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Schiltron與Entrepix合作利用CMP達成3-D閃存制造新架構?
- 3-D Flash新創(chuàng )公司Schiltron Corporation與專(zhuān)門(mén)提供化學(xué)機械拋光設備及代工服務(wù)的領(lǐng)先供應商Entrepix合作發(fā)展使用現有的材料，工具和制程的方法制造3-D Flash，從而利用簡(jiǎn)單直接的方式擴大產(chǎn)量。 Schiltron 3-D Flash制造方式的最關(guān)鍵工藝的步驟是化學(xué)機械設備(CMP)的達成。該公司的聯(lián)合開(kāi)發(fā)的努力已制造迄今為止最小的矽基薄膜電晶體(Silicon-base thin-film transistors) 。 晶體管結構和低溫度預算工藝步驟(low
- 關(guān)鍵字： Entrepix 晶體管 CMP 矽基薄膜電晶體
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