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熱處理
熱處理 文章 進(jìn)入熱處理技術(shù)社區
用于檢測裸硅圓片上少量金屬污染物的互補性測量技術(shù)
- I.?前言本文旨在解決硅襯底上的污染問(wèn)題，將討論三種不同的金屬污染。第一個(gè)是鎳擴散，又稱(chēng)為快速擴散物質(zhì)[1]，它是從晶圓片邊緣上的一個(gè)污點(diǎn)開(kāi)始擴散的金屬污染。第二個(gè)是鉻污染，它是從Bulk體區內部擴散到初始氧化膜[2]，并在晶圓片上形成了一層較厚的氧化物。第三個(gè)是晶圓片邊緣周?chē)牟讳P鋼污染。本文的研究目的是根據金屬和圖1所示的污染特征找到污染的根源。圖1 三個(gè)金屬污染示例的映射圖。從左至右：鎳擴散的微掩膜缺陷圖；較厚的鉻氧化沉積層；晶圓片邊緣上不銹鋼污染電子晶圓片檢測(EWS)映射圖AI.&nb
- 關(guān)鍵字： 金屬污染 測量 熱處理 SPV TXRF
激光產(chǎn)業(yè)細分 維宏行業(yè)深耕
- 自上世紀六十年代第一臺激光器誕生以來(lái)，經(jīng)過(guò)幾十年的發(fā)展，激光加工技術(shù)與多個(gè)學(xué)科相結合形成多個(gè)應用技術(shù)領(lǐng)域。目前，激光的主要加工技術(shù)包括：激光切割、激光焊接、激光打標、激光打孔、激光熱處理、激光快速成型、激光涂敷等。激光加工技術(shù)是一門(mén)綜合性的高科技技術(shù)，交叉了光學(xué)、材料科學(xué)、工程、機械制造學(xué)、數控技術(shù)及電子技術(shù)等學(xué)科，由于激光固有的四大特性，被廣泛地應用于工業(yè)、農業(yè)、國防、醫學(xué)以及科學(xué)實(shí)驗等諸多行業(yè)。 迄今為止，全球已開(kāi)形成了以美國、歐盟、日本等國家或地區為首的激光加工市場(chǎng)，激光加工技術(shù)正以前所未
- 關(guān)鍵字： 激光切割 激光加工 熱處理 激光切割運動(dòng)控制系統
節能引領(lǐng)中國熱處理未來(lái)發(fā)展趨勢
- 熱處理行業(yè)是裝備制造行業(yè)中的四大基礎工藝行業(yè)之一，是提升中國機械制造行業(yè)整體水平的關(guān)鍵性行業(yè)之一。隨著(zhù)鋼鐵、機械、化工等重化工業(yè)逐漸向發(fā)展中國家轉移，熱處理對中國機械制造業(yè)的振興和發(fā)展具有重要的支撐作用，而機械制造業(yè)的發(fā)展也必將帶動(dòng)中國熱處理行業(yè)的快速發(fā)展，為中國熱處理行業(yè)的發(fā)展提供廣闊的發(fā)展空間，行業(yè)的發(fā)展前景廣闊。 有統計資料顯示，“十一五”期間，中國熱處理行業(yè)共有熱處理企業(yè)(含專(zhuān)業(yè)化廠(chǎng)、熱處理設備制造廠(chǎng)、熱處理工藝材料生產(chǎn)企業(yè)及主機廠(chǎng)的熱處理分廠(chǎng)、車(chē)間)約180
- 關(guān)鍵字： 熱處理 節能
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