光學(xué)測量光學(xué)測頭的應用趨勢

　　傳統三坐標測量機配備最多的是觸發(fā)式測頭，用觸發(fā)式測頭測量物體時(shí)，測針以一定速度接觸物體表面，從而使測針的位置產(chǎn)生偏離，產(chǎn)生的電信號觸發(fā)測頭記錄一個(gè)物體表面測點(diǎn)的空間坐標。由此帶來(lái)的第一個(gè)問(wèn)題就是測量速度較慢。其原因在于，首先觸發(fā)式測頭的采點(diǎn)方式是非連續的，測頭在一次采點(diǎn)完成后需退回一段距離，讓測針歸位后才能進(jìn)行第二次采點(diǎn)。而且采點(diǎn)時(shí)接觸物體表面的速度不能太快，若測針接觸物體速度過(guò)快使得測針的位置偏離過(guò)大，則信號會(huì )被認為是發(fā)生了碰撞而采點(diǎn)失敗。出于這個(gè)原因可以用掃描式測頭代替觸發(fā)式測頭，掃描式測頭采用的是連續采點(diǎn)方式，因此采點(diǎn)速度得到較大提升。限制測量速度的第二個(gè)原因在于，如果被測物體具有比較復雜的幾何形狀，那么測針需要變換若干次指向才能完成整個(gè)測量，并且測針的每個(gè)指向需進(jìn)行標定。如果要克服這一不足，從而進(jìn)一步提高測量速度的話(huà)，需要給三坐標測量機配備高端的多軸旋轉掃描測頭，該項新技術(shù)能夠以連續方式高速掃描物體進(jìn)行采點(diǎn)。

　　接觸式測量所用的測針尖端一般為紅寶石球，測頭采點(diǎn)所得的空間坐標為紅寶石球的球心位置。而測針與物體表面的實(shí)際接觸位置并非球心，所以物點(diǎn)的坐標必須根據紅寶石球的半徑進(jìn)行補償。由此帶來(lái)了接觸式測量的第二個(gè)問(wèn)題，即紅寶石球的半徑補償方向錯誤。當被測幾何特征較?。ㄖ睆?《 1mm）且采點(diǎn)密度較大時(shí)，采得點(diǎn)的順序會(huì )發(fā)生混亂，從而使球半徑補償方向產(chǎn)生錯誤，造成獲得的幾何特征與實(shí)際不符（圖1）。

　　圖1 葉片出氣邊的半徑補償錯誤

　　此外，由于物體表面存在一定不平度，同時(shí)紅寶石球的直徑要遠大于表面不平度，導致測針無(wú)法測得物體表面的微小凹陷（圖2）。

　　圖2 紅寶石球測針無(wú)法測得物體表面的微小凹陷

　　接觸式測量的第三個(gè)問(wèn)題在于被測物體的表面特性。如果被測物體表面比較柔軟，或精細易損，則不適合使用接觸式測頭。當測針接觸物體表面后，輕則使之發(fā)生形變，產(chǎn)生較大誤差；重則損壞物體表面。

　　出于以上原因，光學(xué)測量與之相比就有著(zhù)本質(zhì)上的優(yōu)勢。光學(xué)測量作為一種非接觸式測量方法，不使用接觸式測針進(jìn)行采點(diǎn)，而是利用了光的某方面特性來(lái)進(jìn)行測量。這樣就完全規避了紅寶石球的補償帶來(lái)的潛在問(wèn)題，也使被測物體表面不再受到測針接觸帶來(lái)的影響。至于測量速度則取決于光學(xué)測頭的種類(lèi)。但無(wú)論哪種測頭，其采點(diǎn)方式都是連續的。而且在采點(diǎn)過(guò)程中，光學(xué)測頭區別于接觸式測頭，接觸式測頭會(huì )因為接觸物體表面時(shí)速度過(guò)快而被認為發(fā)生了碰撞，由于光學(xué)測頭完全不會(huì )遇到這個(gè)問(wèn)題，因此進(jìn)一步提高了采點(diǎn)速度。

光學(xué)測頭的分類(lèi)方法有很多，種類(lèi)更是繁復。從測量原理上通?？梢苑譃楣草S測量和三角測量；從光源屬性上可以分為主動(dòng)光源和被動(dòng)光源；從光源維度上可以分為點(diǎn)光源、線(xiàn)光源和面光源；從光源色譜上又可以單色光源和白光源。共軸測量中常見(jiàn)的方法有兩種。其一是干涉法，它利用了光的波長(cháng)特性，將一束光通過(guò)平面分光鏡（半透半反）分成兩束。一束由鏡面反射至參考平面，另一束則透射至被測物體表面。兩束光經(jīng)疊加后產(chǎn)生干涉條紋，干涉條紋的形式取決于物體的距離與物體表面的幾何特征。另一種是共焦法，從一個(gè)點(diǎn)光源發(fā)射的探測光通過(guò)透鏡聚焦到被測物體上，如果物體恰在焦點(diǎn)上，那么反射光通過(guò)原透鏡應當匯聚回到光源，這就是所謂的共焦。在反射光的光路上加上了一塊半反半透鏡，將反射光折向帶有小孔的擋板，小孔位置相當于光源。光度計測量小孔處的反射光強度，強度最大時(shí)物體即位于透鏡焦點(diǎn)平面，這樣即可測得物點(diǎn)的位置。三角測量則是利用了光源、像點(diǎn)和物點(diǎn)之間的三角關(guān)系來(lái)求得物點(diǎn)的距離。我們以點(diǎn)光源舉例（圖3）：

　　圖3 三角測量示意圖

　　光源向物體發(fā)射一個(gè)光點(diǎn)，光點(diǎn)到達物體后經(jīng)過(guò)反射在傳感器上得到一個(gè)像點(diǎn)；光源、物點(diǎn)和像點(diǎn)形成了一定的三角關(guān)系，其中光源和傳感器上的像點(diǎn)的位置是已知的，由此可以計算得出物點(diǎn)的位置所在。有的測頭以線(xiàn)光源來(lái)替代點(diǎn)光源，將一條由若干光點(diǎn)組成的光條紋投射到物體表面（圖4），傳感器上接收到的則是二維畸變光線(xiàn)圖像，光線(xiàn)的畸變形狀取決于每個(gè)物點(diǎn)的位置，這樣的線(xiàn)光源測頭可以大幅提高采點(diǎn)的速度。