MEMS陀螺儀的性能參數及應用

MEMS陀螺儀的重要參數包括：分辨率(Resolution)、零角速度輸出(零位輸出)、靈敏度(Sensitivity)和測量范圍。這些參數是評判MEMS陀螺儀性能好壞的重要標志，同時(shí)也決定陀螺儀的應用環(huán)境。

分辨率是指陀螺儀能檢測的最小角速度，該參數與零角速度輸出其實(shí)是由陀螺儀的白噪聲決定。這三個(gè)參數主要說(shuō)明了該陀螺儀的內部性能和抗干擾能力。對使用者而言，靈敏度更具有實(shí)際的選擇意義。測量范圍是指陀螺儀能夠測量的最大角速度。不同的應用場(chǎng)合對陀螺儀的各種性能指標有不同的要求。

微機械陀螺儀用于測量汽車(chē)的旋轉速度(轉彎或者打滾)，它與低加速度計一起構成主動(dòng)控制系統。所謂主動(dòng)控制系統就是一旦發(fā)現汽車(chē)的狀態(tài)異常，系統在車(chē)禍尚未發(fā)生時(shí)及時(shí)糾正這個(gè)異常狀態(tài)或者正確應對個(gè)異常狀態(tài)以阻止車(chē)禍的發(fā)生。比如在轉彎時(shí)，系統通過(guò)陀螺儀測量角速度就知道方向盤(pán)打得過(guò)多還是不夠，主動(dòng)在內側或者外側車(chē)輪上加上適當的剎車(chē)以防止汽車(chē)脫離車(chē)道?，F在這種系統主要安裝于高端汽車(chē)上。

目前在汽車(chē)MEMS市場(chǎng)，壓力計和加速度計還是占較大份額，(圖十四)但是隨著(zhù)對汽車(chē)安全性能要求越來(lái)越高，尤其是在北美和歐洲穩定性主控系統的安裝率節節攀升，陀螺儀的市場(chǎng)增長(cháng)率明顯比前兩類(lèi)要快，在2011年預期達到10%。