意法半導體(ST)領(lǐng)導歐洲研發(fā)項目，開(kāi)發(fā)下一代光學(xué)MEMS產(chǎn)品

　　橫跨多重電子應用領(lǐng)域、全球領(lǐng)先的半導體供應商意法半導體(STMicroelectronics，簡(jiǎn)稱(chēng)ST) 宣布將擔任Lab4MEMS II項目負責人。Lab4MEMS II是以第一代Lab4MEMS項目 (于2013年4月啟動(dòng)) 的的成功經(jīng)驗為基礎而被展期的第二代項目，主要研究課題是整合MEMS[1] 和微光學(xué) (Micro-optics) 的微光電機械系統 (MOEMS，Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems)，該系統可通過(guò)機械光電集成化系統發(fā)現或控制光信號，同時(shí)保留原項目為日后升級開(kāi)發(fā)的下一代MEMS元件試生產(chǎn)線(xiàn)。下一代的MEMS元件通過(guò)應用壓電 (piezoelectric) 或磁材料和3D封裝等先進(jìn)技術(shù)，大幅度強化了產(chǎn)品的性能。如同第一代項目一樣，Lab4MEMS II同樣是由納米電子行業(yè)公私合營(yíng)組織：歐洲納米計劃顧問(wèn)委員會(huì ) (ENIAC，European Nanoelectronics Initiative Advisory Council) 合作組織(JU，Joint Undertaking) 所發(fā)起。

　　Lab4MEMS II是一個(gè)耗資2600萬(wàn)歐元 (3000萬(wàn)美元) 的項目，合作組織包括來(lái)自9個(gè)歐洲國家的20個(gè)工業(yè)、學(xué)術(shù)和科研組織。憑借第一代Lab4MEMS項目打下的成功基礎，Lab4MEMS II項目委托意法半導體擔任項目協(xié)調人，為研發(fā)活動(dòng)提供完整的制造、技術(shù)和組織服務(wù)，引領(lǐng)微光電機械系統的研究發(fā)展，保證歐洲MEMS工業(yè)在世界的領(lǐng)先地位。

　　意法半導體擁有近1000項MEMS專(zhuān)利權，產(chǎn)品銷(xiāo)量已突破80億顆，內部日產(chǎn)量超過(guò)400萬(wàn)顆，這讓意法半導體成為歐洲MEMS項目負責人的最佳人選。Lab4MEMS II項目的主要研究目標是采用光學(xué)和標準微加工技術(shù)進(jìn)行設計、制造及測試各種器件，包括光開(kāi)關(guān) (optical switche)、微反射鏡陣列 (micro-mirror)、光交叉連接器 (optical cross-connect)、激光器、微透鏡 (micro lenses)，以縮減器件尺寸，制造更先進(jìn)的光學(xué)系統。微光電系統是研發(fā)未來(lái)高價(jià)值商用產(chǎn)品的理想平臺，例如光開(kāi)關(guān)、微反射鏡器件和動(dòng)態(tài)顯示器 (dynamic display)、光學(xué)雙穩態(tài)器件 (bi-stable)、光閘 (optical shutter)，這些光學(xué)器件可用于微型投影機、激光掃描儀、新一代人機界面以及微型光譜儀 (micro-spectrometer)。該項目以實(shí)現最佳化的單軸雙反射鏡 (dual single-axis mirror) 的制程為目標，并致力于研究開(kāi)發(fā)雙軸單鏡的各種應用可能性。

　　Lab4MEMS II是ENIAC JU簽定的關(guān)鍵使能技術(shù) (KET，Key Enabling Technologies) 試生產(chǎn)線(xiàn)項目，旨在于開(kāi)發(fā)對社會(huì )影響巨大的技術(shù)和應用。意法半導體歐洲研發(fā)與公共事務(wù)部項目經(jīng)理Roberto Zafalon表示：“ENIAC JU 研究項目的宗旨與意法半導體利用科技提高人們生活品質(zhì)的價(jià)值觀(guān)和承諾完全一致。微光電機械系統是一項很有前景的多功能技術(shù)，能夠使關(guān)鍵的光學(xué)系統實(shí)現小型化，使項目合作方和包括ENIAC成員國在內的利益相關(guān)者從中受益。我們期望開(kāi)發(fā)成果最終可轉化為促進(jìn)長(cháng)期的經(jīng)濟增長(cháng)，創(chuàng )造高價(jià)值知識型就業(yè)機會(huì )的動(dòng)力，進(jìn)一步促進(jìn)經(jīng)濟繁榮并造福社會(huì )。”

　　Lab4MEMS II試生產(chǎn)線(xiàn)將擴大意法半導體 Agrate Brianza的 200mm晶片制造廠(chǎng)的產(chǎn)能，并在現有技術(shù)組合中增加光學(xué)技術(shù)。此外，該生產(chǎn)線(xiàn)還將有助于意法半導體提升這些戰略性技術(shù)的實(shí)際研發(fā)經(jīng)驗，同時(shí)整合科研能力與各種微型智能系統芯片的研制能力。不僅如此，該項目還將評估晶片未來(lái)升級到300mm的潛在優(yōu)勢和影響。

　　ENIAC JU是一個(gè)公私合營(yíng)的產(chǎn)學(xué)聯(lián)盟，成員包括ENIAC成員國、歐盟和歐洲納米電子技術(shù)研究協(xié)會(huì ) (AENEAS，Association for European Nanoelectronics Activities)。目前該組織通過(guò)競標的形式為其研發(fā)項目提供大約18億歐元的研發(fā)經(jīng)費。意法半導體負責的Lab4MEMS II項目于2013年秋季中標，2014年11月啟動(dòng)。

　　除意法半導體外，Lab4MEMS II 項目合作方還包括：Politecnico di Torino and di Milano; Consorzio Nazionale Interuniversitario per la Nanoelettronica; CNR-IMM MDM; Commissariat Al Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives; ARKEMA SA; University of Malta; Okmetic Oyj; MURATA Electronics; VTT Memsfab Ltd; Teknologian tutkimuskeskus VTT; Aalto University; KLA-Tencor ICOS; University POLITEHNICA of Bucharest - CSSNT; Instytut Technologii Elektronowej; Warsaw; Stiftelsen SINTEF; Polewall AS; Besi Austria GmbH。

　　[1] MEMS =微機電系統(Micro-Electro-Mechanical Systems)