增芯科技12英寸晶圓制造項目投產(chǎn)啟動(dòng)，內含國內首條12英寸MEMS智能傳感器晶圓生產(chǎn)線(xiàn)

2024年6月28日，增芯科技12英寸晶圓制造項目在廣州增城投產(chǎn)啟動(dòng)，該項目建設有國內首條、全球第二條的12英寸MEMS智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線(xiàn)。同期舉辦“12英寸MEMS智能傳感器技術(shù)交流會(huì )暨增芯投產(chǎn)活動(dòng)”，相關(guān)政府領(lǐng)導、業(yè)內專(zhuān)家學(xué)者和企業(yè)家等百余位嘉賓出席活動(dòng)。

“增芯科技12英寸晶圓制造產(chǎn)線(xiàn)投產(chǎn)儀式”在增城經(jīng)濟技術(shù)開(kāi)發(fā)區核心區舉行?，F場(chǎng)，增芯總經(jīng)理張亮難掩激動(dòng)，“增芯可以在增城生產(chǎn)第一批芯片產(chǎn)品了！”他介紹，芯片完整的制造流程涉及氣相外延、氧化、PVD/CVD、光刻、刻蝕、離子注入等步驟，分別對應不同設備。投產(chǎn)儀式的啟動(dòng)，意味著(zhù)項目已建立起制造系統，整個(gè)生產(chǎn)流程能夠連貫地運作。后續，增芯將通過(guò)產(chǎn)品良率提升和產(chǎn)能爬坡，加快產(chǎn)品交付工作。

面向粵港澳大灣區這一全球傳感器最大的應用市場(chǎng)，增芯專(zhuān)注于MEMS（微機電系統）、先進(jìn)模擬／混合信號等特色芯片制造技術(shù)領(lǐng)域?！霸鲂静扇〔町惢偁幉呗?，專(zhuān)注于高附加值的MEMS傳感器及特色細分產(chǎn)品市場(chǎng)段?！睆埩帘硎?。

項目一期產(chǎn)能預計于2025年底達到2萬(wàn)片／月；一期工藝技術(shù)采用MEMS力學(xué)傳感器和130-55納米成熟制程。

“我們主攻的12英寸55nm-90nm工藝產(chǎn)品，具有性能功耗平衡、高集成度、成本效益和成熟度穩定等技術(shù)特點(diǎn)，在多個(gè)應用領(lǐng)域具備廣泛適應性，市場(chǎng)份額穩定?！睆埩两榻B，這些特性使得“增芯出品”有望在半導體市場(chǎng)取得獨特的地位。

投產(chǎn)啟動(dòng)儀式現場(chǎng)

增芯科技12英寸晶圓制造項目于2022年12月14日啟動(dòng)開(kāi)工，僅歷時(shí)18個(gè)月，便完成了包括潔凈室26000平、總面積210000平、主設備300余臺搬入等項目建設?！白畲蟮母惺芫褪恰?span style=";padding: 0px;outline: 0px;max-width: 100%;box-sizing: border-box !important;overflow-wrap: break-word !important">快’”，張亮表示。如此令人咂舌的“增芯速度”背后，是增芯科技不遺余力推動(dòng)我國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的決心。圍繞今日投產(chǎn)的國內首條12英寸MEMS智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線(xiàn)，增芯科技在未來(lái)將做更多的開(kāi)發(fā)和應用，助力我國MEMS產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化率和應用水平的快速提高，推動(dòng)我國MEMS產(chǎn)業(yè)在各大相關(guān)領(lǐng)域的深度發(fā)展。

不僅是MEMS產(chǎn)業(yè)。增芯科技同時(shí)表示，本次投產(chǎn)的12英寸MEMS智能傳感器晶圓制造產(chǎn)線(xiàn)是增芯科技12英寸晶圓制造項目的第一條產(chǎn)線(xiàn)，但絕不會(huì )是最后一條。增芯科技對我國的半導體產(chǎn)業(yè)前景抱有極高預期和信心，未來(lái)將有序啟動(dòng)更多的產(chǎn)線(xiàn)建設，覆蓋MEMS以外的各類(lèi)工藝平臺和產(chǎn)品類(lèi)型，將科學(xué)技術(shù)運用到產(chǎn)品和實(shí)踐當中，為廣州、全國乃至全球的集成電路產(chǎn)業(yè)提供全方面的優(yōu)質(zhì)服務(wù)。

“增芯速度”的形成也離不開(kāi)其背后民營(yíng)資本力量的支持。據悉，增芯科技12英寸晶圓制造項目是由廣州灣區智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團有限公司發(fā)起成立。灣區智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團主要由興橙資本、福建金盛蘭和山西新民能源等三家民營(yíng)資本出資籌建。在國家提倡促進(jìn)民營(yíng)經(jīng)濟發(fā)展壯大的當下，興橙資本等股東思想統一，步調一致，積極投身新質(zhì)生產(chǎn)力建設的國家號召當中，以18個(gè)月的“增芯速度”完成了項目首條產(chǎn)線(xiàn)的建設，并以此項目為鏈主，引進(jìn)落戶(hù)了越海、廣東微技術(shù)工研院、中微廣州、智達星空等一批能級高、帶動(dòng)力強的骨干項目，為廣州東部中心增城開(kāi)發(fā)區打造為大灣區的“硅谷”提供了強勁動(dòng)力。

“12英寸MEMS智能傳感器技術(shù)交流會(huì )暨增芯投產(chǎn)活動(dòng)”在廣州增城凱悅酒店舉行。本場(chǎng)交流會(huì )以MEMS智能傳感器的產(chǎn)業(yè)思考為主題，與會(huì )嘉賓們就智能傳感器技術(shù)的應用展望、MEMS產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展現狀及思考等相關(guān)議題展開(kāi)交流與討論。

增芯科技商務(wù)中心副總裁彭坤主持本次交流會(huì )；深圳大學(xué)微電子研究院及半導體制造研究院院長(cháng)王序進(jìn)院士，清華大學(xué)深圳國際研究生院副教授、晶鐵半導體技術(shù)（廣東）有限公司董事長(cháng)張盛博士，上海矽?？萍脊煞萦邢薰臼袌?chǎng)研究總監陳俊等進(jìn)行主題演講。

清華大學(xué)副教授、晶鐵半導體技術(shù)（廣東）有限公司董事長(cháng)張盛

上海矽?？萍脊煞萦邢薰臼袌?chǎng)研究總監陳俊

主持人：增芯科技商務(wù)中心副總裁彭坤

本次交流會(huì )還設有“12英寸MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)思考”的專(zhuān)家對話(huà)環(huán)節。芯謀研究副總經(jīng)理鄧紅梅主持本環(huán)節，增芯科技商務(wù)中心副總裁彭坤，中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院（賽迪研究院）研究室主任、高級工程師馬曉凱博士，中國半導體行業(yè)協(xié)會(huì )MEMS分會(huì )常務(wù)副秘書(shū)長(cháng)萬(wàn)成東，深圳市鵬進(jìn)高科總經(jīng)理賈國軍，廣東越海集成技術(shù)有限公司總經(jīng)理賴(lài)芳奇，上海矽?？萍脊煞萦邢薰臼袌?chǎng)研究總監陳俊等出席本環(huán)節。

專(zhuān)家對話(huà)環(huán)節