基于LabView的飛秒激光束腰半徑的實(shí)時(shí)測量與計算

本文介紹了利用LabVIEW軟件編程，使用數據采集卡配合光功率計，通過(guò)刀片切割光束的方法測量并計算了經(jīng)過(guò)凸透鏡的飛秒脈沖激光的束腰半徑。對光功率隨刀片位置變化的關(guān)系進(jìn)行擬合，可以在線(xiàn)實(shí)時(shí)測量精確度為微米量級的激光束腰半徑。對經(jīng)過(guò)會(huì )聚透鏡焦點(diǎn)附近的飛秒激光束腰半徑進(jìn)行了測量。發(fā)現在焦點(diǎn)之前束腰半徑隨位置的變化滿(mǎn)足經(jīng)過(guò)焦點(diǎn)后測量的柬腰半徑偏大，這主要是由于飛秒激光聚焦后峰值功率極大，對刀刃產(chǎn)生了破壞作用。

　　1 簡(jiǎn)介

　激光的發(fā)明對人們的工作和生活有著(zhù)巨大的影響，從1960年的紅寶石激光到二十一世紀末出現的量子點(diǎn)激光的性質(zhì)研究一直是科學(xué)工作者關(guān)注的熱點(diǎn)。激光的基本性質(zhì)主要是指其頻域和時(shí)域的性質(zhì)，為了指定和論述激光光束的傳播特性，必須對它的光斑半徑進(jìn)行定義。普遍被采用的定義是光束發(fā)光(最強烈)峰值，軸向或者數值的地方的半徑衰減1/e2(13.5％)，我們稱(chēng)其為激光的束腰半徑。通常情況下需要實(shí)時(shí)判斷激光的光斑大小及位置來(lái)進(jìn)一步優(yōu)化實(shí)驗結果，需要在線(xiàn)觀(guān)測并計算光斑的尺寸和所處的位置，基于這一目的本文采用刀片法進(jìn)行了激光束腰半徑的實(shí)時(shí)測量與計算。
　在使用激光進(jìn)行光學(xué)實(shí)驗和實(shí)際應用中，激光的束腰半徑是一個(gè)非常重要的物理量，如Z掃描，熒光動(dòng)力學(xué)和激光微加工等實(shí)驗中，都需要求出激光的束腰半徑。它的測量精度會(huì )直接影響實(shí)驗數據結果和分析的準確性。目前對光斑尺寸測量的方法有狹縫法，Ronchi等光柵法，Radon分析法，Talbot效應法和刀口法等。刀口法采用的是測透射光強的測量方法，采用刃口平直的刀口，其透過(guò)率函數為階躍函數，在光電接收元件盡可能靠近刀口時(shí)減小衍射量，精確地測量μm級光斑大小是可行的。我們通常接觸到的激光在TEM(橫模和縱模為0)模式下沿傳播方向的截面形狀都是高斯型，我們稱(chēng)其為高斯光束。

　　2 高斯光束的基本性質(zhì)和測量原理

　高斯光束沿z軸橫截面的場(chǎng)強分布可以表示為：

　式中c為常數因子，x，y為垂直于光束方向z軸的橫截面內的坐標，ω(z)為z處的束腰半徑。高斯光束經(jīng)過(guò)透鏡后傳輸的光束仍為高斯光束。光束的束腰半徑隨坐標z(光束傳播方向)按雙曲線(xiàn)規律變化。在像方，透鏡焦點(diǎn)位置處光斑最小。在高斯激光束束腰處橫截面內的強度分布可表示為：

　式中Po為激光的總功率，ω(z)為按強度1/e2所定義的束腰半徑，對于高斯光束場(chǎng)并不局限在束腰半徑范圍內，理論上它橫向延伸到無(wú)窮遠，只是大于束腰半徑的區域內光強很弱。
　當刀片切割激光光束時(shí)透過(guò)的光功率可以表示為:

　ω(z)為按強度1/e2所定義的不同位置處的束腰半徑，式(3)可以約化為:

　可見(jiàn)l(x，z)是一個(gè)Guassian誤差函數，其對x的導數為:

　可見(jiàn)只要求得刀片切割激光光束時(shí)透過(guò)的光功率隨刀片位置的變化，然后求其導數進(jìn)行Gauss擬合就可以得出在相應位置處的束腰半徑。

　　3 實(shí)驗裝置和系統控制

　　刀片法是一種簡(jiǎn)單而靈敏的測量激光光束束腰半徑的實(shí)驗方法。它可以測量高斯光束經(jīng)透鏡聚焦在像方的束腰半徑。整個(gè)實(shí)驗裝置如圖I所示，其中包括：被測的飛秒激光(Spitfire，Spectra Physics)，聚焦透鏡(焦距為20cm)及能量衰減器，激光功率計(物科光電)，單刃剃須刀刀片，電動(dòng)平移臺(卓立漢光，步長(cháng)為2.5和數據采集卡(PCI2300，Art)等。激光的波長(cháng)為800nm，平均功率約為100毫瓦，重復頻率為1000Hz。這里要進(jìn)行測量的激光是飛秒激光，它是一種以脈沖形式運轉的激光，持續時(shí)間極短，脈寬為130飛秒，峰值功率極高。飛秒激光脈沖較為穩定，所以在實(shí)驗中不需要另一功率計來(lái)監測飛秒激光的波動(dòng)。飛秒激光經(jīng)過(guò)會(huì )聚透鏡聚焦，形成直徑為幾十微米量級的光斑，光信號由激光功率計來(lái)采集，通過(guò)激光功率計的信號輸出口輸出電壓信號，并經(jīng)由數據采集卡(PCI2300，Art)將模擬信號轉換成數字信號，進(jìn)行讀數并對信號進(jìn)行強度歸一化。實(shí)驗中選用兩個(gè)步長(cháng)精度為2.5微米的電動(dòng)平移臺疊放在一起組成兩維移動(dòng)平臺，一個(gè)在x軸方向移動(dòng)，用來(lái)切割Gauss光束，另一個(gè)在z軸方向移動(dòng)，測量不同位置處的束腰半徑。使用LabVIEW程序通過(guò)計算機的串口控制電動(dòng)平移臺在x，z方向上的移動(dòng)，在移動(dòng)平臺上固定刀片，刀片與入射激光光束z軸方向垂直。刀片由完全遮擋光束向遠離光軸方向移動(dòng)，從而使入射到功率計探頭的激光的光功率從零增加到最大值。電動(dòng)平移臺沿x軸方向每次走20步，進(jìn)行數據采集并多次累計取其平均值。測量不同位置處的束腰半徑通過(guò)移動(dòng)沿z軸的另一電動(dòng)平移臺來(lái)實(shí)現。

圖1 (a)刀片與光斑的相對位置的截面圖(b)用于測量激光束腰半徑的實(shí)驗裝置圖nextpage4 實(shí)驗數據的采集和自動(dòng)處理