓制造、封裝與測試等全產(chǎn)業(yè)鏈的自主研發(fā)設計能力，憑借完全自主設計的MEMS芯片與ASIC芯片成功打破了國外廠(chǎng)商長(cháng)期壟斷的格局，為MEMS全產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化探索了一條完整的道路。
上市企業(yè)，上半年市值約51.55億元，2021上半年營(yíng)收1.87億元，同比增長(cháng)40.17%；凈利潤1021.77萬(wàn)元，同比增長(cháng)-40.05%
官網(wǎng)：https://www.memsensing.com/

5 河北美泰電子科技有限公司

中國電子科技集團第十三研究所全資子公司，中國MEMS行業(yè)協(xié)會(huì )理事長(cháng)單位，專(zhuān)門(mén)致力于MEMS（微電子機械系統）器件與系統的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。連續多年榮獲“中國半導體MEMS十強企業(yè)”，是國內最大的MEMS核心芯片、器件和系統產(chǎn)品供應商，中國MEMS技術(shù)領(lǐng)導者。
《中國傳感器發(fā)展藍皮書(shū)》首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，中國MEMS傳感器代表性企業(yè)，EET電子工程專(zhuān)輯（中國）2021年中國傳感器公司TOP10之一。優(yōu)勢產(chǎn)品包括MEMS慣性器件與系統、MEMS傳感器、汽車(chē)傳感器、壓力傳感器、射頻（RF）MEMS器件等，產(chǎn)品廣泛應用于航空航天、高鐵、汽車(chē)、自動(dòng)駕駛、通信、地震監測、物聯(lián)網(wǎng)、智慧城市、智能家電等領(lǐng)域。
2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標準加工技術(shù)及在高性能MEMS 器件中的應用”通過(guò)科技部組織的專(zhuān)家驗收，用于MEMS陀螺儀、加速度計、振動(dòng)傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開(kāi)關(guān)、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產(chǎn)線(xiàn)月產(chǎn)能達到1萬(wàn)片。

6 美新半導體（天津）有限公司
美新半導體（MEMSIC）是全球領(lǐng)先的慣性MEMS傳感器及解決方案提供商，于1999年成立, 目前總部位于中國天津，在美國圣何塞和中國無(wú)錫、上海、深圳、臺北設有研發(fā)機構，在中國無(wú)錫、上海擁有制造和封測工廠(chǎng)，銷(xiāo)售及技術(shù)支持網(wǎng)絡(luò )遍及亞太，北美，歐洲，非洲和中東等地區。
《中國傳感器發(fā)展藍皮書(shū)》首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，中國慣性傳感器代表性企業(yè)，EET電子工程專(zhuān)輯（中國）2021年中國傳感器公司TOP10之一，原創(chuàng )開(kāi)發(fā)了基于標準CMOS流程的微機電系統和全球領(lǐng)先的制造工藝和測試技術(shù)，成功研發(fā)出30多種型號的加速度傳感器、磁傳感器等產(chǎn)品。
2007年在NASDAQ上市，是全球第一家MEMS上市公司。2020年，美新獲得mCube獨家授權其所有慣性傳感器芯片技術(shù)，全面布局電容式加速度計和陀螺儀領(lǐng)域。最近完成10億人民幣A輪融資，國內最大的MEMS慣性傳感器公司，擁有特色工藝MEMS生產(chǎn)線(xiàn)。
7 蘇州納芯微電子股份有限公司

蘇州納芯微電子是高性能高可靠性模擬芯片的研發(fā)設計企業(yè)。公司自2013年成立以來(lái)，專(zhuān)注于圍繞各個(gè)應用場(chǎng)景進(jìn)行產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，由傳感器信號調理ASIC芯片出發(fā)，向前后端拓展了集成式傳感器芯片、隔離與接口芯片、驅動(dòng)與采樣芯片，形成了信號感知、系統互聯(lián)與功率驅動(dòng)的產(chǎn)品布局。
在混合信號處理、高耐壓數字隔離、集成式傳感器設計等領(lǐng)域擁有獨立知識產(chǎn)權和豐富技術(shù)儲備，產(chǎn)品已作為新能源汽車(chē)、工業(yè)自動(dòng)化等應用的關(guān)鍵芯片，成功進(jìn)入多個(gè)行業(yè)一線(xiàn)客戶(hù)的供應體系并實(shí)現大規模量產(chǎn)。同時(shí)公司持續加大各應用場(chǎng)景的產(chǎn)品研發(fā)，產(chǎn)品被廣泛應用于國內知名品牌客戶(hù)，涵蓋信息通訊、工業(yè)控制、汽車(chē)電子和消費電子等領(lǐng)域。
