突發(fā)！ASML：部分DUV光刻機出口許可被撤銷(xiāo)！

1月2日消息，據ASML官網(wǎng)最新聲明，其N(xiāo)XT:2050i及NXT:2100i光刻系統的出口許可證已被荷蘭政府部分撤銷(xiāo)，影響中國大陸部分客戶(hù)！

美國去年10月17日公布的出口管制新規，對用于一些先進(jìn)生產(chǎn)設施的某些次關(guān)鍵DUV浸沒(méi)光刻系統施加了限制。

按照ASML的說(shuō)法，2023年基本交付了中國大陸客戶(hù)預付的DUV積壓訂單（至于2024年是不是可以繼續，ASML之前就表示不能確定。）。

事實(shí)上，2023年ASML一直都在向中國客戶(hù)供應光刻機，其中就包含了NXT:2000i和更先進(jìn)的DUV型號的產(chǎn)品，且基本交付了中國大陸客戶(hù)預付的DUV積壓訂單。至于先進(jìn)的7nm、14nm等先進(jìn)的EUV光刻機，ASML依然不能給中國客戶(hù)出售。

據ASML官網(wǎng)提供的信息，該公司目前在售的主流浸沒(méi)式DUV光刻機產(chǎn)品共有三款，分別是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML預計，目前撤銷(xiāo)出口許可證或最新的美國出口管制限制不會(huì )對2023年財務(wù)前景產(chǎn)生重大影響。ASML還稱(chēng)，在最近與美國政府的討論中， ASML進(jìn)一步澄清了美國出口管制法規的范圍和影響。

2023年9月1日，ASML在另一份聲明中稱(chēng)，其已向荷蘭政府提出TWINSCAN NXT：2000i及后續推出的浸潤式光刻系統的出口許可證申請，荷蘭政府也已頒發(fā)了截至9月1日所需的許可證，允許該公司2023年繼續發(fā)運相關(guān)光刻系統。

在上述聲明中，該公司表示：“在新的出口管制條例下，今年（指2023年）年底前ASML仍能履行已簽訂的合同，發(fā)運這些光刻設備。客戶(hù)也已知悉出口管制條例所帶來(lái)的限制，即自2024年1月1日起，ASML將基本不會(huì )獲得向中國客戶(hù)發(fā)運這些設備的出口許可證。”

來(lái)源：半導體材料與工藝