臺新技術(shù)突破PSS瓶頸 良率接近100%

　　LED有許多制程，“圖案化藍寶石基板(PSS)”是其中之一，業(yè)界現以“黃光微影”技術(shù)處理PSS，產(chǎn)能有限，良率亦不理想。

　　臺灣成功大學(xué)機械工程學(xué)系教授李永春帶領(lǐng)團隊開(kāi)發(fā)出全新的“軟性光罩微影”技術(shù)，良率幾乎百分之百，克服業(yè)界頭疼的量產(chǎn)、良率等問(wèn)題。業(yè)界看好此技術(shù)前景，與該團隊合作，希望以“軟性光罩微影”關(guān)鍵技術(shù)與元件，支援下一世代LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，并進(jìn)軍韓國、大陸、日本的PSS市場(chǎng)。

　　李永春教授表示，LED采用的藍寶石基板硬度極高，在講究LED高發(fā)光效率的要求下，必需在基板上做出極微小、細密的圖案結構，才能有高的發(fā)光效率。5年前業(yè)界采用玻璃光罩技術(shù)，但硬式玻璃光罩與基板的貼合度不佳，很難在基板上做出細膩的圖案與結構。后來(lái)改用投射式黃光微影技術(shù)與步進(jìn)式曝光機臺，但此技術(shù)適合處理半導體產(chǎn)業(yè)中小面積與個(gè)別圖形的曝光，用于LED-PSS大面積為結構的曝光時(shí)，會(huì )有費時(shí)、費工、圖形接縫、光學(xué)失焦…等問(wèn)題，且量產(chǎn)效率低，良率亦不甚理想。

　　李永春教授指出，軟性光罩微影技術(shù)，以軟性材質(zhì)覆于藍寶石基板上，沒(méi)有昔日玻璃光罩技術(shù)的硬碰硬、做不出細膩結構的問(wèn)題，也沒(méi)有黃光微影只適合小面積曝光的困擾。以軟性光罩微影技術(shù)做出的PSS，有效的克服上述兩個(gè)問(wèn)題，而且過(guò)程極為穩定。李永春教授說(shuō)，現行的黃光微影技術(shù)，要在PSS上做出高解析度的小型圖案，以6寸大小的產(chǎn)品為例，1小時(shí)只能做4、5片，而且還有良率不理想的問(wèn)題，估計1小時(shí)生產(chǎn)的可用品約2片，若改采用軟性光罩處理技術(shù)1小時(shí)可做4、50片，也沒(méi)有良率的問(wèn)題，至于代工費用，采用黃光微影制程1片約80至100美元，改用軟性光罩處理技術(shù)可以降低約一半的制程成本。

　　李永春教授強調，成大開(kāi)發(fā)的軟性光罩微影技術(shù)，不只革命性的克服了業(yè)界長(cháng)期以來(lái)生產(chǎn)PSS的大瓶頸，還有一層極重大的義意——技術(shù)自主。李永春教授表示，目前業(yè)界已紛紛打探軟性光罩微影技術(shù)，預定明年初的第一季即可問(wèn)市，估計一到兩年后業(yè)界就會(huì )大舉跟進(jìn)。