激光LD/VCSEL前景無(wú)限，你真的明白為何激光要登上大舞臺

看過(guò)科幻片的朋友，一定忘不了星球大戰里的激光武器吧！絕地武士們手持光劍用力一揮，任何堅硬的金屬都會(huì )應聲而斷，在電影生化危機中，網(wǎng)狀的激光光束向特種部隊迎面而來(lái)，只見(jiàn)一個(gè)人瞬間被切成一塊塊的「人排」，聽(tīng)起來(lái)有點(diǎn)惡心，到底什么是激光呢？激光真的有這么神奇嗎？

形成“激光”，先完成兩個(gè)重要步驟

「激光（Laser）」是「Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation」的縮寫(xiě)，意思是「利用激勵放射來(lái)增加光的強度」，所謂的「激勵放射」其實(shí)就是完成兩個(gè)重要的步驟，第一個(gè)是「能量激發(fā)（Pumping）」，第二個(gè)是「共振放大（Resonance）」：

能量激發(fā)（Pumping）

固體激光（大多使用光激發(fā)光）屬于「原子發(fā)光」，前面曾經(jīng)介紹過(guò)原子發(fā)光的原理為，外加能量（光能或電能）激發(fā)摻雜原子的電子由內層能級跳到外層能級，當電子由外層能級跳回內層能級時(shí)，將能量以光能的型式釋放出來(lái)，如圖二（a）所示。半導體激光（大多使用電激發(fā)光）則是屬于「半導體發(fā)光」，前面曾經(jīng)介紹過(guò)半導體發(fā)光的原理為：外加能量（光能或電能）激發(fā)半導體的電子由價(jià)帶跳到導帶，當電子由導帶跳回價(jià)帶時(shí)，將能量以光能的型式釋放出來(lái)，如圖二（b）所示。

要發(fā)出激光，受激輻射是最基本的條件，如圖二（c）所示，能量激發(fā)有「光激發(fā)光（PL）」或「電激發(fā)光（EL）」二種方式，不論使用那一種方式都可以產(chǎn)生激光，光激發(fā)光（PL）是外加光能使電子跳躍；電激發(fā)光（EL）則是外加電能使電子跳躍，將在后面詳細介紹。

圖二　能量激發(fā)的原理

諧振放大（Resonance）

在發(fā)光區外加一對「諧振腔（Cavity）」，諧振腔其實(shí)可以使用一對鏡子組成，如圖三所示，使光束在左右兩片鏡子之間來(lái)回反射，不停地通過(guò)發(fā)光區吸收光能，最后產(chǎn)生諧振效應，使光的能量放大。

光激發(fā)光（PL：Photoluminescence）?我們以「鈦藍寶石激光（Ti Sapphire laser）」為例，先在藍寶石內摻雜鈦原子得到鈦藍寶石晶體，在晶體四周放置許多高亮度的光源（發(fā)出某一種波長(cháng)的光）對著(zhù)晶體照射，當晶體吸收光能產(chǎn)生「能量激發(fā)（Pumping）」，則會(huì )發(fā)出另外一種波長(cháng)（顏色）的光。發(fā)射出來(lái)的光經(jīng)由左右兩個(gè)反射鏡來(lái)回反射產(chǎn)生「諧振放大（Resonance）」，由于右方的反射鏡設計可以穿透5％的光，所以高能量的激光就會(huì )由右方穿透射出，如圖三（a）所示。

電激發(fā)光（EL：Electroluminescence）我們以「砷化鎵激光二極管（GaAs laser diode）」為例，先在砷化鎵激光二極管芯片（大約只有一粒砂子的大?。┥舷赂髡翦円粚咏饘匐姌O，對著(zhù)芯片施加電壓，當芯片吸收電能產(chǎn)生「能量激發(fā)（Pumping）」，則會(huì )發(fā)出某一種波長(cháng)（顏色）的光。發(fā)射出來(lái)的光經(jīng)由左右兩個(gè)晶體鏡面反射鏡來(lái)回反射產(chǎn)生「諧振放大（Resonance）」，由于右方的反射鏡設計可以穿透5％的光，所以高能量的激光光束就會(huì )由右方穿透射出，如圖三（b）所示。

