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發(fā)展中的MOEMS壓力傳感器

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壓力傳感器介紹

壓力傳感器 pressure transducer 將壓力轉換為電信號輸出的傳感器。通常把壓力測量?jì)x表中的電測式儀表稱(chēng)為壓力傳感器。壓力傳感器一般由彈性敏感元件和位移敏感元件（或應變計）組成。彈性敏感元件的作用是使被測壓力作用于某個(gè)面積上并轉換為位移或應變，然后由位移敏感元件（見(jiàn)位移傳感器）或應變計（見(jiàn)電阻應變計、半導體應變計）轉換為與壓力成一定關(guān)系的電信號。有時(shí)把這兩種元件的功能集于一體，如 [ 查看詳細 ]

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