真空計的檢漏及區分

真空計（Vacuum Gauge)，又稱(chēng)規，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進(jìn)行氣壓的測量。

1、用電離計檢漏時(shí)，示漏物質(zhì)應選用電離效果與殘余氣體有可能大差異者，電離效果包括電離率及電離電位兩者的綜合結果，一般用氫，氦，二氧化碳等。

2、用熱真空計檢漏時(shí)，示漏物質(zhì)可用氫，二氧化碳，丙酮。乙醚。酒精等。一般說(shuō)來(lái)，用氣體噴吹用液體覆蓋為好，因為液體往往會(huì )堵塞漏孔，還會(huì )污染真空系統或器件，熱真空計因為慣性大，反應慢，檢漏時(shí)巡噴速度不宜過(guò)快，并仔細觀(guān)察，認真判別是系統的壓強波動(dòng)，儀器的漂移或是真正存在漏孔。只有示漏物質(zhì)離開(kāi)后，儀器指示恢復原狀的，才是真正的漏孔。熱真空計檢漏，要在它的測量范圍的真空度下，才能有效，即只適用于10-1——10-3托的真空度范圍。它哪呢過(guò)檢出最小漏孔為1*10-5托升/秒。

電離計的反應熱真空計快，但因示漏氣體在真空系統中建立足夠分壓需要較長(cháng)時(shí)間，故巡噴速度亦不能太快。電離計能檢漏的壓力范圍，大致同于其測量范圍，故各種類(lèi)型電離計各有其檢漏的壓力范圍。電離計能檢的最小可檢漏孔約為1*10-6——1*10-7托升/秒。

在真空計檢漏中，即使示漏氣體對著(zhù)漏孔噴吹?；蛘呤韭┮后w涂于漏孔，實(shí)際上都不可避免要夾帶有空氣進(jìn)去，即示漏物質(zhì)并沒(méi)有徹底取代空氣。帶進(jìn)去的空氣一方面沖淡了示漏物質(zhì)的作用，另一方面還會(huì )引起不必要的讀數波動(dòng)，因為混進(jìn)的空氣分量時(shí)大時(shí)小。