采用2602型源表進(jìn)行激光二極管模組和VCSEL直流生產(chǎn)測試
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典型的激光二極管模組由一個(gè)激光二極管和背光探測二極管組成。帶溫控的激光二極管模組還可以包括一個(gè)半導體制冷器（thermoelectric controller，TEC）和一個(gè)熱敏電阻以便對激光二極管工作溫度進(jìn)行精確調節，如圖1所示。（另外，在高速激光二極管模組中還包括一個(gè)集成的調制器芯片，未在圖1中示出）。
本文引用地址：http://dyxdggzs.com/article/201701/337931.htm
圖1. 典型激光二極管模組
圖2. 簡(jiǎn)化的垂直腔面發(fā)射激光器結構（來(lái)源：Kartalopoulos）
相比于標準的激光二極管，垂直腔面發(fā)射激光器VCSEL具有更為復雜的半導體結構，但其封裝結構一般更為簡(jiǎn)單。典型VCSEL結構的剖面圖如圖2所示。不同于邊緣發(fā)射激光二極管，VCSEL可實(shí)現晶圓級測試，這一特點(diǎn)同時(shí)為VCSEL的測試提供了機遇和挑戰，在下面部分將對其進(jìn)行探討。
需要記住的是，無(wú)論這兩種器件中的哪一種，都需要多步工序完成制造。制造中的每一個(gè)工藝步驟本質(zhì)上關(guān)乎器件價(jià)值的增長(cháng)，這決定了人們要在執行下一步組裝工藝之前進(jìn)行元器件測試。例如，由于背光探測二極管失效導致整個(gè)激光二極管模組報廢的成本，要遠高于在組裝前對光電二極管進(jìn)行完全測試的成本?？焖凫`活的測試方案對于減小測試的成本至關(guān)重要。
在本文中，詳細介紹了幾種可以滿(mǎn)足現今生產(chǎn)環(huán)境中高通量要求的、高成本效益的直流測試系統。
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