分場(chǎng)活動(dòng) | 精彩紛呈！MEMS與智能傳感器技術(shù)專(zhuān)場(chǎng)在鄭順利召開(kāi)！

11月1日，MEMS與智能傳感器技術(shù)專(zhuān)場(chǎng)活動(dòng)在鄭州國際會(huì )展中心成功召開(kāi)。本次論壇邀請了眾多權威學(xué)者，他們針對智能傳感器行業(yè)發(fā)展存在的突出問(wèn)題及薄弱環(huán)節，還有我國MEMS與智能傳感器技術(shù)的核心競爭力進(jìn)行了深度探討。

會(huì )議現場(chǎng)照片

本次會(huì )議由中國科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì )、河南省人民政府作為主辦單位，中國儀器儀表學(xué)會(huì )、河南省工業(yè)和信息化廳、智能傳感器創(chuàng )新聯(lián)盟、智能微系統教育部重點(diǎn)實(shí)驗室、北京未來(lái)芯片技術(shù)高精尖創(chuàng )新中心、清華大學(xué)微米納米技術(shù)研究中心承辦，鄭州市工業(yè)和信息化局、鄭州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區管理委員會(huì )、漢威科技集團股份有限公司協(xié)辦。

清華大學(xué)精儀系副系主任、研究員張高飛主持

加拿大工程院院士、加拿大西安大略大學(xué)機械工程、材料工程及生物醫學(xué)工程專(zhuān)業(yè)教授楊軍通過(guò)視頻致辭

河南省工業(yè)和信息化廳總經(jīng)濟師毛鄭建致辭

中科院上海微系統所；研究員，重點(diǎn)實(shí)驗室副主任李鐵

中科院上海微系統所研究員，重點(diǎn)實(shí)驗室副主任李鐵作了《仿生生物微納傳感器》主題報告。他首先介紹了仿生生物微納傳感器的研究背景，并且以蜘蛛為例，講述了狹縫傳感器的研發(fā)經(jīng)過(guò)，指出仿生感知技術(shù)進(jìn)入微納、分子尺度階段，并且涉及到了仿生學(xué)、材料學(xué)、傳感器、微電子、計算機、人工智能、無(wú)線(xiàn)通信等學(xué)科技術(shù)領(lǐng)域。報告中主要介紹了仿生嗅覺(jué)傳感器的硅納米線(xiàn)材料，還分享了嗅覺(jué)生物敏感材料的選擇方法、仿生光探測器機理及檢測原理、石墨烯探測器的檢測方法，報告內容環(huán)環(huán)相扣，全面清晰。

國防科技大學(xué)，智能科學(xué)學(xué)院教授肖定邦

國防科技大學(xué)，智能科學(xué)學(xué)院教授肖定邦先生作了《高性能微機電陀螺研究進(jìn)展》主題報告。由于疫情原因，肖教授本人無(wú)法到場(chǎng)，但是他的線(xiàn)上分享也可謂是精彩絕倫，他先講述了國外高性能微機電陀螺的研究進(jìn)展情況，接下來(lái)就是核心內容蜂巢式微機電陀螺研究?jì)热?，報告中分享了蜂巢?a class="contentlabel" href="http://dyxdggzs.com/news/listbylabel/label/MEMS">MEMS敏感結構的優(yōu)勢、微半球諧振陀螺研究的結構創(chuàng )新設計和加工工藝創(chuàng )新，最后肖教授展示了微機電陀螺技術(shù)的發(fā)展趨勢圖，說(shuō)明了微機電陀螺技術(shù)可能向環(huán)形、半環(huán)形發(fā)展的方向。

