中國MEMS自主特色發(fā)展之路五點(diǎn)建議

當前，美國、日本、德國、英國、俄羅斯等國家競相發(fā)展MEMS產(chǎn)業(yè)。我國MEMS產(chǎn)業(yè)與世界的差距也不算太大，甚至某些方面還有自己的獨創(chuàng )性貢獻。近年來(lái)，投資迅猛，其發(fā)展勢頭值得期盼。

　　那么，我國應該如何走出一條自主特色的發(fā)展之路呢？

　　由于MEMS產(chǎn)品種類(lèi)繁多，生產(chǎn)工藝和標準體系難于有效整合，雖然MEMS產(chǎn)品可以用與半導體相同或者相近的生產(chǎn)線(xiàn)來(lái)制作，但只有少數幾類(lèi)MEMS產(chǎn)品可以用大規模的foundry方式來(lái)生產(chǎn)，目前絕大部分MEMS產(chǎn)品都是以小批量方式生產(chǎn)的。這給世界MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來(lái)了一定的挑戰性，也將奠定今后MEMS生產(chǎn)可能是既不同于IC代工模式也不同于IDM模式的另一種模式：即仍然走設計fabless化，而制造卻小規?；?、工藝可以多樣化。

　　MEMS有特殊工藝和要求，這可能是2011年世界MEMS代工產(chǎn)業(yè)增長(cháng)慢于世界MEMS總體產(chǎn)業(yè)增長(cháng)的內在原因。據統計數據顯示，2011年全球MEMS市場(chǎng)規模為102億美元，增長(cháng)率19%，而前二十大微機電系統（MEMS）代工廠(chǎng)的營(yíng)收僅比2010年增長(cháng)了5%。目前，MEMS代工業(yè)務(wù)在全球市場(chǎng)所占比例較小，不到6%;另外，MEMS代工廠(chǎng)營(yíng)收在全球總體營(yíng)業(yè)額中所占份額呈減少趨勢。

　　我國半導體制造廠(chǎng)和設計公司規模小、工藝分散、工藝制作水平相對落后，但這可能成為今后MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的一大特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)。因為大部分MEMS產(chǎn)品都不必非要用最先進(jìn)、最尖端的IC工藝生產(chǎn)線(xiàn)來(lái)制作，只要產(chǎn)品設計理念先進(jìn)、應用目標清晰、市場(chǎng)定位明確，用落后幾代的半導體生產(chǎn)線(xiàn)照樣可以制作出一流水平的MEMS產(chǎn)品。

　　我國可以利用世界MEMS產(chǎn)業(yè)剛剛起步的機會(huì )，從產(chǎn)業(yè)現狀出發(fā)，奮起直追，變“墨點(diǎn)為梅花”般地巧妙而及時(shí)的轉型和發(fā)展。

　　第一，繼續發(fā)揮中低端產(chǎn)品成本低的優(yōu)勢，力爭在中低端領(lǐng)域實(shí)現“通吃”；第二，逐步向產(chǎn)業(yè)鏈高端發(fā)展，不斷提高高價(jià)值MEMS產(chǎn)品比重；第三，國家適度規劃，盡可能推出能夠引導行業(yè)發(fā)展的并且能與世界MEMS技術(shù)標準相兼容的國家標準；第四，促進(jìn)各類(lèi)MEMS產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、合作組織和學(xué)術(shù)交流與合作等發(fā)展；第五，同步進(jìn)行MEMS生產(chǎn)設備研發(fā)，培養高級MEMS產(chǎn)品設計人員等。