MEMS加工-MEMS制造技術(shù)

全球共有250家MEMS器件生產(chǎn)企業(yè)，產(chǎn)品主要用于滿(mǎn)足自身終端消費電子產(chǎn)品的需要。MEMS應用領(lǐng)域非常廣泛，單個(gè)細分市場(chǎng)規模很窄，一家公司以幾億美元規模就能占據1至2個(gè)產(chǎn)品龍頭地位。例如，德州儀器占據DLP市場(chǎng)，惠普占據打印機噴墨頭市場(chǎng)，安華高科技占據濾波器市場(chǎng)，ADI、ST、飛思卡爾和美新占據加速度計市場(chǎng)，樓氏占據麥克風(fēng)市場(chǎng)。為了降低成本、壟斷市場(chǎng)，國際大公司都加大了8英寸MEMS生產(chǎn)線(xiàn)的建設。意法半導體2006年將MEMS生產(chǎn)線(xiàn)升級到8英寸，歐姆龍、飛思卡爾也開(kāi)始籌建8英寸生產(chǎn)線(xiàn)。

國內MEMS加工產(chǎn)業(yè)還處于導入期，北京青鳥(niǎo)元芯及無(wú)錫美新半導體占據領(lǐng)先地位。青鳥(niǎo)元芯依托北京大學(xué)微電子研究院，成為國內第一家批量生產(chǎn)MEMS微型傳感器的高新技術(shù)企業(yè)，月產(chǎn)MEMS傳感器達10萬(wàn)只。無(wú)錫美新半導體是全球第一家使用標準CMOS工藝、單芯片上集成混合信號處理的熱對流MEMS慣性傳感器公司；設計生產(chǎn)能力為1500萬(wàn)片/月，加速計產(chǎn)品500萬(wàn)片/月，在無(wú)錫第二家CMOS-MEMS工廠(chǎng)已經(jīng)投產(chǎn)，每月可生產(chǎn)1000萬(wàn)個(gè)加速計。但不可否認，國內MEMS制造商的平均生產(chǎn)能力較弱，多數仍采用4到 5英寸的中低端生產(chǎn)線(xiàn)。青鳥(niǎo)元芯就是利用早期從福特公司買(mǎi)來(lái)一條二手生產(chǎn)線(xiàn)制造MEMS傳感器。

無(wú)錫近鄰蘇州有昆山傳感器產(chǎn)業(yè)基地。該基地作為我國唯一生產(chǎn)傳感器的國家級產(chǎn)業(yè)基地，形成了以自主知識產(chǎn)權的硅壓阻式MEMS傳感器和變送器為核心的產(chǎn)業(yè)鏈，擁有總投資18億元的30家傳感器生產(chǎn)企業(yè)。國內MEMS壓力傳感器的龍頭企業(yè)—雙橋測控傳感器有限公司與敏芯（蘇州）微電子企業(yè)都名列其中。