C-V測量技術(shù)、技巧與陷阱——基于數字源表的準靜態(tài)電容測

在準靜態(tài)電容測量[1]中，我們通過(guò)測量電流和電荷來(lái)計算電容值。這種“斜率”方法使用簡(jiǎn)單，但是它的頻率范圍有限（1～10Hz），因而只能用于一些特殊情況下。


SMU1-力常數SMU2-測量
圖3.準靜態(tài)C-V“斜率”測量方法
斜率測量方法只需要使用兩臺數字源表（SMU）[2]。通過(guò)第一臺SMU將一個(gè)恒定電流加載到待測器件（DUT）的一個(gè)節點(diǎn)上。這臺SMU還負責測量該節點(diǎn)上的電壓和時(shí)間。同時(shí)，第二臺SMU測量DUT另一個(gè)節點(diǎn)輸出的電流。然后可以利用下列公式計算出電容：
I = C dV/dt or C = I / (dV/dt)

這種方法通?？捎糜跍y量大小為100～400pF斜率為0.1～1V/S的電容。

利用射頻技術(shù)[3]測量電容
傳輸線(xiàn)的電容測量通常采用射頻技術(shù)。其中利用矢量網(wǎng)絡(luò )分析儀測量散射參數（S參數），即入射波的反射和傳輸系數。