MEMS提高醫療設備流量測量精度

流量傳感器是眾多醫療設備的關(guān)鍵器件，它被用來(lái)監視氣體輸出量以確保流量精確。目前可用的流量傳感技術(shù)主要包括壓差傳感、正排量傳感及葉輪傳感。與那些不包含集成的信號放大與溫度補償電路的測量元件，微機電系統(MEMS)大流量傳感器更容易集成(圖1)。雖然MEMS大流量傳感器具備許多優(yōu)點(diǎn)，但由于其測量的流量比較大，所以?xún)r(jià)格一直偏高。



降低成本、減少空間、減輕重量的一個(gè)方法是在旁路通道設置低流量傳感器來(lái)測量主通道上較大的流量。MEMS流量傳感器旁路通道設置類(lèi)似于差壓傳感器(間接測量氣體流量，見(jiàn)圖2).。與壓差傳感器相比，MEMS傳感器在很低流量情況下依然可以提供更高的分辨率。圖3描述了普通大流量傳感器與壓差傳感器之間的區別。在流量接近于零的情況下，壓差曲線(xiàn)變緩，難于判別該位置的流量究竟為零還是為負。





圖4：主通道上的限流裝置使液體流向阻力最小旁路通道并通過(guò)MEMS流量傳感器。

最簡(jiǎn)單的旁路通道設置包括插入到主通道的兩個(gè)端口，主通道和端口之間有限流管。該限流管使液體流向阻力最小的通道，進(jìn)入分流管并通過(guò)流量傳感器。因此，傳感器兩端的壓差數值將大于或等于兩個(gè)分流端口的壓差(圖4)。在設計分流裝置時(shí)，需要考慮流速、主通道到傳感器的距離、主通道與旁路通道的內徑、限流管的限制流量與形狀(圖5)等問(wèn)題。限流裝置不僅可以在通道內產(chǎn)生壓差，而且可以使通道內形成層流。