準分子激光器文章進(jìn)入準分子激光器技術(shù)社區

用于大尺寸液晶屏制造設備的退火工序的準分子激光器

　　日本Gigaphoton公司2016年6月24日宣布，開(kāi)發(fā)出了用于制造平板顯示器(FPD)的極小激光退火工序用準分子激光器“GIGANEX”系列。不久前將該激光器配備在日本V-Technology公司的極小激光退火裝置上，供貨給了大尺寸液晶屏制造設備工廠(chǎng)用于LTPS(低溫多晶硅)TFT液晶面板制造。　　　　“GIGANEX”準分子激光器的機殼示意圖(照片出自Gigaphoton的新聞發(fā)布資料) 　　這是一款應用高可靠性半導體
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248nm增透膜國際領(lǐng)先：準分子激光器應用擴展

　　248nm準分子激光器技術(shù)由于輸出波長(cháng)短、能量高、具有窄的脈寬和很高的峰值功率，在工業(yè)、國防等方面，尤其是高功率激光系統包括248nm光刻技術(shù)、激光醫療、激光精細加工中具有極廣的應用前景，也是ICF領(lǐng)域一個(gè)重要的技術(shù)選項。248nm薄膜元件是準分子激光系統中重要的薄膜元器件，其光學(xué)損耗和抗激光損傷性能對激光系統的效率起著(zhù)重大或決定性的作用。　　中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所研究了LaF3、MgF2、Al2O3和SiO2薄膜的低吸收、低損耗蒸發(fā)沉積工藝，在此基礎上設計并制備了兩種248nm增透膜，
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準分子激光器介紹

準分子激光器 excimer laser 以準分子為工作物質(zhì)的一類(lèi)氣體激光器件。常用相對論電子束（能量大于200千電子伏特）或橫向快速脈沖放電來(lái)實(shí)現激勵。當受激態(tài)準分子的不穩定分子鍵斷裂而離解成基態(tài)原子時(shí)，受激態(tài)的能量以激光輻射的形式放出。發(fā)展歷程編輯本段回目錄第一臺準分子激光器于1970年誕生，它利用強電子束激勵液態(tài)氙，獲得氙準分子的激射作用，激光波長(cháng)為1720埃。隨后，氣相 [ 查看詳細 ]

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用于大尺寸液晶屏制造設備的退火工序的準分子激光器

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