一種測量石英晶體諧振器靜電容的新方法

　　2．3 常用測電容的方法

　　常用的測量電容方法主要有諧振法、交流電橋法和充放電法。諧振法是將電容引入振蕩電路中，使得振蕩頻率成為電容的函數，通過(guò)測量該頻率值來(lái)計算電容值。交流電橋法將電容接入交流電橋中，調整電橋中的可調電阻和可調電容使得電橋平衡，根據平衡時(shí)電橋各臂的電阻和電容值計算被測電容值。充放電法使用交流信號源對電容充電，然后將電容接入放電電路中，通過(guò)測量電容的放電時(shí)間來(lái)計算電容值。由于π網(wǎng)絡(luò )法是通過(guò)測量π網(wǎng)絡(luò )兩端的矢量電壓來(lái)得到石英晶體電參數值，與上述三種方法并不一致，所以如果采用這三種方法測量石英晶體的靜電容都需要增加額外的測量電路，并且會(huì )因此增加π網(wǎng)絡(luò )電路的雜散項，對測量石英晶體的諧振頻率產(chǎn)生不利影響。

　　2．4 基于π網(wǎng)絡(luò )的靜電容測量方法

　　利用DDS（直接數字頻率合成）信號源作為激勵源，其輸出交流信號頻率遠離石英晶體諧振頻率，該信號激勵接有被測石英晶體的π網(wǎng)絡(luò )。此時(shí)，石英晶體等效于一個(gè)值為C0的電容。π網(wǎng)絡(luò )的輸出電壓與該電容存在一定的函數關(guān)系，由于輸入電壓和π網(wǎng)絡(luò )的參數已知，測量輸出電壓并根據這一函數關(guān)系，可以計算出C0值。這種方法與測石英晶體諧振頻率的方法很相似，都需要利用DDS輸出信號作為激勵信號并檢測π網(wǎng)絡(luò )輸出的矢量電壓。兩者區別在于測量諧振頻率要求檢測輸入電壓和輸出電壓之間相位差，而測量靜電容則要求測量輸入電壓和輸出電壓的幅值。因此，對這兩個(gè)矢量電壓信號采用幅相檢測的辦法可以使測量石英晶體的諧振頻率和靜電容統一起來(lái)。

　　原理框圖如圖3所示：

　　其中，DDS輸出兩路幅值、頻率和相位均相同的信號。一路激勵π網(wǎng)絡(luò )，另一路輸入幅相檢測模塊。本課題要求石英晶體諧振頻率的測量范圍為0～200MHz。在這一范圍內選取30MHz和68MHz兩個(gè)頻率點(diǎn)作為激勵信號的設定頻率。具體方法是，當石英晶體的諧振頻率在30MHz附近時(shí)，設定DDS輸出信號頻率為68MHz，反之，則設為30MHz。激勵信號經(jīng)過(guò)π網(wǎng)絡(luò )后輸出電壓如式