圖三　激光產(chǎn)生的原理哪一種激光最深刻影響我們的生活？

激光的種類(lèi)可以分為：氣體激光、液體激光、固體激光與半導體激光，嚴格來(lái)說(shuō)，半導體激光也是固體激光的一種，但是由于目前商業(yè)上半導體激光的使用量很大，例如：光學(xué)讀取頭、光通訊光源、激光指示器等，所以激光已經(jīng)深刻影響著(zhù)我們的生活，而激光二極管又可以分為邊射型激光與面射型激光，這次參加2017年VCSELs（面射型激光）創(chuàng )新技術(shù)與應用研討會(huì )的主題就是面射型激光。在進(jìn)入主題前，我還是恢復我的風(fēng)格，用科普式的語(yǔ)言說(shuō)起！

激光二極管（LD：Laser Diode）

1、激光二極管的定義

前面介紹的四種激光，只有半導體激光的體積最小，成本最低，而且只需要外加一顆小小的電池就可以使用，因此可以廣泛地應用在各種電子產(chǎn)品中 。

2、激光二極管的種類(lèi)

激光二極管（LD）的構造如圖四（a）所示，外觀(guān)呈圓柱形，通常會(huì )依照封裝的不同而有不同的形狀，但是真正發(fā)光的部分只有「芯片（Die）」而已，芯片的尺寸與海邊的一粒砂子差不多，這么小的一個(gè)芯片就可以發(fā)出很強的光，由于激光二極管的芯片很小，所以一片兩吋的砷化鎵晶圓就可以制作數千個(gè)芯片，切割以后再封裝，形成如圖四（b）的外觀(guān)，激光二極管的制程與硅晶圓的制程相似，都是利用黃光微影、摻雜技術(shù)、蝕刻技術(shù)、薄膜成長(cháng)制作。

圖四 邊射型激光二極管LD的外觀(guān)與構造

激光二極管有很多的應用，我在去年八月第一篇行家說(shuō)文章已經(jīng)介紹了激光的顯示與照明兩個(gè)用途，并且分析了這兩個(gè)用途的前景尤其是氮化鎵綠光激光成功之后可能的激光電視與激光投影前景。而激光照明的應用也特別介紹了激光用在汽車(chē)照明的未來(lái)。（標題：激光會(huì )是下一代照明與顯示的主角嗎？）今天這兩項應用也得到了諾貝爾物理獎中村修二教授的鼓吹，相信大家都已經(jīng)有了比較輪廓式的了解。

今天我會(huì )把主題放在原理與工藝跟LED比較相近的面射型激光VCSEL的介紹，也許大家會(huì )比較陌生，但是認識這項技術(shù)與它的應用前景對從事光電行業(yè)的人會(huì )有很大的幫助，當然我在臺灣參加2017年VCSELs（面射型激光）創(chuàng )新技術(shù)與應用研討會(huì )之后，在我的微信朋友圈承諾要帶一些干貨給廣大的讀者，現在就給大家分享分享這個(gè)激光新技術(shù)與未來(lái)它的無(wú)限前景！

（Kenichi Iga教授是VCSEL的首次提出者）

面射型激光最初應用的光通信產(chǎn)業(yè)是怎么回事？

由于面射型激光VCSEL最初的應用是光通信產(chǎn)業(yè)，所以當然首先要介紹光通信產(chǎn)業(yè)。

首先幫大家初淺的介紹光通信（Optocommunication industry）產(chǎn)業(yè)，激光是光通信的主角之一，其實(shí)光通信是一個(gè)很龐大的產(chǎn)業(yè)，光通信產(chǎn)業(yè)大概可以分為「光的主動(dòng)組件」與「光的被動(dòng)組件」兩大類(lèi)產(chǎn)業(yè)，其中主動(dòng)組件的復雜度較高，被動(dòng)組件比較簡(jiǎn)單，但是某些被動(dòng)組件仍然有其復雜度，如果沒(méi)有一定的技術(shù)能力無(wú)法順利量產(chǎn)，我們簡(jiǎn)單說(shuō)明如下：

光的主動(dòng)組件

光的主動(dòng)組件是指「負責光訊號的產(chǎn)生與接收的組件，與光電能量的轉換有關(guān)」，產(chǎn)生光訊號通常是指將電能轉換成光能；接收光訊號通常是指將光能轉換成電能。由于一般數據的處理與運算都是使用計算機，計算機是使用電訊號處理數據，所以當我們要將數據傳送到光纖網(wǎng)絡(luò )時(shí)，必須先將電訊號轉換成光訊號，如圖五 所示，圖中傳送端「光發(fā)射模塊（Transmitter）」的功能就是將電訊號轉換成光訊號，我們可以想象成它是將電訊號的「0」與「1」轉換成光訊號的「暗」與「亮」，光訊號在光纖中經(jīng)過(guò)了數百公里的傳送以后，到達接收端，這個(gè)時(shí)候必須將光訊號轉換成電訊號，如圖五所示，圖中接收端「光接收模塊（Receiver）」的功能就是將光訊號轉換成電訊號，我們可以想象成它是將光訊號的「暗」與「亮」轉換成電訊號的「0」與「1」，再交給計算機進(jìn)行處理與運算，這就是整個(gè)光纖網(wǎng)絡(luò )與計算機工作的基本原理。

