二維微機電（MEMS）陣列為移動(dòng)光譜分析儀打下基礎

　　在近紅外(NIR)光譜分析領(lǐng)域中，一個(gè)將便攜性與高性能實(shí)驗室系統的準確性和功能性組合在一起的系統將極大地改進(jìn)實(shí)時(shí)分析。由一塊電池供電的小型手持式光譜分析儀的開(kāi)發(fā)可以實(shí)現對工業(yè)過(guò)程、或食品成熟度的評估在現場(chǎng)進(jìn)行更有效的監控。

　　大多數色散光譜分析測量在一開(kāi)始采用的都是同樣的方式。被分析的光通過(guò)一個(gè)小狹縫;這個(gè)狹縫與一個(gè)光柵組合在一起，共同控制這個(gè)儀器的分辨率。這個(gè)衍射光柵專(zhuān)門(mén)設計用于以已知的角度反射不同波長(cháng)的光。這個(gè)波長(cháng)的空間分離使得其它系統可以根據波長(cháng)來(lái)測量光強度。

　　傳統光譜測量架構的主要不同之處在于散射光的測量方式。兩種常見(jiàn)的方法有(1)與散射光物理掃描組合在一起的單元素(或單點(diǎn))探測器，以及(2)將散射光在一組探測器上成像。

　　使用MEMS技術(shù)的方法

　　使用具有一個(gè)單點(diǎn)探測器、基于光學(xué)微機電系統 (MEMS) 陣列技術(shù)的全新方法可以克服傳統光譜分析方法中的很多限制。在基于單點(diǎn)探測器的系統中，一個(gè)固態(tài)光學(xué)MEMS陣列用簡(jiǎn)單、空間波長(cháng)濾波器取代了傳統的電動(dòng)光柵。這個(gè)方法可以在消除精細控制電動(dòng)系統中問(wèn)題的同時(shí)，利用單點(diǎn)探測器的性能優(yōu)勢。近些年，此類(lèi)系統已經(jīng)投入生產(chǎn)，其中，掃描光柵被取代，并且MEMS器件過(guò)濾每一個(gè)特定波長(cháng)進(jìn)入單點(diǎn)探測器。這個(gè)方法在實(shí)現更加小巧和穩健耐用光譜分析儀的同時(shí)，也表現出很高的性能。

　　相對于線(xiàn)性陣列探測器架構，光學(xué)MEMS陣列的使用具有數個(gè)優(yōu)勢。首先，可以使用更大的單元素探測器，以提高采光量，并極大降低系統成本和復雜度，這對于紅外系統更是如此。此外，由于不使用陣列探測器，像素到像素噪聲被消除了，而這可以極大地提升信噪比(SNR)性能。SNR性能的提高可以在更短時(shí)間內獲得更加準確的測量結果。

　　在一個(gè)使用MEMS技術(shù)的光譜分析系統中，衍射光柵和聚焦元件的功能與之前一樣，但來(lái)自聚焦元件的光在MEMS陣列上成像。要選擇一個(gè)用于分析的波長(cháng)，一個(gè)特定的光譜響應波段被激活，這樣的話(huà)，就可以將光引入到單點(diǎn)探測器中進(jìn)行采集和測量。

　　如果MEMS器件高度可靠，能夠生成可預計的濾波器響應，并且在不同的時(shí)間和溫度下保持恒定，那么這些優(yōu)勢就可以實(shí)現。

　　將一個(gè)DLP® 芯片或數字微鏡器件(DMD)用作一個(gè)空間光調制器，并且在一個(gè)光譜分析儀系統架構中將其用作MEMS器件的話(huà)，可以克服數個(gè)難題。首先，使用一組鋁制微鏡來(lái)接通和關(guān)閉進(jìn)入單點(diǎn)探測器的光，這在廣泛的波長(cháng)范圍內是光學(xué)有效的。其次，數字微鏡的打開(kāi)和關(guān)閉狀態(tài)由機械止動(dòng)裝置和互補金屬氧化物半導體(CMOS)靜止隨機訪(fǎng)問(wèn)存儲器(SRAM)單元的鎖存電路控制，從而提供固定的電壓鏡控制。這個(gè)固定電壓、靜止控制意味著(zhù)這個(gè)系統不需要機械掃描或模擬控制環(huán)路，并且能夠簡(jiǎn)化校準。它還使得光譜分析儀設計更能免受溫度、老化或振動(dòng)等錯誤源的影響。

　　DMD的可編程屬性具有很多優(yōu)勢。其中某項優(yōu)勢會(huì )在進(jìn)行光譜分析儀架構設計時(shí)顯現——如果以被用作濾波器的微鏡的尋址列為基礎。由于DMD分辨率通常高于所需的光譜，DMD區域會(huì )出現欠填充的情況，并且會(huì )對光譜過(guò)采樣。這使得波長(cháng)選擇完全可編程，并且在光引擎出現極端機械位移的情況下，將額外微鏡用作重新校準列。