官網(wǎng)：https://www.novosns.com/
8 上海矽?？萍加邢薰?/span>
上海矽?？萍加邢薰境闪⒂?012年9月，專(zhuān)注于MEMS智能傳感器業(yè)務(wù)，設計和生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)傳感器產(chǎn)品，并為客戶(hù)提供相應的智能應用方案和服務(wù)。
矽?？萍紦碛型耆灾髦R產(chǎn)權，申請并成功授權70余項國際國內發(fā)明專(zhuān)利，專(zhuān)利組合覆蓋MEMS工藝制程、傳感器設計和ASIC設計、算法和系統應用軟件等。
《中國傳感器發(fā)展藍皮書(shū)》首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，專(zhuān)業(yè)從事高端MEMS傳感器和執行器、微系統等技術(shù)與產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售。
官網(wǎng)：https://www.qstcorp.com/
9 西人馬聯(lián)合測控（泉州）科技有限公司

西人馬聯(lián)合測控成立于2017年，總部坐落于福建，北方總部坐落于北京、南方總部坐落于深圳，歐洲總部坐落于法國巴黎。西人馬聯(lián)合測控總人數近1000人，其中科研人員約600人，擁有超過(guò)500項專(zhuān)利，并以每年30%以上的速度遞增。
EET電子工程專(zhuān)輯（中國）2021年中國傳感器公司TOP10之一，采用IDM模式，專(zhuān)注于傳感器芯片及相關(guān)調理芯片的研發(fā)、設計、制造和封測。
作為一家IDM芯片供應商，西人馬擁有先進(jìn)的MEMS\ASIC\SoC以及非硅基芯片的設計、制造、封測能力，基于這些先進(jìn)的核心技術(shù)，西人馬既可以單獨給客戶(hù)提供高品質(zhì)的芯片產(chǎn)品，也可以提供相應的模組和解決方案，利用西人馬先進(jìn)的傳感器、邊緣計算產(chǎn)品和相應的開(kāi)發(fā)套件幫助客戶(hù)快速地搭建起具有監測與控制功能的A-IoT系統。
官網(wǎng)：https://www.fatritech.com/

5、華虹宏力（代工）
華虹由原上海華虹NEC電子有限公司和上海宏力半導體制造有限公司合并而成，自建設中國大陸第一條8英寸（200mm）集成電路生產(chǎn)線(xiàn)起步，華虹宏力在上海金橋和張江共有三座8英寸晶圓廠(chǎng)（華虹一廠(chǎng)、二廠(chǎng)及三廠(chǎng)），月產(chǎn)能約18萬(wàn)片。
在8英寸制造平臺上，華虹實(shí)現MEMS器件與標準CMOS工藝及生產(chǎn)線(xiàn)的全兼容。已流片的產(chǎn)品包括磁力計、加速度計、壓力傳感器等。
7、睿創(chuàng )微納（IDM）
睿創(chuàng )微納總部位于山東煙臺，是從事專(zhuān)用集成電路、紅外熱像芯片及MEMS傳感器設計與制造的企業(yè)。
睿創(chuàng )微納的8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)由公司與代工廠(chǎng)共建，已量產(chǎn)，月產(chǎn)能1500片晶圓。
2020年7月，與煙臺開(kāi)發(fā)區簽署協(xié)議，建設一條8英寸MEMS工藝線(xiàn)和一條化合物半導體工藝線(xiàn)。其中，化合物半導體芯片工藝線(xiàn)面向半導體激光器、光電探測器、微波器件以及功率器件；MEMS工藝線(xiàn)面向高端光學(xué)MEMS器件、RF MEMS器件和慣性MEMS傳感器等。
8、罕王微電子（IDM&代工）罕王微電子是一家以MEMS傳感器設計及制造生產(chǎn)為核心的高科技中美合資企業(yè)，總部位于遼寧省沈撫新區，系罕王集團控股子公司。
罕王微電子2016年收購美信旗下MEMS傳感器業(yè)務(wù)，2018年建成國內首條8英寸純MEMS規?；慨a(chǎn)線(xiàn)，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全流程，設計晶圓產(chǎn)能36萬(wàn)片/年。生產(chǎn)傳感器包括：陀螺儀、IMU慣性測量單元、射頻RF-MEMS及加速度、溫度、濕度、壓力、應力傳感器等。
9、河北美泰（IDM）
中國電子科技集團第十三研究所全資子公司，2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標準加工技術(shù)及在高性能MEMS 器件中的應用”通過(guò)科技部組織的專(zhuān)家驗收。
6英寸SOI MEMS標準工藝和封裝技術(shù)用于MEMS陀螺儀、加速度計、振動(dòng)傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開(kāi)關(guān)、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產(chǎn)線(xiàn)月產(chǎn)能達到1萬(wàn)片。
