生長(cháng)LED有機層的晶圓制程

生長(cháng)LED有機層的晶圓制程方法有氣相晶圓(VPE）、液相晶圓（LPE）、金屬有機化學(xué)氣相淀積（MOCVD）、分子束晶圓（MBE）。它們生長(cháng)LED有機層的材料分別有氣相晶圓CaAsp、GaP，液相晶圓GaP，GaAlAs，金屬有機物化學(xué)氣相淀積InGaAlP、InCaN，分子束晶圓ZnSe等。

氣相晶圓比較簡(jiǎn)單，往往在晶圓生長(cháng)后要再通過(guò)用擴散的方法制作PN結，所以效率低。

液相晶圓已能一爐生長(cháng)60-100片，生產(chǎn)效率較高，通過(guò)稼的重復使用成本也已降得很低，可用以制造高亮度GaP綠色發(fā)光器件和一般亮度的GaP紅色發(fā)光器件，也可用它制造超高亮度GaAlAs發(fā)光器件。

金屬有機化學(xué)氣相淀積法（MOCVD）是目前生產(chǎn)超高亮度InCaN藍、綠色LED和InCaAIP紅、黃色LED的主要方法，它既能精確控制生長(cháng)厚度，又能精密控制晶圓層的組成?？捎么朔ㄉL(cháng)超高亮度LED結構中所需要的量子阱階層和DBR反射結構種的20個(gè)左右的周期層，也適用于大量生產(chǎn)，是目前生產(chǎn)超高亮度LED的主要方法。

分子束晶圓目前主要用于研制ZnSe白色發(fā)光二極管，效果很好，能生長(cháng)小于10A的晶圓層，確定是生長(cháng)數度較慢，每小時(shí)約1mm，裝片容量也頗少，生產(chǎn)效率較低。