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248nm
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248nm增透膜國際領(lǐng)先：準分子激光器應用擴展
- 248nm準分子激光器技術(shù)由于輸出波長(cháng)短、能量高、具有窄的脈寬和很高的峰值功率，在工業(yè)、國防等方面，尤其是高功率激光系統包括248nm光刻技術(shù)、激光醫療、激光精細加工中具有極廣的應用前景，也是ICF領(lǐng)域一個(gè)重要的技術(shù)選項。248nm薄膜元件是準分子激光系統中重要的薄膜元器件，其光學(xué)損耗和抗激光損傷性能對激光系統的效率起著(zhù)重大或決定性的作用。 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所研究了LaF3、MgF2、Al2O3和SiO2薄膜的低吸收、低損耗蒸發(fā)沉積工藝，在此基礎上設計并制備了兩種248nm增透膜，
- 關(guān)鍵字： 準分子激光器 248nm
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248nm介紹
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