透射電子顯微鏡的結構與成像原理介紹
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圖2-3 照明系統光路圖
2.1.2 成像系統
由物鏡、物鏡光欄、選區光欄、中間鏡(1、2)和投影鏡組成.
1) 物鏡:強勵磁短焦透鏡(f=1-3mm),放大倍數100—300倍。
作用:形成第一幅放大像
2) 物鏡光欄:裝在物鏡背焦面,直徑20—120um,無(wú)磁金屬制成。
作用:a.提高像襯度,b.減小孔經(jīng)角,從而減小像差。C.進(jìn)行暗場(chǎng)成像
3) 選區光欄:裝在物鏡像平面上,直徑20-400um,
作用:對樣品進(jìn)行微區衍射分析。
4) 中間鏡:弱壓短透鏡,長(cháng)焦,放大倍數可調節0—20倍
作用a.控制電鏡總放大倍數。B.成像/衍射模式選擇。
5) 投影鏡:短焦、強磁透鏡,進(jìn)一步放大中間鏡的像。投影鏡內孔徑較小,使電子束進(jìn)入投影鏡孔徑角很小。
小孔徑角有兩個(gè)特點(diǎn):
a. 景深大,改變中間鏡放大倍數,使總倍數變化大,也不影響圖象清晰度。
b. 焦深長(cháng),放寬對熒光屏和底片平面嚴格位置要求。
注意:有些電鏡還裝有附加投影鏡,用以自動(dòng)校正磁轉角。
2.1.3 觀(guān)察記錄系統
觀(guān)察和記錄系統包括熒光屏和照相機構。熒光屏涂有在暗室操作條件下,人眼較敏感、發(fā)綠光的熒光物質(zhì),有利于高放大倍數、低亮度圖像的聚集和觀(guān)察。 照相機構是一個(gè)裝在熒光屏下面,可以自動(dòng)換片的照相暗盒。膠片是一種對電子束曝光敏感、顆粒度很小的溴化物乳膠底片,為紅色盲片,曝光時(shí)間很短,一般只需幾秒鐘。新型電鏡均采用電磁快門(mén),與熒光屏聯(lián)動(dòng)。有的裝有自動(dòng)曝光裝置?,F代電鏡已開(kāi)始裝有電子數碼照相裝置,即CCD相機。
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