圖五　光纖網(wǎng)絡(luò )與計算機工作的基本原理

光的主動(dòng)組件包括下列幾種，此次主題是激光二極管，其它組件將會(huì )在未來(lái)開(kāi)專(zhuān)題詳細介紹：

激光二極管（LD）：將電訊號轉換成光訊號。

光放大器（Amplifier）：放大光訊號。

光偵測器（Detector）：將光訊號轉換成電訊號。

光的被動(dòng)組件

光的被動(dòng)組件是指「負責光訊號的傳遞與調變的組件，與光電能量的轉換無(wú)關(guān)」。光的被動(dòng)組件包括下列幾種，未來(lái)我將會(huì )開(kāi)專(zhuān)題詳細介紹：

光纖（Fiber）：傳遞光訊號

光連接器（Connector）：連接光纖。

光耦合器（Coupler）：將二信道光訊號匯合成一信道。

光分離器（Splitter）：將一信道光訊號分開(kāi)成二信道。

光隔絕器（Isolator）：阻止光訊號反射。

光衰減器（Attenuator）：降低光訊號強度。

光交換器（Optical switch）：改變光訊號前進(jìn)方向。

光電調制器（Modulator）：調變光訊號。

波長(cháng)多任務(wù)器（WDM：Wavelength Division Multiplexing）：將不同波長(cháng)（不同顏色）的光同時(shí)送入一條光纖中傳輸。

初級波長(cháng)多任務(wù)器（CWDM：Coarse WDM）：將8種以下的波長(cháng)（顏色）的光同時(shí)送入一條光纖中傳輸。

高密度波長(cháng)多任務(wù)器（DWDM：Dense WDM）：將16種以上的波長(cháng)（顏色）的光同時(shí)送入一條光纖中傳輸，包括薄膜濾光片、數組波導光柵與光纖光柵等三種技術(shù)。面射型激光有哪些特殊工藝與LED區別較大？

回到主題了，現在開(kāi)始介紹激光二極管，激光二極管用波長(cháng)來(lái)分類(lèi)，應用會(huì )有很大的差別，目前可見(jiàn)光激光大部分應用在光儲存光照明與光顯示，紅外光大部分用在光通信與光感應，為什么光通信大部分使用紅外光激光呢？如圖六（a）所示，由于光纖在紅外波段的衰減最小，尤其是在1550nm波段，而1310nm波段雖然衰減沒(méi)有1550nm小，但是因為在這個(gè)波段色散最小，如圖六（b），所以1310nm波長(cháng)的激光也常常用于中長(cháng)距離光纖通訊用光源。而紅外的850nm與980nm光源也被使用于較短距離的末端網(wǎng)絡(luò )系統，由于用量大，要求低，所以也常常用紅外LED代替激光。

圖六 硅基光纖（SiO2）在不同發(fā)射光譜的衰減與色散示意圖

色散的定義：光纖的輸入端光脈沖信號經(jīng)過(guò)長(cháng)距離傳輸以后，在光纖輸出端，光脈沖波形發(fā)生了時(shí)域上的展寬，這種現象即為色散。

由于寬帶與大數據系統要求越來(lái)越多的數據傳輸，如圖七所示，光通信的發(fā)光元器件又可以分類(lèi)為L(cháng)ED，邊射型與面射型激光二極管LD三種，圖七為三種發(fā)器件的構造與原理，圖七（a）的LED除了可以用于照明與顯示以外，紅外光LED也是早期常用的光通信末端器件，制造簡(jiǎn)單與價(jià)格比激光便宜是LED的優(yōu)勢。

圖七（c）是VCSEL的結構圖，VCSEL是垂直共振腔面射型激光（Vertical－Cavity Surface－Emitting Laser）的簡(jiǎn)稱(chēng)，是一種半導體激光，其發(fā)光垂直于頂面射出， VCSEL芯片相比邊射型激光二極管，工藝比較簡(jiǎn)單，如圖七（b）所示，VCSEL與激光由邊緣射出的邊射型激光二極管有所不同。

圖七 LED，邊射型激光LD與面射型激光VCSEL三種發(fā)光器件的結構示意圖

面射型激光二極管VCSEL與LED工藝很相近，但是兩個(gè)特殊工藝與LED區別較大，一個(gè)是DBR反射層形成共振腔鏡面的工藝技術(shù)，另一個(gè)就是限制電流的氧化技術(shù)。

