簡(jiǎn)述電子工業(yè)廠(chǎng)房防微振檢測項目技術(shù)流程與案例

項目背景

隨著(zhù)工業(yè)及電子信息產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,工業(yè)及電子科技產(chǎn)品質(zhì)量和精度的不斷提高,對產(chǎn)品的生產(chǎn)及檢測所需的環(huán)境要求也越來(lái)越高，其中環(huán)境微振動(dòng)控制是眾多微污染控制中非常關(guān)鍵的一項工作。為滿(mǎn)足產(chǎn)品生產(chǎn)和檢測的要求,生產(chǎn)廠(chǎng)房的設計、施工驗收以及運營(yíng)都需要考慮微振動(dòng)的影響。

電子工業(yè)廠(chǎng)房的主要振源可劃分為外部和內部。如下圖所示，外部振源主要是指存在于廠(chǎng)房外部的環(huán)境微振動(dòng)，例如：公路交通及軌道交通等。而內部振源根據所在位置及功能可分為兩類(lèi)，一類(lèi)是保障生產(chǎn)運行的動(dòng)力設備振源，如空調風(fēng)機、供水排水泵等；另一類(lèi)則是精密設備自身攜帶的工藝設備振源，如檢查設備、搬運設備等。上述各類(lèi)型振源都可能對生產(chǎn)安全和生產(chǎn)質(zhì)量造成影響，因此對電子工業(yè)廠(chǎng)房設計、施工以及運營(yíng)過(guò)程中均應掌握廠(chǎng)房的微振動(dòng)情況，并及時(shí)采取相應的解決措施。

技術(shù)流程

有防微振要求的工廠(chǎng)環(huán)境振動(dòng)測試一般分為四個(gè)階段，針對各個(gè)階段不同的振動(dòng)影響，本公司可以提供相應的振動(dòng)測試服務(wù)，如下圖所示：

第一階段微振動(dòng)測試，即場(chǎng)地環(huán)境的振動(dòng)測試，主要調查擬建場(chǎng)地的環(huán)境振動(dòng)參數，廠(chǎng)區周?chē)?、鐵路等交通運輸及附近廠(chǎng)礦生產(chǎn)所產(chǎn)生的振動(dòng)影響，為場(chǎng)地選擇及對其綜合評估提供依據。

第二階段微振動(dòng)測試，即工程主體建筑竣工，廠(chǎng)房?jì)雀黝?lèi)設備尚未安裝前的環(huán)境振動(dòng)對主體結構影響的測試，主要測試建筑主體結構的動(dòng)力特性（固有振動(dòng)頻率、阻尼比等）及主體結構在環(huán)境振功作用下的防微振性能，驗證結構方案的合理性。

第三階段微振動(dòng)測試，即廠(chǎng)房?jì)瘸茉O備及儀器外其他空調、動(dòng)力系統等設備和工藝附屬設備聯(lián)機調試或試運轉時(shí)，在精密設備及儀器安裝位置處的環(huán)境振動(dòng)測試，以考核外界環(huán)境振動(dòng)對該處的綜合影響，評價(jià)是否滿(mǎn)足精密設備及儀器的安裝條件，為精密設備及儀器是否需進(jìn)一步采取隔振措施提供依據。

第四階段微振動(dòng)測試，即精密設備及儀器安裝完畢，工藝設備試生產(chǎn)時(shí)在精密設備及儀器安裝位置處的環(huán)境振動(dòng)測試，以考核外界環(huán)境及工藝設備振動(dòng)對這些位置的綜合影響，這也是工程投產(chǎn)前的最終測試。測試分析結果可作為防微振工程驗收的依據，亦可作為企業(yè)制訂生產(chǎn)、運行、廠(chǎng)區環(huán)境管理規定的依據。

案例分享

案例1：本項目對某精密儀器制造商二期新建廠(chǎng)房的天然地基土場(chǎng)地進(jìn)行振動(dòng)測試，確保場(chǎng)地在鄰近交通主干道產(chǎn)生的外部振源影響下能滿(mǎn)足生產(chǎn)設備所容許的微振動(dòng)環(huán)境要求。同時(shí)，對一期廠(chǎng)房既有設備產(chǎn)生的振動(dòng)對地面（樓面）的影響進(jìn)行了測試，保證生產(chǎn)品質(zhì)。

案例2：本項目對某新建電子工業(yè)廠(chǎng)房屋頂區域進(jìn)行了振動(dòng)測試，研究該層動(dòng)力設備運行時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對廠(chǎng)房主體結構的影響，從而確保廠(chǎng)房生產(chǎn)安全，保障生產(chǎn)品質(zhì)。