清華大學(xué)副教授趙曉光

清華大學(xué)副教授趙曉光先生作了《基于超材料的微機電傳感器》主題報告。他先對超材料微機電的背景進(jìn)行介紹，介紹中說(shuō)到了超材料的單元結構設計及應用，他指出超材料對電磁場(chǎng)進(jìn)場(chǎng)和光的調控，在醫學(xué)成像中的應用有實(shí)際意義，并且指出量子學(xué)的進(jìn)展也啟發(fā)了超材料發(fā)展的進(jìn)展。報告中還分享了超材料mems傳感器的工作原理，介紹了基于超材料的太赫茲探測器、基于雙層超表面的mem太赫茲調控器、單元結構獨立可調的超材料、基于連續區束縛態(tài)的超高Q值、基于非線(xiàn)性超材料的非線(xiàn)性隔離器、智慧型超材料、可變性超材料，在報告最后，他還說(shuō)到，超材料是一個(gè)比較新的概念、超材料模糊了材料與器械的邊界，mems與超材料的結合支撐微系統及傳感器相關(guān)領(lǐng)域的創(chuàng )新發(fā)展。

東南大學(xué)教授，實(shí)驗室常務(wù)副主任周再發(fā)

東南大學(xué)教授，實(shí)驗室常務(wù)副主任周再發(fā)先生作了《面向MEMS制造的薄膜材料和工藝參數在線(xiàn)測試技術(shù)》主題報告。他的報告主要從電學(xué)、熱學(xué)、力學(xué)三個(gè)方面介紹了薄膜材料和工藝參數的測試內容，并且介紹了薄膜材料和工藝參數在線(xiàn)測試的兩種方法，報告結尾詳細闡述了二氧化硅薄膜介電伸縮系統測試方法及壓力傳感器設計的應用，這些內容對實(shí)際生產(chǎn)及應用都有很重要，而現場(chǎng)針對周教授的講解也提出問(wèn)題，周教授的回答給出了滿(mǎn)意的答復。

重慶大學(xué)教授溫泉

重慶大學(xué)溫泉教授作了《微型集成掃描光柵微鏡發(fā)展與應用》主題報告。報告首先講述的是微光學(xué)器件的發(fā)展歷史及應用，簡(jiǎn)單介紹了三種類(lèi)型的光學(xué)器件，重點(diǎn)介紹了集成掃描光柵微鏡系統，通過(guò)國外案例介紹集成掃描光柵微鏡系統發(fā)展過(guò)程中存在的問(wèn)題以及集成掃描光柵微鏡系統的階段性進(jìn)展與成果，溫教授介紹到微型集成掃描光柵微鏡具有體積小、低耗能、低成本的優(yōu)勢，報告最后介紹了潛在應用，主要分享了高光譜成像的應用，溫教授還總結說(shuō)到微型集成掃描光柵微鏡是現代光譜分析檢測設備新形勢核心公共部件。

漢威科技集團傳感器研究院副院長(cháng)劉建鋼

漢威科技集團傳感器研究院副院長(cháng)劉建鋼先生作了《傳感器列陣及智能傳感器發(fā)展與應用》主題報告。他指出傳感器的發(fā)展速度已經(jīng)遠高于世界發(fā)展速度，詳細分析了當下傳感器的行業(yè)現狀，介紹了傳感器的分類(lèi)方式及發(fā)展方向，指出智能最為熱點(diǎn)。報告中展示了漢威集團的智能氣體傳感器成果、智能光學(xué)傳感器成果及環(huán)境溫濕度成果，最后，劉副院長(cháng)對漢威集團公司簡(jiǎn)介、發(fā)展歷程進(jìn)行了簡(jiǎn)短的介紹。

此次會(huì )議的成功召開(kāi)，首先有利于突破相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的技術(shù)瓶頸和體制約束，其次有利于提升我國MEMS與智能傳感器產(chǎn)業(yè)技術(shù)的核心競爭力，還有利于促進(jìn)企業(yè)、高等院校和科研院所在戰略層面有效結合，進(jìn)而促進(jìn)學(xué)術(shù)界與企業(yè)界的深度合作，最后有利于推進(jìn)基礎研究的成果轉化，建立并完善我國傳感器領(lǐng)域的創(chuàng )新體系。這次會(huì )議讓更多的企業(yè)家和研究人員在今后的道路上堅定了信心，認清了方向。