光電子技術(shù)在傳感器技術(shù)中的應用

　　五、傳感器系統技術(shù)參數和特性傳感器系統的技術(shù)參數和特性如下： ①靈敏度為1me； ②空間分辨率是可變的，其范圍是0.1~2mm； ③應變大小高達15%； ④測量位置靈活，光柵平面上任一點(diǎn)均可測量； ⑤可進(jìn)行動(dòng)態(tài)和連續應變測量； ⑥數據采集和處理都是自動(dòng)化的； ⑦用戶(hù)易于觀(guān)察系統接口； ⑧結構緊湊，體積小。

　　六、結論新型實(shí)用的應變傳感器系統可以只利用一個(gè)位敏探測器，這時(shí)可用下式計算應變： (17) 無(wú)規噪聲引起的應變誤差的標準偏差為： (18) 對比方程(18)和方程(9)可知：利用兩個(gè)位敏探測器可大大減少無(wú)規噪聲誤差，也可顯著(zhù)地減小由于激光束與試樣法線(xiàn)方向的偏離所引起的系統誤差。因此，利用兩個(gè)位敏探測器不僅可增加應變測量靈敏度和精度，而且可消除無(wú)規噪聲誤差和系統噪聲誤差。這種新型應變傳感器優(yōu)于現有的同類(lèi)儀器，是精密測量領(lǐng)域的一種實(shí)用傳感器系統，可應用于微電子學(xué)、高等材料力學(xué)、微米力學(xué)和納米力學(xué)等領(lǐng)域。