10、廈門(mén)西人馬（IDM）
西人馬（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人馬聯(lián)合測控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人馬MEMS高端傳感器和芯片制造基地，占地70畝，建筑面積20000㎡，具有6000㎡的超凈車(chē)間和先進(jìn)微納米研究實(shí)驗室，配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線(xiàn)和中國先進(jìn)的MEMS器件加工平臺。
西人馬19年11月獲得朗潤基金數千萬(wàn)A輪融資，20年一季度獲得A+輪的1億元人民幣融資，今年3月獲B輪融資，發(fā)展迅速，西人馬已經(jīng)成為國內MEMS領(lǐng)域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產(chǎn)量可以達到幾十萬(wàn)顆。
11、廣州奧松電子（IDM&代工）
奧松電子成立于2003年，專(zhuān)注于MEMS半導體工藝技術(shù)，是國內率先應用MEMS半導體工藝技術(shù)生產(chǎn)傳感器芯片的高新技術(shù)企業(yè)，也是廣東省MEMS領(lǐng)域集研發(fā)、設計、制造、封裝測試、終端應用為一體的MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈（簡(jiǎn)稱(chēng)IDM）企業(yè)。
2019年奧松電子斥巨資打造MEMS半導體芯片生產(chǎn)線(xiàn)，一期工程凈化車(chē)間總面積約2500平方米，配置濕法清洗區、百級潔凈度光刻區、千級潔凈度鍍膜區、千級潔凈度刻蝕區、千級潔凈度離子注入區及參觀(guān)通道等。
2020年9月，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導體傳感器芯片生產(chǎn)線(xiàn)正式投入運營(yíng)，成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風(fēng)速等傳感器芯片。
奧松電子MEMS半導體生產(chǎn)線(xiàn)一期工程為500納米MEMS半導體工藝制程，生產(chǎn)設備約占整個(gè)投資規模的70%。根據規劃，2021年二期工程將建成350納米制程工藝MEMS半導體生產(chǎn)線(xiàn)；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導體生產(chǎn)線(xiàn)；總項目全部建成投產(chǎn)后，每月流片規模將達到4萬(wàn)片，
2021年8月，奧松電子官網(wǎng)宣布對外開(kāi)放MEMS芯片代工業(yè)務(wù)，包括設備共享、技術(shù)支持、企業(yè)孵化等服務(wù)。
2021年4月奧松電子控股的全資子公司——奧松半導體（珠海）有限公司，將在珠海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區建設8英寸先進(jìn)MEMS特色半導體IDM產(chǎn)業(yè)基地項目。該項目建成后，將成為國內先進(jìn)的MEMS芯片及智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群，提高M(jìn)EMS芯片的代工和量產(chǎn)能力。
12、諾思微系統（IDM）
諾思微系統位于天津，是一家無(wú)線(xiàn)設備射頻前端MEMS濾波芯片服務(wù)商，其產(chǎn)品主要采用薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術(shù)以及硅襯底的微機電系統(MEMS)制造技術(shù)，同時(shí)為無(wú)線(xiàn)射頻濾波器、雙工器、和多工器等提供解決方案。  
諾思微已投產(chǎn)一條6英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)和一條4英寸工藝研發(fā)線(xiàn)。廠(chǎng)房和研發(fā)中心總占地面積2.7萬(wàn)平方米。
2021年3月，國家重點(diǎn)研發(fā)計劃“制造基礎技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專(zhuān)項項目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺”的項目在諾思微系統啟動(dòng)，針對5G/6G無(wú)線(xiàn)通訊、物聯(lián)網(wǎng)等對射頻濾波器、智能傳感器提出新的技術(shù)要求，對實(shí)現晶圓級硅基MEMS壓電器件的大規模生產(chǎn)、擺脫我國目前關(guān)鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，有重要意義。
