MEMS應用和發(fā)展前景廣闊

　　iSensor運動(dòng)傳感器產(chǎn)品提供戰術(shù)級陀螺儀性能，使復雜的穩定應用和GPS輔助導航推測更容易實(shí)現。對于要求在極端環(huán)境下提供最高陀螺儀偏置精度的工業(yè)系統設計人員，ADIS16135陀螺儀和ADIS16385多軸IMU是目前性?xún)r(jià)比最高的產(chǎn)品。

　　MEMS陀螺儀一直以來(lái)是最難設計和制造的MEMS器件，特別是當許多新興工業(yè)自動(dòng)化和儀器儀表應用要求高性能和低功耗時(shí)。與市場(chǎng)上的其它高性能MEMS陀螺儀相比，新款iMEMS 陀螺儀功耗僅為競爭性器件的十分之一，而且可以提供更高的穩定性和抗振性能。iMEMS陀螺儀是基于A(yíng)DI公司前三代MEMS陀螺儀開(kāi)發(fā)的第四代器件，采用先進(jìn)的差分四傳感器設計，可在強烈沖擊和振動(dòng)狀態(tài)下精確地工作。這種MEMS陀螺儀具有魯棒性能和僅6mA的低功耗特性，可有效地用于多種應用，如機器人、工業(yè)儀器、航空以及用于高速列車(chē)的平臺穩定系統。

　　ADI的 ADXRS450 iMEMS陀螺儀，專(zhuān)門(mén)用于惡劣環(huán)境中的角速率(旋轉)檢測，以滿(mǎn)足不斷提高的精度、穩定度和抗振動(dòng)抗沖擊需求。與設計用于消費類(lèi)應用的運動(dòng)傳感器相比，這些市場(chǎng)的MEMS傳感器需要提供更高得多的性能。ADXRS450 有效地解決了汽車(chē)行業(yè)客戶(hù)的策略和技術(shù)需求。若要更出色地服務(wù)有著(zhù)廣泛客戶(hù)群的中國市場(chǎng)，則需要更為技術(shù)更為全面的陀螺儀，除了提供高品質(zhì)技術(shù)策略還幫助降低成本并提高績(jì)效和市場(chǎng)收益。為此，我們新推出了高性?xún)r(jià)比的ADXRS652 工業(yè)陀螺儀來(lái)滿(mǎn)足這一市場(chǎng)需求。ADXRS652是一款偏航角速度陀螺儀。它不僅采用了表面微加工工藝，內置低成本、功能完整的角速率傳感器，還集成了所有必要的信號調理電子器件以產(chǎn)生與Z軸的角速率成比例的穩定輸出電壓。通過(guò)外部電容建立0.01 Hz至2500 Hz的帶寬，并利用溫度輸出對傳感器執行溫度校準。這款器件的自測輸入還能提供機電激勵，測試傳感器和信號調理電路是否正常工作。ADXRS652抗沖擊能力達到2000 g，專(zhuān)門(mén)針對工業(yè)應用、慣性測量單元和平臺穩定性而設計。

　　綜上所述，ADI在MEMS領(lǐng)域的主要競爭優(yōu)勢在于：首先，ADI是唯一一家在產(chǎn)品陣列中提供low-g/high-g以及陀螺儀的廠(chǎng)商;其次，ADI在汽車(chē)安全傳感器領(lǐng)域具有非凡的經(jīng)驗，ADI自1989年起便以安全氣囊傳感器為先導開(kāi)展MEMS業(yè)務(wù);第三，ADI的解決方案在振動(dòng)與沖撞穩健性(陀螺儀)，加速器速率保持與寬頻感應，超載反應，持續自測以及低功率傳感器等方面具有卓越優(yōu)勢;最后，ADI可以提供用于ECU與衛星應用的全套模擬及數字傳感器。

　　助力MEMS技術(shù)未來(lái)發(fā)展

　　從上世紀90年代早期MEMS開(kāi)始投入應用，到隨后的10年，由消費趨勢推動(dòng)的第二次MEMS技術(shù)應用浪潮，直到今天已經(jīng)進(jìn)入的MEMS的第三次浪潮。高性能的MEMS加速度計和陀螺儀將在更多領(lǐng)域有著(zhù)廣泛應用，成千上萬(wàn)的人意識到MEMS在各行各業(yè)的所發(fā)揮的作用以及潛力。MEMS傳感器供應商已經(jīng)沖破了可靠性、成本和大規模生產(chǎn)的障礙，使用者對MEMS更高性能的需求推動(dòng)了該領(lǐng)域的進(jìn)步和發(fā)展。目前，MEMS技術(shù)已能夠滿(mǎn)足各種各樣的客戶(hù)需求了，包括可靠性和安全性的增加，對醫療和工業(yè)領(lǐng)域中高精度測量和診斷的支持。

　　我們認為，要在第三次浪潮中取勝，供應商不僅應該關(guān)注基本運動(dòng)檢測或增加新功能，必須能夠應對更多需求和挑戰，新型MEMS傳感器設計必須在所有條件下，包括在各種振動(dòng)和溫度差異，巨大幅度的沖擊的環(huán)境下，保持足夠的靈敏度、噪聲等關(guān)鍵特性。此外，設計人員必須提供有價(jià)值的系統性能改進(jìn)，從而實(shí)現過(guò)程的自動(dòng)化、并減少系統停機時(shí)間，從而降低成本。正如ADI的MEMS技術(shù)，它簡(jiǎn)化了運動(dòng)檢測在工業(yè)、醫療、消費電子、通信和汽車(chē)等眾多領(lǐng)域中的應用，優(yōu)化了MEMS傳感器設計，提供更加強大的功能，更高的效率，縮小尺寸并降低整體成本，而這些努力必將大力推動(dòng)MEMS技術(shù)的在未來(lái)的發(fā)展和應用。