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MEMS/NEMS表面3-D輪廓測量中基于模板的相位解包裹算法

- 相位解包裹是使用相移顯微干涉法測量MEMS/NEMS表面3-D輪廓時(shí)的重要步驟.本文針對普通的相位解包裹方
法在復雜輪廓或包含非理想數據區的表面輪廓測量中的局限性,提出一種基于模板的廣度優(yōu)先搜索相位展開(kāi)方法.通過(guò)模板
的使用,先將非相容區域標記出來(lái),在相位解包裹的過(guò)程中繞過(guò)這些區域,即可得到準確可靠的相位展開(kāi)結果.通過(guò)具體的應
用實(shí)例可以證明,使用不同模板可以根據不同應用的需要靈活而準確地實(shí)現微納結構表面3-D輪廓測量中的相位展開(kāi).
關(guān)鍵詞:MEMS/NEMS;表面 - 關(guān)鍵字: 模板 相位 包裹 算法 基于 測量 表面 3-D 輪廓 MEMS/NEMS
基于模板的對幾種特殊結構句子的語(yǔ)句改寫(xiě)
- 0 引 言
語(yǔ)句改寫(xiě)是在不改變原語(yǔ)句表達意思的條件下的另一種表達方式,其技術(shù)可以應用到信息檢索、問(wèn)答系統、自動(dòng)文摘以及機器翻譯等系統中,并能夠有效地提高相應系統的性能。
有關(guān)句改寫(xiě)方面的研究資料有 - 關(guān)鍵字: 模板
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