DBR反射鏡技術(shù)

典型的VCSEL結構如圖九所示，其發(fā)光區由多量子阱組成，發(fā)光區上下兩邊分別由多層四分之一波長(cháng)厚的高低折射率交替的外延材料形成的DBR，相鄰層之間的折射率差使每組迭層的Bragg波長(cháng)附近的反射率達到極高（＞99％）的水平，需要制作的高反射率反射鏡的對數依據每對層的折射率而定，典型的量子阱數為1至4個(gè)，它們被置于共振腔駐波圖形的最大處附近，以便獲得最大的受激輻射效率而進(jìn)行來(lái)回反射與震蕩。出射光方向可以是頂部或襯底，這主要取決于襯底材料對所發(fā)出的激射光是否透明以及上下DBR究竟那一個(gè)取值更大一些。

圖九 VCSEL的結構示意圖電流限制技術(shù)

為了達到比LED更低的功耗，限制VCSEL中的電流，達到低閘值電流，可以達到器件低電流，高效率的目的。

如圖十所示，有三種主要的方法來(lái)限制VCSEL中的電流，依照其特性分成三種：掩埋隧道結VCSEL，離子植入VCSEL和氧化型VCSEL。

圖十（a）為第一種結構，掩埋隧道結VCSEL由于結構復雜，而且需要使用分子束外延MBE制造，量產(chǎn)困難，目前僅止于學(xué)術(shù)研究。在上世紀90年代前期，電子通訊公司較傾向于使用離子植入的VCSEL。如圖十（b）所示，通常使用氫離子H＋植入VCSEL結構中，除了共振腔以外，其它區域用離子植入破壞共振腔周?chē)木Ц窠Y構，使電流被限制，缺點(diǎn)是光限制效果不好。所以上世紀90年代中期以后，這些公司們紛紛進(jìn)而使用氧化型VCSEL的技術(shù)。如圖十（c）所示，氧化型VCSEL是利用VCSEL共振腔周?chē)牧系难趸磻獊?lái)限制電流，因此在氧化型VCSEL中，電流的路徑就會(huì )被氧化共振腔所限制。

圖十 三種不同的限制VCSEL電流的技術(shù)與結構示意圖

目前業(yè)界主流技術(shù)已經(jīng)大部分轉至氧化型VCSEL結構器件，但是也產(chǎn)生了生產(chǎn)上的困難。要將AlAs砷化鋁氧化成Al2O3氧化層的氧化率與鋁的含量有非常大的關(guān)系。只要鋁的含量有些微的變化，就會(huì )改變其氧化率而導致共振腔的規格會(huì )過(guò)大或過(guò)小于標準規格。

不過(guò)這個(gè)困難在這次論壇有了讓人雀躍的好消息，法國的AET Technology公司設計了一臺可以精密控制氧化速率的設備，適用于六寸芯片量產(chǎn)，精密控制氧化過(guò)程可以省去過(guò)去工程師用試錯修正來(lái)調試參數，讓VCSEL在批量生產(chǎn)良率跨入了一個(gè)里程碑。

為什么說(shuō)面射型激光商機無(wú)限？

由于VCSEL是光從垂直于半導體襯底表面方向出射的一種半導體激光器，具有模式好、低閘值電流、穩定性好、壽命長(cháng)、調制速率高、集成高、發(fā)散角小、耦合效率高、價(jià)格便宜等很多優(yōu)點(diǎn)。因為在垂直于襯底的方向上可并行排列著(zhù)多個(gè)激光器，所以非常適合應用在并行光傳輸以及并行光互連等領(lǐng)域，VCSEL可以用來(lái)在光纖網(wǎng)絡(luò )中高速傳輸數據。

其相比傳統電纜系統可以以更快的速度傳輸更大的數據量。速度達到每秒40G，是這一領(lǐng)域美國目前的最高速度紀錄。由于其體積很小，這種VCSEL裝置還擁有很高的能源效率，相比傳統的電線(xiàn)要節能100倍。但與此同時(shí)其傳輸數據的精確性也非常高。

目前VCSEL以空前的速度成功地應用于單通道和并行光互聯(lián)，以它很高的性能價(jià)格比，在寬帶以太網(wǎng)、高速數據通信網(wǎng)中得到了大量的應用，因此VCSEL已經(jīng)是大數據中心的互聯(lián)最重要的傳輸器件。