2021年8月完成4億元融資，預計在一年內全面加速產(chǎn)能釋放，達年產(chǎn)20億顆濾波器芯片的產(chǎn)能規模。
13、多維科技（IDM&代工）
成立于2010年，總部在江蘇張家港，建設有完整的第四代磁傳感技術(shù)——隧道磁電阻（TMR）的磁性感應芯片產(chǎn)線(xiàn)。
多維科技的磁傳感器晶圓代工廠(chǎng)擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓產(chǎn)線(xiàn)，提供完整的磁傳感器（AMR / GMR / TMR）開(kāi)發(fā)及晶圓制造服務(wù)（包括設計、制造和測試），年產(chǎn)10億個(gè)TMR磁傳感器。
2021年5月多維科技獲4億元融資，將用于對現有產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行升級，能夠進(jìn)一步強化“自研、自產(chǎn)、技術(shù)領(lǐng)先”的核心競爭力。
14、湖南啟泰傳感科技（IDM）
2006年成立，總部在湖南瀏陽(yáng)。啟泰傳感以王國秋教授為首的科研團隊攻克了異質(zhì)膜關(guān)鍵工藝與技術(shù)，建設國內第一條金屬基薄膜力敏芯片——MEMS壓敏傳感芯片生產(chǎn)線(xiàn)，是世界上少數幾家具有金屬濺射薄膜壓敏芯片規?；a(chǎn)能力的公司之一。
2019年8月該生產(chǎn)線(xiàn)實(shí)現批量生產(chǎn)，年產(chǎn)壓敏傳感芯片50萬(wàn)顆，至2021年一期工程順利完工投產(chǎn)，用地面積35畝，建設總用地面積2萬(wàn)多平米，傳感器芯片年生產(chǎn)能力可達600萬(wàn)顆，傳感器封裝200萬(wàn)支，年產(chǎn)值可達10億元。
二期項目正在進(jìn)行，預計完工后，傳感器芯片產(chǎn)能將達2000萬(wàn)顆，傳感器封裝1000萬(wàn)支，年產(chǎn)值可達50億元。
15、高德紅外（IDM）
高德紅外創(chuàng )立于1999年，總部位于武漢，擁有8 英寸 0.25um 批產(chǎn)型 MEMS 生產(chǎn)線(xiàn)，是目前國內唯一一條自主可控且具備批產(chǎn)能力的非制冷紅外焦平面探測器生產(chǎn)線(xiàn)，已實(shí)現從 120×90 到 1280×1024 從低到高各類(lèi)面陣規格產(chǎn)品型號批產(chǎn)能力。
高德紅外目前已擁有3條8英寸紅外探測器產(chǎn)線(xiàn)，據2021年8月消息，年底將有新產(chǎn)線(xiàn)投產(chǎn)，并提高3~4倍產(chǎn)能。
16、武漢衍熙微器件（IDM）
武漢衍熙微器件擁有全國第一條8寸體聲波（BAW）量產(chǎn)線(xiàn)，具有先進(jìn)的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝設備，并建立創(chuàng )新自主開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品生產(chǎn)流程。該產(chǎn)線(xiàn)主要產(chǎn)品有MEMS濾波器、雙工器等。
2018年，武漢衍熙微器件進(jìn)行項目擴建，一期為租賃現有廠(chǎng)房5600平方米，建設3600平方米的無(wú)塵室車(chē)間；二期計劃建設約10000平方米的無(wú)塵室車(chē)間，用于擴大生產(chǎn)。

17、杭州士蘭微電子（IDM）
杭州士蘭微1997年成立，是國內規模最大的集成電路芯片設計與制造一體（IDM）的企業(yè)之一。
自2010年開(kāi)始，士蘭微電子投入大量資金，通過(guò)對加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，在6吋、8吋芯片生產(chǎn)線(xiàn)上實(shí)現了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測生產(chǎn)線(xiàn)，初步走通了系列傳感器的IDM發(fā)展之路，已申請相關(guān)發(fā)明專(zhuān)利百余項。
目前士蘭微MEMS傳感器產(chǎn)品系列豐富，有：MEMS加速度計、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風(fēng)、數字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。
2021年7月30日，士蘭微發(fā)出資產(chǎn)重組公告，引入國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司，募集11億元。
18、蘇州固锝（IDM）
蘇州固锝成立于1990年，是國內二極管龍頭企業(yè)，旗下子公司明銳光電、明皜傳感、艾特曼電子等涉足MEMS傳感器IDM業(yè)務(wù)。
2010年固锝收購明銳光電，明銳光電主要從事MEMS-CMOS三維集成制造平臺技術(shù)及八寸晶圓級封裝技術(shù)及產(chǎn)線(xiàn)和產(chǎn)品研發(fā)。

