MEMS產(chǎn)業(yè)期待發(fā)展的大舞臺

　　“MEMS是一個(gè)古老而年輕的行業(yè)。說(shuō)它古老，是因為它誕生已有多年;說(shuō)它年輕，是因為這是一個(gè)新應用層出不窮的領(lǐng)域。”北京大學(xué)上海微電子研究院院長(cháng)程玉華教授在3月16日的“MEMS的應用與機遇”研討會(huì )上說(shuō)，“MEMS產(chǎn)業(yè)經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展，正在從高端軍事、工業(yè)應用轉向普羅大眾的消費應用。在后摩爾時(shí)代，MEMS將大放異彩。”

　　2008年，TSMC宣布開(kāi)始進(jìn)入MEMS代工。一石激起千層浪，MEMS頓時(shí)成為半導體代工行業(yè)的明星。2009年Q1，SMIC也宣布開(kāi)始MEMS量產(chǎn)。

　　那么，MEMS與成熟的IC制造之間又是怎樣的一種關(guān)系呢?“MEMS與IC相結合是必然的趨勢，即要與IC產(chǎn)業(yè)整合，使芯片從單一的工藝集成轉向應用集成。”程玉華院長(cháng)表示，“MEMS的應用應該更加智能化，可以預見(jiàn)的應用領(lǐng)域包括了生物醫療、物聯(lián)網(wǎng)、3C市場(chǎng)、汽車(chē)電子等。關(guān)鍵是要團結一切可以團結的力量，將產(chǎn)業(yè)做大做強。”

　　敏芯微電子的CEO李剛認為，MEMS制造與IC的最大不同在于其沒(méi)有所謂的標準化，往往一條生產(chǎn)線(xiàn)只能做一種產(chǎn)品，這是限制MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸之一。其次，MEMS產(chǎn)業(yè)還缺乏成熟的產(chǎn)業(yè)鏈支持，如設計軟件、測試封裝等。并且市場(chǎng)對于單一產(chǎn)品的需求畢竟有限。凡此種種都限制了MEMS產(chǎn)業(yè)的“井噴式發(fā)展”。但是，MEMS產(chǎn)業(yè)在中國仍是機會(huì )多多。中國有眾多的高校和科研院所在進(jìn)行MEMS研究，有著(zhù)廣泛的MEMS研究課題，如RF-MEMS、Bio-MEMS、NEMS、MOEMS等等。很多的4寸和6寸IC生產(chǎn)線(xiàn)也亟待轉型，這些都是MEMS發(fā)展的利好元素。

　　來(lái)自德國Fraunhofer Research Institution for Electronic Nano Systems的Thomas Gessner教授介紹了德國在MEMS智能系統方面的發(fā)展現狀。他認為智能系統是未來(lái)的發(fā)展趨勢，更多的功能將會(huì )集成在單一的系統中。當然，復雜的系統也是MEMS封裝的嚴峻挑戰。

　　MEMS是繼3D CIS和Flash存儲器后的又一個(gè)關(guān)鍵的3D IC產(chǎn)品，市場(chǎng)很大，但仍有待成長(cháng)。MEMS的市場(chǎng)化程度仍然不足，備選技術(shù)少，技術(shù)受限，因此更需要嶄新的概念和殺手級的應用出現。阿凡達的大熱讓人們再一次見(jiàn)識到了MEMS的威力，其中的表演捕捉技術(shù)和計算機圖形CG等實(shí)現了虛擬與現實(shí)的完美鏈接，更不用說(shuō)已經(jīng)大放異彩的Wii游戲機和iPhone等?？梢哉f(shuō)，MEMS正在改變我們的生活，它正期待著(zhù)更大、更精彩的舞臺。