　　此外， DMD是一個(gè)二維可編程陣列，這為用戶(hù)提供高度的靈活性。通過(guò)選擇不同的列數量，可以調節分辨率和吞吐量。掃描時(shí)間可動(dòng)態(tài)調整，如此一來(lái)，用戶(hù)可對所需波長(cháng)進(jìn)行更長(cháng)時(shí)間、更加詳細的檢查，從而更好地使用儀器時(shí)間和功能。此外，相對于固定濾波器器具1，諸如采用的Hadamard圖形等高級孔徑編碼技術(shù)，可實(shí)現高度的靈活性和更高性能。

　　總之，與目前的光譜分析系統相比，使用DMD的光譜分析器件可實(shí)現更高分辨率、更高靈活性、更加穩健耐用、更小的外形尺寸和更低的成本，從而使得它們對于廣泛的商業(yè)和工業(yè)應用更有吸引力。

　　單探測器架構消除噪聲

　　目前基于線(xiàn)性陣列的光譜分析儀主要受到兩個(gè)因素的限制。首先，探測器的波長(cháng)選擇受到像素孔徑的限制。探測器的尺寸決定了采集到的光量，從而影響SNR。諸如Hamamatsu G9203-256的常見(jiàn)磷化砷鎵銦(InGaAs)256像素線(xiàn)性陣列的尺寸為50微米 x 500微米。相反地，一個(gè)數字微鏡陣列是一個(gè)完全可編程的矩陣，可以針對應用來(lái)配置列的數量和掃描技術(shù)。這可以將更大的信號呈現給通常與DMD一同使用的更大的1毫米或2毫米的單點(diǎn)探測器。將窄帶光過(guò)濾到一個(gè)線(xiàn)性陣列中——通常是50微米寬像素——也許會(huì )出現串擾的問(wèn)題。像素到像素干擾會(huì )成為讀取過(guò)程中產(chǎn)生噪聲的主要原因。這些干擾可通過(guò)單探測器架構消除。此外， 通過(guò)利用1kHz至4kHz的數字微鏡掃描速度，單點(diǎn)探測器可以達到與平行多點(diǎn)采樣相類(lèi)似的駐留時(shí)間。對于基于MEMS ——或基于DMD——的緊湊型光譜分析儀引擎，結果顯示SNR的范圍大于10000:1。

　　對于超級移動(dòng)光譜分析儀十分關(guān)鍵的小型、高分辨率2D MEMS陣列

　　為了盡可能地提高性能，用戶(hù)需要考慮可被用于將光線(xiàn)反射至探測器的MEMS總面積。然后，將這個(gè)面積與可用單點(diǎn)探測器孔徑尺寸仔細匹配。

　　一個(gè)采用5.4微米微鏡的DMD具有超過(guò)40萬(wàn)個(gè)可用像素，并且可以針對700納米至2500納米的波長(cháng)進(jìn)行優(yōu)化。該款DMD是DLP2010NIR，它采用一個(gè)被稱(chēng)為T(mén)RP的全新像素架構。如圖1中所見(jiàn)，這個(gè)像素提供17度的傾斜角。DLP2010NIR在一個(gè)評估模塊中運行;這個(gè)評估模塊提供針對光譜分析應用場(chǎng)景的獨特光學(xué)架構。一個(gè)利用17度接通和關(guān)閉角度的光學(xué)路徑可以用一個(gè)盡可能減少散射光的小巧引擎實(shí)現高性能感測分辨率。

　　圖2中顯示了這個(gè)針對光譜分析使用情況的獨特光學(xué)引擎。這個(gè)系統優(yōu)化了整個(gè)光路徑中光學(xué)信號。來(lái)自樣本的響應在DMD上成像，從而實(shí)現對每個(gè)波長(cháng)的空間控制。這個(gè)評估模塊的目的在于，通過(guò)將高效MEMS用作光譜分析中的高速2D濾波器，來(lái)獲得設計優(yōu)勢。它是一款小巧、結實(shí)耐用且高度自適應系統，能夠使光譜分析走出實(shí)驗室，直接應用于現場(chǎng)測量或含光源測量。與傳統光譜分析儀相比，同一個(gè)器件中的透射和反射測量頭互換功能可以實(shí)現性能基準測試。

　　一個(gè)利用DLP2010NIR芯片的光譜分析光引擎有數個(gè)照明模塊，并且每個(gè)模塊的工作方式稍有不同。在一個(gè)傳輸模塊中，光源、比色皿支架、高精度比色皿和和其它安裝硬件被用于完成透射樣本的吸收量和散射屬性的測量。NIR透射測量值可用于液體樣本，諸如果汁的水含量或出現的氣體特征。這些數據能夠提供與果汁原產(chǎn)地有關(guān)的很多信息。在固體樣本中，NIR透射可以測量塑料管的不透光度，而這是觀(guān)察氣體和液體在傳送線(xiàn)路中流動(dòng)的重要參數。線(xiàn)路內的透射測量也被用于分析黃油在生產(chǎn)過(guò)程中的水含量，這樣可以及時(shí)調整黃油制作工藝，從而節省了時(shí)間、盡可能降低成本，并且增加最終產(chǎn)品的質(zhì)量。