賽斯與意法半導體合作開(kāi)發(fā)多軸MEMS陀螺儀

　　SAES®賽斯吸氣劑集團與意法半導體簽署了一項以促進(jìn)下一代MEMS陀螺儀的開(kāi)發(fā)制造活動(dòng)為宗旨的技術(shù)合作協(xié)議。賽斯的PageWafer®是最先進(jìn)的使片級封裝MEMS產(chǎn)品保持高真空的吸氣劑薄膜解決方案，為提高產(chǎn)品的靈敏度和穩定性，意法半導體將在該公司的微機電系統芯片內集成這項先進(jìn)技術(shù)。

　　　利用硅獨特的電氣性質(zhì)和出色的金屬特性，含有MEMS的集成電路正在給半導體行業(yè)帶來(lái)一場(chǎng)巨大變革。雖然硅的電氣特性是半導體行業(yè)四五十年發(fā)展的產(chǎn)業(yè)基礎，但是挖掘硅的機械特性相對來(lái)說(shuō)還是一個(gè)較新的現象，比人的毛發(fā)直徑還小的MEMS陀螺儀是一項尖端技術(shù)。

　　新陀螺儀產(chǎn)品是用于測量角速度的元器件，它們的問(wèn)世將進(jìn)一步完善ST現有的兩軸和三軸MEMS加速計，為客戶(hù)提供一個(gè)完整的慣性傳感器平臺。小尺寸，高靈敏度，低功耗，ST的MEMS陀螺儀將為手機、便攜設備、MP3/MP4播放器、PDA、游戲和導航設備等消費電子應用領(lǐng)域開(kāi)拓新的用途。ST預計在2008年前半年開(kāi)始大規模生產(chǎn)MEMS陀螺儀。

　　陀螺儀市場(chǎng)在很多應用領(lǐng)域都呈現高速增長(cháng)的趨勢。除汽車(chē)電子穩定系統和GPS接收機外，行業(yè)分析家認為MEMS陀螺儀將會(huì )在消費電子市場(chǎng)出現高速增長(cháng)，例如，便攜通信設備的運動(dòng)用戶(hù)界面以及攝像機和數碼相機的圖像穩定器。分析家預計今后五年MEMS陀螺儀的總有效市場(chǎng)會(huì )增長(cháng)三倍，從2006年的4億美元增長(cháng)到2012年12億美元。

　　2006年11月，意法半導體在米蘭Agrate地區新建成一條最先進(jìn)的200mm (8英寸)半導體晶圓生產(chǎn)線(xiàn)，該生產(chǎn)線(xiàn)專(zhuān)門(mén)用于制造MEMS器件。目前還在試產(chǎn)和測試中的ST第一代陀螺儀將來(lái)和現有的線(xiàn)性加速計共用這條生產(chǎn)線(xiàn)。

　　除現有的4、5、6英寸生產(chǎn)線(xiàn)外，賽斯最近對在 Lainate的公司總部的PageWafer 生產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行了設備升級，使其可以加工8英寸的晶圓。賽斯的8英寸晶圓生產(chǎn)線(xiàn)于2006年底開(kāi)始全負荷運轉，正在為ST的8英寸晶圓生產(chǎn)線(xiàn)提供配套服務(wù)。

　　賽斯吸氣劑集團設計PageWafer的目的是為保證晶圓對晶圓氣密焊接的MEMS器件內的真空或惰性氣體的穩定性。該產(chǎn)品由一個(gè)晶圓和一層吸氣劑薄膜組成，這層薄膜的厚度只有幾微米，有規律地放在特定的空穴上面，洞穴的形狀和深度是按客戶(hù)的要求定義的。充當MEMS封裝的蓋狀晶圓，PageWafer最大限度地吸附所有的活性氣體，像H2O、O2, CO, CO2、N2和H2，從而提高了器件的可靠性和壽命周期。

　　氣壓分布均勻和加工時(shí)間大幅度縮減是在8英寸等大尺寸晶圓內集成吸氣劑薄膜技術(shù)的獨特優(yōu)勢。

　　除供應PageWafer技術(shù)外，賽斯吸氣劑集團將在氣密封裝設計和特性表征以及真空需求定義等方面為ST提供技術(shù)咨詢(xún)支持，此外，還提供溢出氣體和剩余氣體分析服務(wù)。

　　“我們特別高興能夠與像ST這樣的MEMS全球市場(chǎng)的重量級廠(chǎng)商合作，”賽斯吸氣劑集團MEMS業(yè)務(wù)拓展經(jīng)理Marco Moraja表示，“消費電子應用領(lǐng)域中的MEMS運動(dòng)傳感器是我們目標市場(chǎng)中最具挑戰性的市場(chǎng)之一，被集成到ST的先進(jìn)的MEMS陀螺儀內的PageWafer技術(shù)代表了我們所服務(wù)的汽車(chē)工業(yè)以外的MEMS應用領(lǐng)域的廠(chǎng)商對我們的吸氣劑薄膜產(chǎn)品的極大認可?！?/P>

　　“在與像賽斯這樣的行業(yè)領(lǐng)導廠(chǎng)商合作方面，ST擁有悠久而且成功的歷史，”意法半導體MEMS產(chǎn)品部總經(jīng)理Benedetto Vigna表示，“通過(guò)在ST先進(jìn)的MEMS技術(shù)中整合賽斯的吸氣劑薄膜專(zhuān)業(yè)技術(shù)，我們將確?？蛻?hù)能夠獲得質(zhì)量最好的陀螺儀產(chǎn)品，這也是我們進(jìn)一步擴大高速增長(cháng)的MEMS業(yè)務(wù)的重要機遇?！?/P>