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盛美半導體
盛美半導體 文章 進(jìn)入盛美半導體技術(shù)社區
積塔半導體與盛美半導體戰略合作
- 2020年5月28日，上海積塔半導體有限公司與盛美半導體設備（上海）股份有限公司正式達成戰略合作，簽約儀式在位于臨港新片區的積塔半導體公司臨港工廠(chǎng)舉行，由積塔半導體首席執行官洪沨博士與盛美半導體董事長(cháng)王暉博士作為雙方代表進(jìn)行簽約。雙方本著(zhù)“平等互利、優(yōu)勢互補、共同發(fā)展、誠實(shí)守信”的原則，正式簽約構建全面深化的戰略合作伙伴關(guān)系，雙方將發(fā)揮各自?xún)?yōu)勢，加速我國集成電路裝備國產(chǎn)化進(jìn)程，在半導體設備及其相關(guān)工藝方面進(jìn)行深入合作。積塔半導體首席執行官洪沨博士表示：很高興能與盛美半導體達成戰略合作，支持國產(chǎn)設備、材料，
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盛美半導體投資3000萬(wàn)美元合肥建研發(fā)中心
- 記者從近日舉辦的合肥經(jīng)開(kāi)區投資環(huán)境推介會(huì )上了解到，眾多來(lái)自國外的客商看好安徽工業(yè)引擎的區域發(fā)展前景，確定或有意愿前來(lái)合肥投資。“合肥是中部新興的城市，經(jīng)開(kāi)區是安徽工業(yè)強區”，美國空氣產(chǎn)品公司副總裁馮燕透露，該公司已經(jīng)確定在合肥經(jīng)開(kāi)區投資5000~6000萬(wàn)美元興建工廠(chǎng)，初步是為落戶(hù)于空港經(jīng)濟示范區的長(cháng)鑫集團提供工業(yè)氣體。據了解，該公司是全球工業(yè)氣體生產(chǎn)巨頭，全球化工行業(yè)50強之一。而長(cháng)鑫集團項目是我省最大的集成電路產(chǎn)業(yè)項目，將快速帶動(dòng)芯片設計、封裝測試等上下游配套企業(yè)集聚落戶(hù)，
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盛美半導體贏(yíng)得第一臺Ultra C兆聲波清洗設備訂單
- 盛美半導體設備(上海)有限公司日前宣布第一臺Ultra C 12英寸單片兆聲波清洗設備已經(jīng)銷(xiāo)售給韓國存儲器制造巨頭。采用盛美的空間交變相移兆聲波技術(shù)(SAPS)，Ultra C無(wú)需用高濃度的化學(xué)藥液，而是采用極低濃度的功能水即可實(shí)現優(yōu)越的顆粒去除率(PRE)，并且使材料的流失降到最低。該設備將用于客戶(hù)最先進(jìn)器件的制造工藝上。 Ultra C定位于高端的清洗工藝。通過(guò)客戶(hù)端大生產(chǎn)線(xiàn)驗證，Ultra C清洗后的PRE在65nm及以上顆粒達到96%，在44nm至65nm顆粒之間PRE達到74%，單道清
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盛美半導體設備有限公司發(fā)布無(wú)應力拋光集成設備
- 盛美半導體設備(上海)有限公司，日前推出最新的半導體制造設備——無(wú)應力拋光集成設備(the Ultra SFP)。該設備能夠對65nm及以下的銅互聯(lián)結構進(jìn)行無(wú)應力、無(wú)損傷拋光。該設備整合了無(wú)應力拋光技術(shù)(SFP)、熱氣相蝕刻技術(shù) (TFE)以及低下壓力化學(xué)機械平坦化技術(shù)(ULDCMP)，利用其各自獨特的技術(shù)優(yōu)點(diǎn)，確保在整個(gè)拋光過(guò)程中對銅互連結構無(wú)任何損傷。 使用無(wú)應力拋光設備制造以二氧化硅(SiO2)為基體的空氣穴互連結構有諸多優(yōu)點(diǎn)。其工藝簡(jiǎn)單，可以使用傳統的二氧化硅介電
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盛美半導體公司落戶(hù)張江
- 發(fā)達國家在芯片生產(chǎn)設備研發(fā)制造領(lǐng)域的國際壟斷有望在近期被中國企業(yè)打破。記者昨天從盛美半導體設備(上海)有限公司落戶(hù)張江慶典儀式上獲悉，這家由海歸人員創(chuàng )立的企業(yè)已經(jīng)掌握了未來(lái)芯片生產(chǎn)所需的新一代生產(chǎn)技術(shù)，應用該技術(shù)的樣機已被Intel和美國LSI Logic公司采購。
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盛美半導體介紹
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