使用6485型皮安表和6487型皮安表/電壓源測量離子束

離子束用于各種應用場(chǎng)合，諸如，質(zhì)譜儀和離子注入機等。離子束電流通常非常小(μA)，所以需要使用靜電計或皮安表來(lái)進(jìn)行測量。本文介紹了如何使用6485型皮安表和6487型皮安表/電壓源來(lái)進(jìn)行這種測量工作。在電流靈敏度更高時(shí)，可以改用靜電計來(lái)進(jìn)行測量。

測量方法

如果離子源偏離地電位，那么離子收集電極多半處在地電位。在這種情況下，可以使用簡(jiǎn)單的真空同軸接頭來(lái)進(jìn)行從收集電極到皮安計的連接。圖4-16示出6485型皮安計從離子收集電極測量電流的情況，這時(shí)儀器工作在地電位。

然而，如果離子源處在地電位，離子收集電極必須偏離地電位。6485型皮安計只能偏離地電位大約42V，所以必須使用能夠浮地電位達500V的6487型皮安計。圖4-17是6487型皮安計浮地測量離子束的一個(gè)例子。

皮安計的高端通過(guò)三同軸的真空接頭連到離子收集電極。皮安計的低端由電壓源偏離地電位。出于安全的考慮，當偏置電壓大于42V時(shí)，應當使用三同軸的真空接頭。6487型皮安計能夠浮地高達500V。

如果無(wú)法找到三同軸的真空接頭，可以在絕緣的BNC連接處構建金屬安全屏蔽(圖4-18)。將該金屬安全屏蔽接地。

如果對地的浮地電壓小于42V，絕緣的BNC接頭就不需要安全屏蔽。

完成電路連接之后，接通偏置電壓，在沒(méi)有離子束電流的情況下進(jìn)行電流測量，以驗證系統能夠正常工作。如果這時(shí)的電流比要測量的電流大得多，系統中一定存在著(zhù)寄生泄漏通路，必須將其糾正。

我們常常需要把離子束電流與時(shí)間的函數關(guān)系畫(huà)成曲線(xiàn)。此項工作可以使用皮安計的模擬輸出功能來(lái)完成或者使用IEEE-488總線(xiàn)或 RS-232接口來(lái)采集讀數，再用繪圖編程軟件包(例如ExceLINX)或圖表軟件將其畫(huà)成曲線(xiàn)。