同理未來(lái)物聯(lián)網(wǎng)（IOT）、智慧屋（Smart House）的數據中心傳輸（Data Center Comm．）與感應端監控，VCSEL會(huì )是主角。而將來(lái)需要高速傳輸的 HDMI 、 HD TV、 USB 3．1 Type C 10G以上、Optical –Modem都需要VCSEL。

甚至虛擬實(shí)境VR、虛擬鍵盤(pán)VCSEL都會(huì )占據一席之地。

圖十一 大數據中心與云計算數據庫

未來(lái)需要大量的數據傳輸，這里是google與face book的big data center

未來(lái)VCSEL的其它應用：傳感器與數據傳輸是VCSEL的最大應用，如表一所示，VCSEL相比LED有更優(yōu)越的性能，以我們常用的手機為例，由于智慧手機里的接近傳感器，當你接電話(huà)臉靠近屏幕時(shí)，屏幕燈會(huì )熄滅，并自動(dòng)鎖屏，可以防止臉部誤操作，當你臉離開(kāi)時(shí)，屏幕燈會(huì )自動(dòng)開(kāi)啟，并且自動(dòng)解鎖。 智能手機中大量使用LED式接近傳感器，在手機接近面頰時(shí)關(guān)閉屏幕以免誤操作。如果我們利用VCSEL激光傳感器，可以做出更低功耗更精確距離檢測的手機接近傳感器。同理，未來(lái)很多需要傳感器的設施與設備，VCSEL絕對會(huì )是最好的選擇。

表一 850nm的LED與VCSEL的性能與特性比較表未來(lái)如果VCSEL的性?xún)r(jià)比接近LED，加上VCSEL優(yōu)越的性能，下列產(chǎn)品未來(lái)將是VCSEL的天下，

3C產(chǎn)品 ： 近距離感測（Proximity Sensor， PS）、手勢遙控（Gesture）、 3D Camera、激光自動(dòng)對焦拍照（Laser Auto Focus， TOF）、無(wú)線(xiàn)耳機、虹膜辨識 （臉部辨識）。

自動(dòng)化感應： 空拍機降落偵測、自動(dòng)掃地機、工業(yè)4．0 自動(dòng)化感測、無(wú)人駕駛車(chē)、機器人。

安全保護：電梯安全裝置、眼睛保護裝置、 夜間監視器、汽車(chē)夜視功能。

光學(xué)觸控面板： ATM、教學(xué)、中大型面板。

想象一下未來(lái)的機器人時(shí)代，所有的機器人需要大量的傳感器，靈活的機器人更需要速度更快，耗能更低的傳感器，VCSEL在未來(lái)的機器人時(shí)代將扮演非常重要的角色。

交通大學(xué)藍光GaN VCSEL的最新突破對面射型激光有什么影響？

在會(huì )議期間，我與新竹交通大學(xué)教授討論了他們實(shí)驗室研發(fā)出的世界第一顆藍光VCSEL到底未來(lái)會(huì )有什么應用，如圖十二所示，氮化鎵藍光VCSEL初期技術(shù)突破確實(shí)可喜，但是制造藍光VCSEL確實(shí)很困難，雖然藍光VCSEL可以搭配塑料材料的光纖，對光纖成本可以大幅度的降低，尤其是未來(lái)大數據中心需要大量的光連接，如果藍光VCSEL在工藝與成本可以突破，前景可期。

圖十二 交通大學(xué)的藍光VCSEL結構與數據圖

目前交通大學(xué)已經(jīng)不用復雜的外延工藝生長(cháng)氮化鋁／氮化鎵的DBR結構制作藍光VCSEL，他們的實(shí)驗室團隊變換思路采用剝離襯底的氮化鎵薄膜結構，利用晶片貼合技術(shù)將氮化鎵薄膜貼合氧化物DBR，新的藍光VCSEL不論在光效上或制造成本與良率控制上都取得關(guān)鍵性的突破，藍光VCSEL搭配塑料光纖，這樣的前景值得期待，尤其是我們身處的物聯(lián)網(wǎng)大數據云計算時(shí)代。

（我在臺灣參加2017年VCSELs（面射型激光）創(chuàng )新技術(shù)與應用研討會(huì )）

LED已經(jīng)是一個(gè)很成熟的產(chǎn)業(yè)，激光LD與VCSEL應用正在起飛，對于未來(lái)，我們需要新思維，新技術(shù)來(lái)迎接光電的新時(shí)代，希望這篇文章可以讓LED技術(shù)從業(yè)者改變你的想法，開(kāi)創(chuàng )屬于你們的輝煌時(shí)代。