安捷倫科技推出整合CV和IV測量功能的半導體器件分析儀

安捷倫科技日前宣布，推出基于Windows?的半導體器件分析儀，把電容對電壓測量(CV)及電流對電壓測量(IV)集成到一臺儀器中，使半導體測試工程師節約了時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。安捷倫B1500A為參數測試和分析提供了完整的可單機、可擴展解決方案，能夠處理65 納米(nm)及更小光刻工藝技術(shù)。模塊化儀器采用10插槽配置，支持安捷倫新推出的EasyEXPERT軟件，提供了一個(gè)完整的器件檢定方法。

對處理當前半導體工藝技術(shù)的工程師和科學(xué)家來(lái)說(shuō)，半導體器件檢定是一項復雜的工作。搭配基于Windows的圖形用戶(hù)界面，即使對參數測量?jì)x器經(jīng)驗不足的新工程師，也可以輕松使用。

"采用EasyEXPERT軟件的安捷倫B1500A把每個(gè)用戶(hù)變成了參數測試專(zhuān)家。"安捷倫Hachioji半導體測試分部副總裁兼總經(jīng)理Minoru Ebihara說(shuō)，"一般半導體測試儀器要求EasyEXPERT知道每種硬件功能，并要求多種設置才能進(jìn)行測量。B1500A為用戶(hù)立即提供了高效的生產(chǎn)能力，使投資回報達到最大。"

新的EasyEXPERT軟件提供了一個(gè)器件應用測試程序庫，用戶(hù)可以根據要求的測量類(lèi)型進(jìn)行選擇。在進(jìn)行幾個(gè)簡(jiǎn)單的設置之后，如確認工藝類(lèi)型，及選擇適當的器件類(lèi)型，軟件便會(huì )選擇相應的設置，進(jìn)行測量，分析數據，以圖形方式顯示分析結果。通過(guò)使用基于Windows的EasyEXPERT軟件，即使是新手也可以在B1500A開(kāi)機幾分鐘后進(jìn)行高效測量。

當檢定同時(shí)要求進(jìn)行IV和CV測量時(shí)，工程師面臨著(zhù)額外的挑戰。然而大多數儀器只是為一種測量設計的，這意味著(zhù)必須透過(guò)兩個(gè)接口連接兩種不同的儀器來(lái)進(jìn)行測量。必需把電容測量單元(CMU)的連接線(xiàn)正確連接到被測器件(DUT)上，并精確補償電纜長(cháng)度，以保證精確的CV測量結果。此外，CMU采用BNC連接器，而電源測量單元(SMU)采用三軸連接器。在這些不兼容的連接器之間切換可能會(huì )非常困難、麻煩，特別是與芯片探針臺上搭配使用時(shí)。

安捷倫B1500A提供了高度靈活性，幫助降低測試成本。其10插槽配置支持三種SMU類(lèi)型：

o 高分辨率SMU (HRSMU)

o 中等功率SMU (MPSMU)

o 高功率SMU (HPSMU)

安捷倫還提供一個(gè)多頻率電容測量單元(MFCMU)，B1500A主機內建4.2 A接地單元(GNDU)。

除把CV測量集成到器件分析儀主機外，MFCMU比類(lèi)似的外部電容儀表提供更多的測量功能。它可以以高達5 MHz的頻率測量電容，提供了正負25 V的DC偏置。此外，在同一部?jì)x器中把MFCMU和SMU結合起來(lái)，使得這些測量資源能夠更加緊密地結合在一起。在結合使用B1500A SMU CMU合一單元(SCUU)時(shí)，MFCMU和SMU組合支持正負100 V的 DC偏置的電容測量。

B1500A SCUU為把兩部SMU和MFCMU連接起來(lái)、并在這些不同測量資源之間切換提供了一種方便智能的方式，而不需使用單獨的外部開(kāi)關(guān)矩陣儀器。B1500A軟件處理所有IV-CV測量切換、補償和返回路徑狀態(tài)。為著(zhù)手進(jìn)行精確測量，用戶(hù)只需選擇IV或CV算法，然后按一個(gè)鍵即可。如需更多信息，請訪(fǎng)問(wèn)網(wǎng)址：www.agilent.com/see/parametric。

量身訂做的測量解決方案幫助測試工程師只要購買(mǎi)所需的功能，來(lái)幫助降低測試成本，并且預留發(fā)展空間應付需求變化。由本身具備的低電流、低電壓和補償電容測量功能，安捷倫B1500A可以用于半導體器件和新興材料的各種檢定需求，包括采用納米工藝技術(shù)的器件。

B1500A的自動(dòng)傳感和開(kāi)關(guān)單元(ASU)，提供了0.1 fA (100 attoamps)和0.5微伏的分辨率用以量測例如MOSFET Idoff和存儲單元漏電檢定等測量。工程師可以簡(jiǎn)便地透過(guò)ASU所連接到的高分辨率SMU和CMU時(shí)，作高精度IV和補償CV測量之間的切換。

美國價(jià)格和供貨情況

安捷倫B1500A半導體器件分析儀現已接受訂貨?；?-SMU IV測量解決方案起價(jià)45,000美元，基本CV-IV測量解決方案起價(jià)58,000美元。預計該產(chǎn)品將在2005年8月發(fā)貨。