MEMS壓力傳感器的原理是什么？

MEMS技術(shù)與產(chǎn)品

MEMS技術(shù)的主要優(yōu)勢有：

? 體積小，重量輕

? 量程小，小到幾個(gè)kpa的壓力

? 具有很高的精度

? 可以做出絕壓、表壓、壓差，選擇柔性高

? 更適合大批量和高效率的生產(chǎn)

MEMS產(chǎn)品是采用MEMS技術(shù)將感壓?jiǎn)卧托盘柼幚硇酒稍谝粋€(gè)只有幾毫米的MEMS芯片上，后期進(jìn)行必要的封裝而來(lái)。MEMS產(chǎn)品在我們的生活中隨處可見(jiàn)，如電子血壓計里面的感壓?jiǎn)卧?，手機麥克風(fēng)，數碼相機的光學(xué)防抖所用的陀螺儀等。

MEMS測量壓力的原理

MEMS測量壓力的原理是在感壓膜片上集成幾個(gè)MEMS壓敏電阻，這幾個(gè)壓敏電阻通過(guò)綁線(xiàn)實(shí)現與外部的電氣連接，并組成一個(gè)惠斯通電橋。

惠斯通電橋

當壓力作用在感壓膜片上后，產(chǎn)生機械應力，使得橋臂電阻發(fā)生變化，并通過(guò)外部電路將這個(gè)微小的電壓變化進(jìn)行放大和處理，最終輸出正比于壓力的電壓或者數字信號。

MEMS工作原理

關(guān)于壓差傳感器的選型，需要根據應用需求的不同，主要考慮壓力量程、使用溫度、輸出信號格式、上下拉電阻、精度這五點(diǎn)。另外，根據不同的安裝需求，如螺栓孔的數量、壓力端口的直徑以及接插件型號等，可以選擇不同外形的壓差傳感器。