量子傳感器：研究人員和濱松眼光電探測器技術(shù)

傳感器幾乎對任何行業(yè)和應用都至關(guān)重要；然而，研究人員和公司如何利用光電探測器等技術(shù)將傳感技術(shù)帶入量子領(lǐng)域？

隨著(zhù)世界向更智能的設備和系統邁進(jìn)，對高端傳感器技術(shù)的需求呈指數級增長(cháng)。此外，傳感器不僅需要提高性能以應對這些新挑戰，而且還必須在占地面積和功耗方面更小。

最近人們非常感興趣的一個(gè)特定傳感器是光電探測器。

光電探測器中使用的光電二極管示例。

光電探測器中使用的光電二極管示例。圖片由濱松提供

這些設備在各種應用中的靈活性使它們如此有吸引力，因為這些傳感器可用于環(huán)境傳感、物體檢測以及數據傳輸和處理。

所有這些應用都需要在高速和低功耗下運行，這促使許多人走向量子領(lǐng)域來(lái)構建他們的光電探測器，結果正在帶來(lái)回報。

盡管量子領(lǐng)域的傳感仍處于起步階段，但在本文中，我們將總結一些最近的研究和正在創(chuàng )建的設備，以邁出量子傳感技術(shù)的下一步。

膠體量子點(diǎn)（CQD）技術(shù)的量子傳感

最近，其中一個(gè)量子光電探測器是通過(guò)量子點(diǎn)建造的。更具體地說(shuō)，光子科學(xué)研究所（ICFO）的研究人員在《自然光子學(xué)》上發(fā)表了一份報告，詳細介紹了他們使用膠體量子點(diǎn)（CQD）技術(shù)開(kāi)發(fā)的溶液處理紅外激光器。

ICFU的激光器采用CQD技術(shù)。

ICFU的激光器采用CQD技術(shù)。圖片由ICFO提供

CQD由CQD光電探測器綜述論文定義，是一種在溶液相中合成和加工的納米結構材料。

這些激光器在室溫下工作，更重要的是，它們與互補金屬氧化物半導體（CMOS）技術(shù)直接兼容。這種兼容性是優(yōu)化系統設計的一個(gè)關(guān)鍵方面。

總體而言，這些激光器在電信范圍內具有可調的輸出波長(cháng)，從而實(shí)現了芯片間或芯片內的光通信。

在此之前，紅外激光器通常使用摻鉺光纖或III-V外延半導體制造，但這些很難制造并與電子設備集成。

正如ICFO團隊之前討論的那樣，這種CQD技術(shù)已被用于制造光電探測器和LED；然而，在Gerasimos Konstantatos教授的領(lǐng)導下，他們是第一個(gè)通過(guò)CQD產(chǎn)生激光的人。

用于制造這種激光器的腔經(jīng)過(guò)嚴格優(yōu)化，以找到最佳的光學(xué)增益和共振。

此外，研究人員設計了傳感器的表面來(lái)抑制“陷阱狀態(tài)”，這會(huì )導致系統中的過(guò)量噪聲有利于受激發(fā)射。

總而言之，該團隊最終希望這一發(fā)現能夠導致完全集成的硅光子學(xué)。

濱松光子學(xué)創(chuàng )建量子級聯(lián)光電探測器

濱松光子學(xué)公司也參與了這項工作，因為他們生產(chǎn)了“有史以來(lái)第一個(gè)”量子級聯(lián)（QCD）光電探測器，稱(chēng)為P16309-01。

QCD光電探測器的基本結構和氣橋布線(xiàn)

QCD光電探測器的基本結構和氣橋布線(xiàn)。圖片由濱松提供

該探測器在室溫下以極高的速度運行，最高可達20 GHz。此外，該器件在4.6μm波長(cháng)下具有1mA/W的高峰值靈敏度，具有出色的信噪比（SNR）。它的設計最大限度地減少了內部的暗電流。

憑借全球最高的響應時(shí)間，濱松認為這是整個(gè)紅外光譜中紅外QCD傳感器系列的開(kāi)始。

量子阱光電探測器

最后，根據《自然》雜志發(fā)表的一篇文章，一種新材料正被用于金屬半導體金屬（MSM）量子阱光電探測器的結。

所提出的光電探測器示意圖

所提出的光電探測器的示意圖。圖片[修改]由羅等人提供

自MSM設備問(wèn)世以來(lái)，由于其固有的高響應速度，MSM設備一直是人們感興趣的領(lǐng)域。此外，與CQD技術(shù)類(lèi)似，它們很容易集成到CMOS技術(shù)中。

然而，由于這些器件的結的制造，它們一直存在與暗電流有關(guān)的問(wèn)題，因為金屬沉積過(guò)程會(huì )導致化學(xué)無(wú)序，從而導致量子隧穿電流效應。

這種效應是暗電流的來(lái)源，使得MSM技術(shù)難以使用。

除此之外，在這個(gè)過(guò)程中通常使用不透明的金屬，它們會(huì )反射一些入射光被吸收，從而降低傳感器的響應能力。

本文研究了一種名為MXene的新型二維材料，其通式為：

解釋?zhuān)?/p>

n=1,2,3

M是一種早期過(guò)渡金屬

X是碳和/或氮原子

Tx是表面終止官能團，通常是氧、氫氧化物和/或氟化物

這種新型材料在導電性方面具有金屬的優(yōu)點(diǎn)，但也具有柔性、親水性、良好的傳輸性，最重要的是化學(xué)穩定性，因此可以在低溫下沉積。

此外，它具有可調的功函數，使其成為具有多種不同類(lèi)型半導體材料的MSM器件的可行選擇。在任何一種情況下，它都可以通過(guò)沒(méi)有化學(xué)紊亂來(lái)最大限度地減少暗電流，使其他人能夠充分利用MSM技術(shù)。

可以看出，當前的需求要求非常嚴格，我們必須進(jìn)行納米級優(yōu)化來(lái)滿(mǎn)足這些要求。

因此，量子領(lǐng)域是解決當今市場(chǎng)問(wèn)題的唯一途徑，因此，將繼續使我們的世界更加互聯(lián)、高效和智能的傳感器將成為量子傳感器。