一種硅壓阻式壓力傳感器溫度補償算法及軟件實(shí)現

軟件設計流程圖3所示。

3 實(shí)驗結果與誤差分析

實(shí)驗選用壓力傳感器量程為0~800 PSI,工作溫度范圍在-55~125 ℃，標準壓力源采用美國Mensor公司的PCS400,高低溫箱提供各種溫度測試環(huán)境。測試時(shí)依次取-20 ℃，25 ℃，50 ℃，75 ℃，100 ℃，75 ℃，50 ℃，25 ℃，-20 ℃溫度點(diǎn)進(jìn)行高低溫實(shí)驗，每個(gè)溫度點(diǎn)下提供標準壓力值16 PSI,200 PSI,400 PSI,600 PSI,800 PSI,600 PSI,400 PSI,200 PSI,16 PSI,測得靜態(tài)壓力傳感器輸出特性如表1 所示。采用5階溫度補償模型對靜態(tài)數據進(jìn)行溫度補償后得到的結果如表2所示。

實(shí)驗數據表明，壓力傳感器建立高階溫度補償模型可以實(shí)現其零點(diǎn)漂移和靈敏度漂移的統一補償，補償后傳感器輸出值與標準值最大誤差為：

4 結語(yǔ)

采用高階溫度補償方法對硅壓阻式壓力傳感器的零點(diǎn)漂移和靈敏度漂移進(jìn)行統一補償。由實(shí)驗數據可知，這種方法可以對硅壓阻式壓力傳感器溫度補償效果明顯，能夠很好的提高壓力傳感器的輸出線(xiàn)性性，通過(guò)硬件可以實(shí)現傳感器實(shí)時(shí)數字溫度補償，具有一定的工程應用價(jià)值。但是這種方法也存在某些不足：對于實(shí)驗數據離散量比較大的情況下，高階溫度補償模型會(huì )對個(gè)別數據點(diǎn)補償效果不理想。針對這個(gè)問(wèn)題可以采用插值法和引入權函數方法結合起來(lái)進(jìn)行進(jìn)一步改進(jìn)。