CIAS2024精彩回顧 | 宋華平:《基于液相法的SiC材料研究進(jìn)展》
CIAS2024功率半導體新能源創(chuàng )新發(fā)展大會(huì )
2024年4月23-24日,CIAS2024功率半導體新能源創(chuàng )新發(fā)展大會(huì )于蘇州獅山國際會(huì )議中心成功舉行。中科匯珠董事長(cháng)宋華平受邀出席本次大會(huì ),參加碳化硅襯底與外延制造高層閉門(mén)會(huì )議,并在大會(huì )上作主題演講:基于液相法的SiC材料研究進(jìn)展,旨在闡明液相法SiC材料的先進(jìn)性和市場(chǎng)前景。
演講圍繞液相法SiC襯底和外延材料的相關(guān)技術(shù)展開(kāi),介紹了液相法生長(cháng)SiC晶體的優(yōu)勢,尤其關(guān)鍵的是液相法能解決傳統PVT法無(wú)法穩定制備高質(zhì)量p型襯底和3C-SiC襯底的技術(shù)難題。演講報告展示了公司近期在液相法SiC材料的應用上取得的成果,比如外延技術(shù)開(kāi)發(fā)和器件驗證,為公司后續深耕p型和3C-SiC外延片領(lǐng)域和應用夯實(shí)了基礎??偨Y而言,基于液相法的SiC材料可彌補4H-SiC材料體系的缺點(diǎn),為器件客戶(hù)提供新的技術(shù)路線(xiàn),有助于推動(dòng)寬禁帶半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。目前,中科匯珠可對外提供液相法SiC材料(p型襯底上同質(zhì)外延及3C-SiC外延材料),期待與客戶(hù)進(jìn)行深入合作,共同開(kāi)拓SiC產(chǎn)業(yè)的美好未來(lái)。
宋華平:基于液相法的SiC材料研究進(jìn)展
碳化硅襯底與外延制造高層合影
本次會(huì )議以“新能源 芯時(shí)代”為主題,英飛凌科技(中國)有限公司總冠名;分會(huì )場(chǎng)由江蘇宏微科技股份有限公司、北京天科合達半導體股份有限公司、瑤芯微電子科技(上海)有限公司、蘇州精創(chuàng )光學(xué)儀器有限公司冠名支持;湖南三安半導體有限責任公司、株洲中車(chē)時(shí)代半導體有限公司特邀協(xié)辦,從新能源汽車(chē)電驅與電控行業(yè)、光儲及逆變器行業(yè)、化合物半導體材料行業(yè)、功率半導體行業(yè)、封裝與測試行業(yè)等不同產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節,及行業(yè)戰略、破卷出海、車(chē)規級應用、光儲應用、環(huán)保封裝、測試等不同角度出發(fā),討論行業(yè)趨勢及創(chuàng )新案例,并攜2024年度金翎獎頒獎禮及超過(guò)3500平方米的CIAShow創(chuàng )新展,交流行業(yè)創(chuàng )新。
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