2011年成立明皜傳感，從事微機電傳感器芯片和器件的工藝開(kāi)發(fā)、設計。2021年8月，明皜傳感獲小米投資，注冊資本由 6443.64 萬(wàn)元人民幣增加至 7085.19 萬(wàn)元人民幣，增幅為 9.96%。
2012年成立艾特曼電子，主要從事晶圓級MEMS器件封裝工藝及相關(guān)核心技術(shù)的開(kāi)發(fā)并提供代工服務(wù)，服務(wù)領(lǐng)域涵蓋消費類(lèi)電子產(chǎn)品、汽車(chē)電子、工業(yè)控制、家電領(lǐng)域慣性傳感器（加速度計、陀螺儀）以及紅外傳感器等。
2021年6月，蘇州固锝與華景傳感合資成立華锝半導體，愿景是將華景傳感的MEMS麥克風(fēng)芯片設計技術(shù)與蘇州固锝的封測技術(shù)及生產(chǎn)經(jīng)驗相結合，逐步實(shí)現MEMS麥克風(fēng)在高端領(lǐng)域的進(jìn)口替代。
同月，華锝MEMS聲學(xué)傳感器及射頻濾波器封測項目落戶(hù)蘇州。項目一期產(chǎn)線(xiàn)將建立符合華為體系標準的MEMS聲學(xué)傳感器的封測基地，主要客戶(hù)有小米、科大訊飛等；二期將引入國內首創(chuàng )MEMS麥克風(fēng)及射頻濾波器的WLP晶圓級封裝產(chǎn)線(xiàn)，該晶圓級封裝為芯片流片工藝最后一道關(guān)鍵工藝，華锝將擁有自主晶圓級封裝相關(guān)自主技術(shù)知識產(chǎn)權。
19、蘇州納米城（中試線(xiàn)）
蘇州納米城6英寸MEMS中試線(xiàn)由蘇州納米科技發(fā)展有限公司（蘇州工業(yè)園區政府出資）建設，是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目。
蘇州6英寸微納機電制造（MEMS）中試線(xiàn)采用市場(chǎng)化、全開(kāi)放的運作模式，主要開(kāi)展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測試、專(zhuān)利運營(yíng)、設備租賃、超凈場(chǎng)地租賃、工藝技術(shù)培訓等十多項專(zhuān)業(yè)服務(wù)，目前已成功導入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品
20、淄博高新區6英寸中試線(xiàn)
該產(chǎn)線(xiàn)由清華大學(xué)、淄博高新區MEMS研究院和國高(淄博)微系統科技有限公司共同完成。
是國內首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺，超凈規模國內一流；配備了國際一流設備的中試代工線(xiàn)，中試生產(chǎn)能力可達月產(chǎn)傳感器十萬(wàn)只，產(chǎn)品的測試環(huán)境也居國內先進(jìn)水平。
21、中科院微電子所（中試線(xiàn)）
2016年由中科院微電子所設立的MEMS研發(fā)平臺，其8英寸MEMS中試線(xiàn)工藝穩定性達到98%；針對三軸重力加速度計、基于氧化釩的紅外圖像傳感器、醫用CT中X-ray探測、基于薄膜體聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測器等產(chǎn)品。
22、上海微技術(shù)工研院（中試線(xiàn)）
2017年，上海微技術(shù)工業(yè)研究院（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“工研院”）構建的國內首條，全球領(lǐng)先，兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線(xiàn)正式投入運營(yíng)，月產(chǎn)量將達到3000件。
該產(chǎn)線(xiàn)部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測設備。作為國內第一條先進(jìn)8英寸研發(fā)中試線(xiàn)，SITRI的8英寸研發(fā)中試線(xiàn)不僅可承擔產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓、設備驗證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率。
今年6月，上海微技術(shù)工研院宣布將8英寸線(xiàn)每年四分之一的總機時(shí)資助給上海大學(xué)，用于微電子學(xué)院教學(xué)實(shí)踐，為期5年。
23、中科院上海微系統所（研發(fā)平臺）
中國科學(xué)院上海微系統所現有的MEMS技術(shù)平臺由微系統加工平臺和微系統封裝平臺兩部分組成，分別位于上海微系統所漕河涇園區內主樓的一層和二層凈化間內。
整個(gè)平臺擁有100多臺套先進(jìn)的大中型設備，總價(jià)值達1.1億元，可以完成從微芯片制造、芯片封裝、器件測試、微系統集成等成套工藝，為微系統研究提供有力的技術(shù)保障。