三星研發(fā)“智能傳感器系統”，用于提高半導體良率和產(chǎn)能
發(fā)布人：傳感器技術(shù)
時(shí)間：2023-12-27
來(lái)源：工程師
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12月26日消息，據韓媒 ETNews 報道，三星電子正在開(kāi)發(fā)自己的“智能傳感器系統”，用于對半導體工藝的控制和管理。這項新技術(shù)有望提高半導體良率、提高生產(chǎn)率。
提高半導體良率的關(guān)鍵點(diǎn)之一，是精確控制半導體生產(chǎn)過(guò)程中等離子體的均勻性和密度，而“智能傳感器系統”用于測量晶圓等離子均勻性，準確測量和管理蝕刻、沉積和清洗的工藝性能，有望提高半導體良率和產(chǎn)能。
三星現有的晶圓智能傳感器大部分采購自美國等國外廠(chǎng)商，耗資巨大。而近期對于提高產(chǎn)量的需求不斷飆升，倒逼三星轉向自研，降低對外國傳感器的依賴(lài)程度。
當前，三星電子內部已經(jīng)開(kāi)始了智能傳感器系統的研究與開(kāi)發(fā)，預計未來(lái)將應用于無(wú)人駕駛和人工智能半導體制造過(guò)程。該項目據悉正在與有關(guān)伙伴和學(xué)術(shù)界合作進(jìn)行。
此外，三星電子正在開(kāi)發(fā)的智能傳感器據悉為超小型，不會(huì )對現有設備空間造成太大影響。這意味著(zhù)還能夠提高空間利用率。
三星電子還計劃逐步擴大智能傳感器的開(kāi)發(fā)和應用范圍。其目的是開(kāi)發(fā)智能傳感器和系統，可用于各種半導體工藝，而不限于等離子體。
來(lái)源：芯傳感
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