意法半導體(ST)發(fā)布薄膜壓電MEMS技術(shù)，推動(dòng)訂制化和個(gè)性化MEMS應用發(fā)展

　　2014年10月31日，橫跨多重電子應用領(lǐng)域、全球領(lǐng)先的半導體供應商、全球最大的MEMS制造商及消費性電子和移動(dòng)設備MEMS供應商商意法半導體(STMicroelectronics，簡(jiǎn)稱(chēng)ST)宣布，其創(chuàng )新的壓電式MEMS技術(shù)已進(jìn)入商用階段。這項創(chuàng )新的壓電式技術(shù) (piezoelectric technology) 憑借意法半導體在MEMS設計和制造領(lǐng)域的長(cháng)期領(lǐng)先優(yōu)勢，可創(chuàng )造更多的新應用商機。意法半導體的薄膜壓電式 (TFP, Thin-Film Piezoelectric) MEMS技術(shù)是一個(gè)可立即使用且可簡(jiǎn)單定制的平臺，使意法半導體能與全球客戶(hù)合作，開(kāi)發(fā)各種MEMS應用產(chǎn)品。

　　poLight 是第一批采用意法半導體的薄膜壓電式 (TFP) 技術(shù)的企業(yè)，其創(chuàng )新的可調鏡頭 (TLens®, Tuneable Lens) 通過(guò)壓電執行器 (piezoelectric actuator) 改變聚合膜 (transparent polymer film) 的形狀，模擬人眼的對焦功能。這項應用被視為相機自動(dòng)對焦 (AF, auto-focus) 的最佳解決方案。而目前的自動(dòng)對焦功能還主要依賴(lài)于體積巨大、耗電量高且成本昂貴的音圈電機 (VCM, Voice Coil Motors) 提供動(dòng)力。

　　意法半導體部門(mén)副總裁兼定制MEMS產(chǎn)品部總經(jīng)理Anton Hofmeister表示：“憑借我們久負盛名的全球第一大MEMS制造商的市場(chǎng)優(yōu)勢，已成功生產(chǎn)了數十億顆傳感器芯片，位于意大利Agrate的 8吋晶圓廠(chǎng)，現在已經(jīng)開(kāi)始生產(chǎn)壓電執行器 (piezoelectric actuator) 與感測器產(chǎn)品。我們的薄膜壓電式MEMS 技術(shù)成功改寫(xiě)了 MEMS 的商業(yè)運作方式，創(chuàng )造了不同以往的高成本效益概念，日后將促使更多嶄新的 MEMS 應用開(kāi)發(fā)。”

　　poLight 市場(chǎng)總監Christian Dupont 表示：“poLight將采用意法半導體的薄膜壓電式MEMS技術(shù)制造TLens自動(dòng)對焦鏡頭，大幅提升了智能手機內置相機的自動(dòng)對焦性能。 例如，TLens鏡頭可瞬間完成對焦，調焦速度是傳統解決方案的十倍，而電池耗電量只有傳統方案的二十分之一。同時(shí)，拍照后相機自動(dòng)重新對焦的功能也有相當的進(jìn)步，可為攝像任務(wù)提供連續穩定的自動(dòng)對焦服務(wù)。這一開(kāi)創(chuàng )性技術(shù)整合了poLight的創(chuàng )新技術(shù)和意法半導體的薄膜壓電技術(shù)優(yōu)化能力。意法半導體能夠可大規模制造擁有強大功能的壓電執行器，這對于智能手機廠(chǎng)商來(lái)說(shuō)具有非常重要的意義。”

　　意法半導體的最新薄膜壓電式MEMS技術(shù)平臺試制生產(chǎn)線(xiàn) (pilot line) 的部分資金來(lái)自歐洲 LAB4MEMS 項目。此項技術(shù)將為執行器創(chuàng )造更多具有發(fā)展潛力的應用，例如，商用、工業(yè)和3D噴墨打印機的打印頭 (inkjet printheads)，甚至可以用于開(kāi)發(fā)能源收集 (energy harvesting) 領(lǐng)域使用的壓電傳感器。意法半導體預計于2015年中期為試用客戶(hù)提供量產(chǎn)薄膜壓電式MEMS產(chǎn)品。