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應用材料公司推出亮場(chǎng)硅片檢測工具UVision3系統
- 近日，應用材料公司推出具有業(yè)界最高生產(chǎn)力的DUV(深紫外)亮場(chǎng)硅片檢測工具UVision® 3系統，它能滿(mǎn)足45納米前端制程和浸沒(méi)式光刻對于關(guān)鍵缺陷檢測靈敏度的要求。這個(gè)新一代的系統為應用材料公司突破性的UVision技術(shù)帶來(lái)了重要的進(jìn)步，它將掃描硅片的激光束數量提升至3倍，使其生產(chǎn)速度比任何競爭對手的系統快40%。兩個(gè)新的成像模式將靈敏度擴展至20納米，全新靈活的自動(dòng)缺陷分類(lèi)引擎能夠迅速標定出有害缺陷從而達到更快的成品率學(xué)習進(jìn)程。 應用材料公司副總裁，工藝診斷控制事業(yè)部總經(jīng)理Gilad
- 關(guān)鍵字： 測試 測量 應用材料 硅 檢測工具 操作系統
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